黑硅制绒机操作说明书

黑硅制绒清洗机使用说明书无锡琨圣科技有限公司2018 年 1 月无锡琨圣科技有限公司2 目录1. 概述 . 32. 设备安装 . 43. 设备操作 . 53.1 操作前准备 53.2 开机操作 54. 面板及触摸屏操作指南 . 134.1 三色灯的定义 . 134.2 按钮的定义 . 144.3 如何进入系统 144.4 运行监视功能画面 154.5 机械手手动操作画面 174.5 外补画面 184.6 温控画面 194.7 电机控制画面 194.8 进排水画面 204.9 鼓泡画面 214.10 校准画面 224.11 报警画面 225. 紧急停止 . 236. 操作人员职责： . 247. 维修、保养人员职责： . 248. 电气维护 . 249. 机械管道维护 . 2510. 操作规程 . 2611. 常见故障处理 . 2612. 注意事项 . 27无锡琨圣科技有限公司3 1. 概述黑硅制绒清洗机是专门用于湿法处理多（单）晶电池硅片，采用金属诱导腐蚀方式，制备多孔状黑硅绒面的槽式蚀刻设备。基本工艺原理：① ② ③④设备电气控制原理：碱抛用 碱 溶 液 去 除 损 伤层。（减重 0.25~0.3g）2KOH+Si+ H2O =K2 SiO3+H2O镀银沉积均匀分布的纳米银颗粒。① Ag+ +??_=Ag ② Si+ 2H2 O = Si O2 +4H+ ＋4e_;③ 2H 2O2 +Si=SiO2+2??2??④ SiO2+6HF= H2SiF6+2H2O挖孔形成不规质的微纳米结构。（减重 0.03~0.06g）1) Si+2H2O2=SiO2+2H2O; 2) SiO2+4HF=SiF4+2H2O 3) SiF4+2HF=H2SiF6扩孔硅 片 与 浓 HF 和HNO3 反应，表面形成 600~800 纳米的小孔1) Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O; 2) SiO2+4HF= SiF4+2H20; 3) SiF4+2HF= H2SiF6 助剂 A：去除表面沾污，增加腐蚀均匀性助剂 A：去除表面沾污，增加腐蚀均匀性助剂 B：银离子辅助剂助剂 C,D ：挖孔调节，孔深均匀，方向一致助剂 E：扩孔调节无锡琨圣科技有限公司4 控制系统采用西门子 300PLC 为主机， S71200（ 以太网通讯）和台达伺服控制系统（现场总线） ，带触摸屏功能的研华工控机作为上位机构成，利用触摸屏为客户提供友好的人机操作界面，监控画面按黑硅制绒工艺流程设计， 对制绒的全过程实现监视与控制。2. 设备安装1.机器应安装在坚固平坦的地面上，用户在安装时应调整机器下方的可调底脚，一方面使机器处于水平，另一方面应使移动滚轮处于非承重状态。2.进线电源总功率为 AC380V 50Hz 120KW；电源进线为≥3*35mm2+2*25mm 2， 注意可靠接地。 （主机与电控箱均须可靠接地） 。3.将压缩空气气源接入气动系统的过滤减压阀 BFR2000 的无锡琨圣科技有限公司5 进气口；将氮气气源接入过滤减压阀 AFR2000 的进气口。4.接好各种药液和纯水进口、排液口、溢流口相关管道。（注意，外排液总管管径必须为机台排液管径 1.5 倍以上）3. 设备操作3.1 操作前准备1. 确认电源无异常。2. 确认压缩空气压力不低于 0.4MPa、氮气压力不小于 0.4MPa。3. 确认纯水阀处在开状态。 ( 如有回水阀， 回水阀在正常使用的时候一直处于关闭的状态， 仅在长时间停机时才打开。 把管道内剩余的纯水排出，保证生产的纯水电导率达到要求。