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硅中的缺陷和硅片热处理(20180720135841)
2018-08-21
文章编号 1005- 20462000 04- 0171- 06收到日期 2000 04 07作者简介 闵 靖 1941 , 男 , 教授级高级工程师硅中的缺陷和硅片热处理闵 靖 , 邹子英 上海市计量测试技术研究院 , 上海 200233摘 要 本文评述了近年来着重研究的 COP、 LSTD、 FPD 和 BMD 等硅中的微缺 陷。介绍了硅片在 氢或氩气中高温
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索比杜金泽
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硅片甩干
2018-08-21
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国家科技重大专项——“40-28nm集成电路制造用300mm硅片”项目在临港
2018-08-21
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硅片制造中的沾污控制
2018-08-21
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硅片生产培训教材(完整版)(20180720142729)
2018-08-21
硅片生产培训资料Page 1 of 26 培训目的1、 确定硅片生产过程整个目标;2、 为工艺过程确定一典型流程;3、 描述每个工艺步骤的目的;4、 在硅片生产过程中,硅片性能的三个主要关系的确定。简介硅片的准备过程从硅单晶棒开始,到清洁的抛光片结束,以能够在绝好的环境中使用。期间,从一单晶硅棒到加工成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。 除了有许多工艺步骤之外,整个过程几乎都要
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硅片脱胶技术的现状及发展研究
2018-08-21
电 子 工 业 专 用 设 备Equipment for Electronic Products ManufacturingEPE( 总第 198 期 )Jul. 2011硅片脱胶技术的现状及发展研究张 峰, 司 超中国电子科技集团公司第二研究所 , 山西太原 030024摘 要 介绍了硅棒在线切割后的脱胶工艺技术 , 分析了硅片脱胶的技术发展和难点 , 通过介绍主要工艺设备的工作原理来
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硅片生产过程详解
2018-08-21
Page 1 of 36 培训目的1、 确定硅片生产过程整个目标;2、 为工艺过程确定一典型流程;3、 描述每个工艺步骤的目的;4、 在硅片生产过程中,硅片性能的三个主要关系的确定。简介硅片的准备过程从硅单晶棒开始,到清洁的抛光片结束,以能够在绝好的环境中使用。期间,从一单晶硅棒到加工成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。除了有许多工艺步骤之外,整个过程几乎都要在无尘的环境中进行
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目录-2018-2023年中国太阳能硅片硅锭行业市场评估分析与投资战略研究报告(目录)
2018-08-21
2018-2023 年中国太阳能硅片硅锭行业市场评估分析与投资战略研究报告报告信息报告类型 多用户、行业报告报告编号 77841 ←咨询时,请说明此编号报告价格 电子 7200 元 纸介 7200 全版 7500可开增值税专用发票网上阅读 http/www.cn-bigdata.cn/report/20171114/77841.html 报告目录第一部分 发展现状与前景分析第一章
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绝缘体硅片SOI
2018-08-21
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硅片制绒工艺.
2018-08-21
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