硅片清洗作业指导

文件编号： Q03-JS-43 清洗作业流程版本号： A/0 页码： 第 1 页 共 4 页生效日期： 2007 年 10 月 1 日1． 目的规范清洗车间作业流程 ,保证输出合格成品 ,特制定本办法。2． 范围清洗车间所有员工3． 具体内容3． 1．作业准备3． 1． 1．进入清洗车间须穿戴专用工作服、鞋。3． 1． 2．准备好应该准备的物品和药品。3． 1． 3．准备好各类专用工具。3． 1． 4．开机前按工艺要求检查水、电、气，确认无误后，方可开机。3． 2 具体作业流程3． 2．预清洗3． 2． 1．将切好的晶棒平稳地放在预清洗水槽中。3． 2． 2．用海棉将晶棒两端与水槽之间的缝隙塞满，防止在预冲洗过程中，切好的晶棒向 一方倾倒造成崩边，碎片。3． 2． 3．打开安装软管的水龙头，用手扶住硅片上侧，在硅片正上方循环移动进行冲洗 ,直到硅片底端没有脏水流出为止 (水龙头一定要与晶棒垂直 )。如图（ 1）胶带一边晶棒水龙头图（ 1） 图（ 2） 图（ 3） 图（ 4）文件编号： Q03-JS-43 清洗作业流程版本号： A/0 页码： 第 2 页 共 4 页生效日期： 2007 年 10 月 1 日3． 3．脱胶3． 3． 1．预冲洗干净后将清洗槽内脏水放掉，从槽的两边注入 80℃左右的温水，水位刚好将硅片底部的胶浸泡住即可，注意：温水一定不要溅到硅片表面。3． 3． 2．浸泡 3-5 分钟，直到硅片底部的胶软化，整个晶棒向一方自然伏倒。3． 3． 3． 向槽内加入冷水， 与槽内温水混合， 至水温至 40℃左右停止加水， 浸泡 2 分 钟左右使晶棒冷却。3． 3． 4．冷却后将水排出，用手将少量硅片轻轻挪动，待硅片松动轻轻拿起 ,使硅片脱离胶水或玻璃板面，每次拿片长度在 5cm 以内。3． 3． 5．将冲洗干净的硅片头尾两边垫上海棉，整根晶棒垂直地放入盛满清水的蓝色周转筐内， 水温 25℃左右， （注意： 水位必须将整个硅片浸泡住， 浸泡时间最长不可超过 1 小时） 。3． 3． 6．做好标识。3． 3． 7．将预清洗槽内碎硅片冲洗干净放入碎片筐内，做好相关记录（碎片记 录表） 。3． 4． 插片3． 4． 1．戴手套作业。3． 4． 2．将专用插片槽内注满纯净水 ,片盒放入槽内开始插片 ,片盒如图（ 2）放置如图：3． 4． 3．从周转箱内拿出少量硅片，左手将硅片托住，用大拇指将硅片一张张分开 ,右手拿硅片带胶一边正中位置 ,插入片盒内。 插片力度不能过大 ,防止造成硅片崩边 ,缺角或破碎。片盒如图（ 3）放置 .每盒 25 片，不允许少插、斜插。3． 4． 4．一个晶棒编号插片末期，剩余片数不足 25 片的，单独插在一起，不可与其他编号硅片混插。3． 4． 5．将缺角和穿孔片区分，单独插在一起。3． 4． 6．及时更换插片槽内的水 ,保持槽内水干净清澈。3． 4． 7．做好相关记录（碎片记录） 。文件编号： Q03-JS-43 清洗作业流程版本号： A/0 页码： 第 3 页 共 4 页生效日期： 2007 年 10 月 1 日3． 5．清洗3． 5． 1．戴手套、口罩作业。3． 5． 2．做好开机前点检 ,填写相关记录。3． 5． 3．用毛巾将机器擦洗干净，擦洗时不要将控制接线及开关碰断或坏并把机器周围清扫干净（注意不要让水进入控制面板内部） 。3． 5． 4． 打开清洗机电源开关， 检查各表盘各程序、 参数。 发现异常情况立即通知班长，禁止在未经过班长 /主管的允许下私自删除 /更改机器程序、参数。3． 5． 5．打开“加热” 、 “超声”开关，各清洗槽参数设置如下：第一、二槽水温 40℃ -45℃ 超声功率 100% 第三、四槽水温 65℃ -67℃ 超声功率 100% 第五、六槽水温 40℃ -45℃ 超声功率 100% 3． 5． 6．第二槽加入 1000 毫升柠檬酸，第三、四槽中加入清洗剂，清洗剂暂定配比 .每槽约 6000 毫升， 连续生产时每清洗 5000 片左右更换一次清洗剂， 此时应先关闭电源， 填写清洗剂更换 /添加记录。3． 5． 7．将插好硅片的片盒放入托盘内（摆放方式如图（ 4） ）打开 “鼓泡” 、 “摆动”开关。3． 5． 8．将托盘放入第一槽，打开循环水开始清洗，时间 6— 8 分钟3． 5． 9． 6— 8 分钟以后，将托盘从第一槽移至第二槽。 （硅片从一个清洗槽移至另一个清洗槽要垂直提取、垂直放下，避免碰碎 或造成内裂） 。3． 5． 10．依次类推，每槽 6— 8 分钟，直到清洗干净为止。3． 5． 11．若发现片子有未清洗干净，则需在第三至六槽重复清洗。3． 6．甩干3． 6． 1．将甩干机上的硅粉及水擦试干净。3． 6． 2．检查甩干机各程序、参数是否正常。3． 6． 3．将清洗干净的硅片连同片盒横向放置装入甩干机内（片盒必须保证平衡性，要求对称放置） 。文件编号： Q03-JS-43 清洗作业流程版本号： A/0 页码： 第 4 页 共 4 页生效日期： 2007 年 10 月 1 日3． 6． 4．双手同时按控制面板两边的红色“关门”按钮，待门完全合闭后，按绿色“启动”按钮，甩干过程为 5min。3． 6． 5．所有硅片摆放完毕后，用毛巾将甩干机体内及表面擦拭干净。3． 6． 6． 5min 后，待控制面板上的时间归零，按“开门”按钮。3． 6． 7．打开门后，等机器内转盘停止转动，将片盒拿出。3． 6． 8．将甩干后的硅片整齐地排放到硅片传递桌上，把片盒内的碎片拿出 来，每盒25 片。3． 6． 9．填写相关记录（硅片追踪单，清洗记录追踪表） 。批准： 审核： 编制：修改履历页码 内容 状态 备注