简介:1 直拉硅单晶工艺学 前 言 本教材是通过多年的实践经验和一定的教学经验编写而成。 编写过程中力求教材通俗易 懂,联系生产实际。由于编者水平有限,错误 之处在所难免,请读者批评指正,编者深表感 谢。 绪论 硅单晶是一种半导体材料。 直拉单晶硅工艺学是研究用直拉方法获得硅单晶的一门科学, 它研究的主要内容硅单晶生长的一般原理, 直拉硅单晶生长工艺过程,改善直拉硅单晶性 能的工艺方法。 直拉单晶硅工艺学象其他科学一样,随着社会的需要和生 产的发展逐渐发展起来。十九 世纪,人们发现某些矿物,如硫化锌、氧化铜 具有单向导电性能,并用它做成整流器件,显 示出独特的优点,使半导体材料得到
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上传时间:2021-11-24
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