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硅片酸腐蚀与碱腐蚀工艺比较 硅片酸腐蚀与碱腐蚀工艺比较 硅片酸腐蚀与碱腐蚀工艺比较 2018-08-21
硅片酸腐蚀与碱腐蚀工艺比较参数 酸腐蚀工艺 碱腐蚀工艺腐蚀特性 各向同性 各向异性腐蚀反应的热量 放热 吸热表面平坦度 ( STIR\TIR\TTV )需要依靠晶片的旋转、 特制的夹具、 通气体充分搅拌腐蚀液等特殊机构及工艺手段来改善其表面平坦度不需要特殊机构便可达到一定的表面平坦度腐蚀后表面粗糙度( Ra ) 比碱腐蚀工艺小, 与晶片原有的损伤程度有关 比酸腐蚀工艺大, 与晶片原有的损伤程度有
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硅片生产厂家名录 硅片生产厂家名录 硅片生产厂家名录 2018-08-21
序号 国内主流企业1 保利协鑫2 江西赛维 LDK太阳能高科技有限公司3 浙江昱辉阳光能源有限公司4 英利绿色能源控股有限公司5 常州天合光能有限公司6 河北晶龙集团7 新疆新能源股份有限公司8 大全新能源9 天威新能源10 晶科能源11 通威集团12 阿特斯13 江苏环太集团14 江苏中盛光电有限公司15 安徽新光太阳能科技有限公司16 江苏顺大集团17 精功绍兴太阳能技术有限公司18 江阴海
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硅片清洗原理与方法综述(20180720144719) 硅片清洗原理与方法综述(20180720144719) 硅片清洗原理与方法综述(20180720144719) 2018-08-21
收稿日期 1999- 07- 12硅片清洗原理与方法综述刘传军 赵 权 刘春香 杨洪星电子四十六所 , 天津 300220摘要 对硅片清洗的基本理论 、 常用工艺方法和技术进行了详细的论述 , 同时对一些常用的清洗方案进行了浅析 , 并对硅片清洗的重要性和发展前景作了简单论述 。关键词 硅片 清洗 湿法化学清洗中图分类号 TN 30512 文献标识码 A 文章编号 1
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化学机械抛光中的硅片夹持技术(20180720144653) 化学机械抛光中的硅片夹持技术(20180720144653) 化学机械抛光中的硅片夹持技术(20180720144653) 2018-08-21
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硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉 硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉 硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉 2018-08-21
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硅片有效面积计算公式 硅片有效面积计算公式 硅片有效面积计算公式 2018-08-21
输入 结果硅片面积计算边长 125 mm对角线 150 mma 62.5L 75b 41.45781一角弧长 29.95689缺角面积 191.7535硅片面积 148.5799 平方厘米La2b
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硅片清洗原理与改进方法毕业论文 硅片清洗原理与改进方法毕业论文 硅片清洗原理与改进方法毕业论文 2018-08-21
毕业设计(论文)题 目 硅片清洗原理与改进方法所 属 系 太阳能科学与工程系专 业 光伏材料加工与应用技术I 硅片清洗原理与改进方法摘 要随着大规模集成电路的发展 , 集成度的不断提高 , 线宽的不断减小 , 对硅片的质量要求也越来越高 , 特别是对硅抛光片的表面质量要求越来越严。在硅晶体管和集成电路生产中 , 几乎每道工序都有硅片清洗的问题 , 硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响 , 处理不
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硅片线切割设备现状与发展综述 硅片线切割设备现状与发展综述 硅片线切割设备现状与发展综述 2018-08-21
关键词硅片 线切割 钢线1、引言硅片多线切割技术是目前世界上先进的硅片切割加工方法之一,它是与传统的切割方式,如刀锯、砂轮片等不同的, 也与先进比较先进的切割技术,如 激光切割 或是内圆切割有差别。总体来讲,它是用一根高速传动的钢丝线来带动附着在其上的切割刃料高速的走动,使得与待切割硅棒进行摩擦,从而完成切割。下文将详细介绍其原理和简单工作流程。2、硅片线切割技术原理简介2.1 宏观机理从硅片
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硅片生产培训教材(完整版) 硅片生产培训教材(完整版) 硅片生产培训教材(完整版) 2018-08-21
硅片生产培训资料Page 1 of 24 培训目的1、 确定硅片生产过程整个目标;2、 为工艺过程确定一典型流程;3、 描述每个工艺步骤的目的;4、 在硅片生产过程中,硅片性能的三个主要关系的确定。简介硅片的准备过程从硅单晶棒开始,到清洁的抛光片结束,以能够在绝好的环境中使用。期间,从一单晶硅棒到加工成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。除了有许多工艺步骤之外,整个过程几乎都要在
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硅片清洗原理与方法综述(20180720140015) 硅片清洗原理与方法综述(20180720140015) 硅片清洗原理与方法综述(20180720140015) 2018-08-21
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