4. 确认各个手动阀处于正确的状态。 （每个手动阀上都有状态标识，请根据对应的标识来确认其状态）3.2 开机操作1. 打开电柜正面柜门，合上机器断路器，然后关好电气柜门。无锡琨圣科技有限公司6 2. 将操作台面板上的电源开关置于“电源开”挡。工控机自动启动，完成后显示如下图所示画面。无锡琨圣科技有限公司7 3. 点击图示控制系统启动图标， 完成后显示如下图所示报警画面。点击红色框内手动 自动切换按钮，进入手动模式。4. 在手动状态下， 点击上图中红色图框内运行监视画面 _1 按钮， 进入监视画面 _1，点击下图中红色图框内“缸盖”按钮打开相应槽盖检查机器各槽内是否有花篮。重复上述操作，直至确认所有槽内均无花蓝为止。无锡琨圣科技有限公司8 5）点击红色框内“机械手手动”按钮，进入“机械手手动”画面。无锡琨圣科技有限公司9 6． 确认无任何人、 物阻碍机械手运行的情况下 , 点击上图中红色框内“原点回归”上下按钮进行 1#机械手上下原点复归。等待上下“原点复归完成”指示灯变成红色后再点击 1#机械手左右原点复归按钮，等待左右“原点复归完成”指示灯变成红色表示 1#机械手原点复归全部完成。重复上术步骤，完成 2#、 3#、 4#、 5#、 6#机械手的原点复归。（ 复归顺序为从上料侧机械手开始向后执行， 不可以所有机械手同时原点复归。 ）7. 在手动状态下， 调节好有关槽对应的鼓泡（氮气）流量调节阀（位于各槽前）和溢流流量调节阀（位于各槽后） ，一般情况下机器交付使用时，氮气流量调节阀和漂洗流量调节阀已基本设定到位。注意： 操作者开门操作或维护调节阀门时，切勿启动运行机械手的操作，否则有机械手伤人的危险。8. 点 击 下 图 报 警 画 面 中 红 色 图 框 内 “ 水 控 制 ” 按 钮无锡琨圣科技有限公司10 9，点击下图中红色图框内“鼓泡”按钮，进入鼓泡画面。9 进入视工艺情况打开有关槽的鼓泡，调节好有关槽对应的鼓泡（氮气）流量。 （沉银至扩孔间槽最好不要鼓泡）无锡琨圣科技有限公司11 10. 点击下图中红色图框内 “温度控制” 按钮， 进入 “温度控制”画面12 根据工艺要求，启动需要加热的工艺槽到设定的温度（根据工厂的电源负荷情况，温度达到设定的温度后再开启另外的槽加热无锡琨圣科技有限公司12 13. 上料， 由设备前端上料人员将花蓝正确放置在上料传送带相应卡位，自动运行模式下机台程控自动进料。14. 点击下图中红色图框内“手动 / 自动”按钮，进入“自动”模式，无锡琨圣科技有限公司13 按下操作台上“启动”按钮，机器即开始按程序自动执行面板及触摸屏操作指南4.1 三色灯的定义红灯：报警指示无锡琨圣科技有限公司14 黄灯：手动指示绿灯：自动指示蜂鸣器：协助红灯进行声光报警，提醒操作人员关注。4.2 按钮的定义电源开关：即控制回路的电源开关。正常情况下为开状态。需长期停机时打到关状态。启动按钮：在手动 / 自动模式切换为自动模式后按下启动按钮，进入自动运行状态。 （在手动状态下按下此按钮，机器无动作）暂停按钮： 在自动运行状态下按下此按钮， 机械手立即停止动作。急停按钮： 不管在自动还是手动状态下按下急停， 设备将停止一切动作。 （触摸屏显示急停已按下的报警画面，蜂鸣器响起）如需重新开始，则需把急停复位。4.3 如何进入系统1. 进入工控机电脑界面以后，双击“运行系统”快捷方式，进入操作界面。无锡琨圣科技有限公司15 操作界面如下：4.4 运行监视功能画面左侧功能区，选择对应的功能则跳转不同的功能设定以及监控画无锡琨圣科技有限公司16 面：运行监视画面主要包换： 监控各个槽体有无花篮、 槽体是否启用、运行节拍的设定、以及槽体温度的监控、鼓泡时间的设定，花篮批次槽号的监控等。a.点击“缸盖”则对应槽体缸盖打开或关闭b.点击工艺时间设定对应的时间框，可以更改相应时间节拍c.工艺时间测定框为实际节拍时间d.温度测定所显示的是对应槽体实时的温度e.上 /下料计数为当前上料篮数以及下料篮数用于监控产值f.禁用 /选用切换键是用于选择对应槽体禁用或选用无锡琨圣科技有限公司17 4.5 机械手手动操作画面选择左侧功能键进入机械手手动操作界面：该画面主要包含机械手位置检测开关信号的状态、机械手手动操作按钮开关、机械手软件位置以及脉冲数等a.按下对应槽位按钮，则对应的机械手进行位置切换b.按下横移或上下下方的归 0 按钮则对应机械手回到原点位置c.在手动模式下， 按下四个方向键则机械手分别做出对应的左右或上下位置移动d.当前位置、 横移脉冲、 上下脉冲则分别显示当前机械手的状态位置e.四个方向键的绿色指示灯当机械运行到对应方向的停止位是显示其位置信号无锡琨圣科技有限公司18 4.5 外补画面该画面主要控制外补的选用与禁用a. 途中的选用 / 禁用来控制外补阀的信号b. 红色以及绿色的指示信号主要判断其光电检测信号无锡琨圣科技有限公司19 4.6 温控画面选择左侧功能键进去温度控制画面温控画面主要监视各槽体温度， 包括设定温度、 设定温度报警值、以及对槽体是否加热的控制等。a. 画面左右的加热开 / 加热关按钮是控制对应槽体的是否加热b.SV 数值表示设定槽体温度（黑色可修改）c.PV 数值表示当前槽体温度（灰色不可修改）d. 温度高限设置和温度低限设置则是温度的报警值4.7 电机控制画面选择左侧功能键进入电机控制画面无锡琨圣科技有限公司20 该画面主要进行风机以及冷却泵的启停、监测。a． 电机开 / 关按钮控制对应电机的启停b． 运行指示灯用来显示当前电机的工作状态c． 有选用以及禁用功能，当不需要时可选择禁用4.8 进排水画面该画面主要方便控制水槽的排水与进水状态， 选择对应功能实现其功能需求无锡琨圣科技有限公司21 4.9 鼓泡画面该画面主要实现鼓泡的自动或手动状态无锡琨圣科技有限公司22 4.10 校准画面点击左侧功能键或者首页校准按钮，进入校准界面如下：选择对应槽体的编号进入其进行补液参数的校准如下图以 1 号槽为在对应的功能选项下方根据工艺要求输入所需要的值， 进行补液的设定，也可以在运行监视画面直接选择槽体进入补液设置4.11 报警画面无锡琨圣科技有限公司23 该画面主要显示报警文本信息以及报警的历史记录， 方便用户排查设备的问题以及记录设备的运行状态，当设备出现异常时警报声回响起， 可选择消音进行消除， 带故障处理完自动消音5. 紧急停止在柜体设有紧急停止按钮，在遇到突发人身和设备伤害事件时，按下该按钮，报警器发出声响，柱状灯显示为红色时，触摸屏显示相无锡琨圣科技有限公司24 应的故障！设备停止运转。当设备需要重新启动时，请参考开机操作流程6. 操作人员职责：1． 操作人员必须经过培训；2．对系统有一定的感性认识；3．操作人员必须注意安全 , 确保工件转挂可靠；4．一旦出现异常操作或故障，应立即紧急停车，并要求维修人员帮助；7. 维修、保养人员职责：1．本系统须定期进行检查，维护和保养，以确保其可靠性；2．正常生产时，不可随便操作旋钮，改变工作状态；3．系统稳定后，无论大小故障报警，均不可掉以轻心，随便清除，一定要到现场巡察，找出原因，及时修正，以免因小失大，造成不应有的后果；4．维护人员应对每次的维护、保养及事故的原因和处理过程作详尽的记录，建立档案；5．维护、保养时，必须有两人以上在场，并确保关机、断电、断气等安全措施的实施。8. 电气维护控制柜清扫 每一月接线端子检查是否松动每半年接线盒接线检查 每半年无锡琨圣科技有限公司25 控制柜内元器件检查每一年按钮、指示灯检查每半年行程开关检查每一月绝缘电阻测定每半年紧急停止按钮检查每一月9. 机械管道维护A 确认工作槽内有足够的液体。B 每月检查一次过滤减压阀中是否存储过量的水， 必要时将其排除。C 经常检查机械手运行有无异常， 保持丝杆及导轨的润滑 （必要时添加润滑油脂） 。D 经常检查槽盖在开闭是否有严重卡阻现象， 若有， 应即使清理杂物或修理。E 每次排水后应检查进出水口是否堵塞， 及时清理残留物， 以免管道堵塞物越积越多，反而造成以后的管道维修工作量加大。F 每周对机械手的丝杆、导柱以及机械手的滑行导轨进行润滑。G 每个月应清洁一次机器。H 每个月应清洁一次机器。 擦洗干净机台内部及槽盖等处化学品结晶物或残留，特别要将残留在槽体排水口的碎硅片清理干净。无锡琨圣科技有限公司26 10. 操作规程（ 1） 应 对所有管理设备的人员以及在旁工作的人员进行机械、电气方面的安全规范知识教育，严格有关的操作规程；（ 2） 应 有专门人员管理输送设备，启动和停止输送机有专门人员操作；（ 3） 不 允许在标志有“危险” “不准靠近” “不许逗留” “未经许可不得进入”等各种警告标记附近放置有碍运行的障碍物；（ 4） 应 制定专门的维修保养计划， 编写设备及有关维修保养的记录；（ 5） 按 规定的周期彻底检查有关部件，定期进行维修保养更换损坏零件，防患于未然；（ 6） 对 设备进行定期维修保养的有关人员要经过专门的培训，必须清楚地了解设备的结构、性能、熟悉控制元件和原理；11. 常见故障处理序号 故障症状 排除方法1 按加热键， 加热键灯不亮， 温控器显示的温度也不上升 检查是否未加入足够的溶液，程序上有相关液位逻辑联锁以防干烧。无锡琨圣科技有限公司27 检查触摸屏内的排液键是否打开，检查排液阀是否打开（红色指示柱是否伸出）程序上有相关逻辑联锁以防干烧。检查液位开关是否损坏（透明管内有液时感应器亮）程序上有相关液位逻辑联锁以防干烧。2 进水阀、排水阀不动作检查触摸屏内按键是否与操作状况一致检查压缩空气压力是否太低检查相关气动阀 , 电磁阀是否卡死或损坏3 机械手不能停在指定位置检查位于机器背面的位置感应板是否有移位现象检查位置光电开关是否异常，损坏。4 上下料台电机转动但传动辊不转， 不能正常上下料 检查电机到传动辊的皮带，固定挡块是否断裂5 按开盖键，槽盖不能正常打开检查控制该槽的气缸上的气管是否有漏气现象检查气缸与转轴的联轴器是否有松动现象检查气缸上的节流调速阀是否异常7 机械手到某一槽位提篮，槽盖板打开， 但机械手不往下执行， 出现假死机现象检查该槽盖板的气缸上的磁性开关是否异常8 数显温控器有设定温度显示， 而测量温度显示不正常参阅温控仪使用说明书中“故障讯息检修”一项，显示 SERR.为传感器损坏9 加热指示灯亮， 但对应槽内液体温度不上升打开控制柜检查有关槽的加热断路器是否断开（如断开，请检查有关槽内的加热器是否损坏）检查对应槽的固态继电器是否损坏检查电加热管是否损坏12. 注意事项1. 本系统须由设备主管部门委托专人进行操作、 管理、 维护和调整。2. 如有生产工艺的变动而需改变系统设置时， 必须得到本公司的认 可，否则，本公司对其后果不负责任。无锡琨圣科技有限公司28 正确的操作可以避免故障的发生！正确的维护、保养可以提高系统的可靠性和使用寿命！愿我们的努力能为贵公司带来可观效益！无锡琨圣科技有限公司二零一八年一月