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硅片生产流程 硅片生产流程 硅片生产流程 2018-08-21
硅片生产流程小组成员 吴国栋 徐浩 王汉杰 王超简介硅片的准备过程从硅单晶棒开始,到清洁的抛光片结束,以能够在绝好的环境中使用。期间,从一单晶硅棒到加工成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。除了有许多工艺步骤之外,整个过程几乎都要在无尘的环境中进行。硅片的加工从一相对较脏的环境开始,最终在 10 级净空房内完成。工艺过程综述硅片加工过程包括许多步骤。所有的步骤概括为三个主要种类
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硅片清洗水处理的经验分享 硅片清洗水处理的经验分享 硅片清洗水处理的经验分享 2018-08-21
技术电话 4000-717-999 硅片清洗水处理的经验分享一、应用范围概述电解电容器生产铝箔及工作件的清洗电子管生产 电子管阴极涂敷碳酸盐配液显像管和阴极射线管生产配料用纯水 黑白显像管荧光屏生产 玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水 液晶显示器的生产屏面需用纯水清洗和用纯水配液晶体管生产中主要用于清洗硅片, 另有少量用于药液配制集成电路生产中高纯水清洗硅片。二、典型工艺流程预处理系
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硅片清洗技术 硅片清洗技术 硅片清洗技术 2018-08-21
转载 半导体硅片的化学清洗技术对太阳能级硅片有借鉴作用一 . 硅片的化学清洗工艺原理硅片经过不同工序加工后, 其表面已受到严重沾污, 一般讲硅片表面沾污大致可分在三类 A. 有机杂质沾污 可通过有机试剂的溶解作用,结合超声波清洗技术来去除。B. 颗粒沾污运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径 ≥ 0.4 μ m颗粒,利用兆声波可去除 ≥ 0.2 μ m颗粒。 C
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硅片清洗及最新发展(20180720154157) 硅片清洗及最新发展(20180720154157) 硅片清洗及最新发展(20180720154157) 2018-08-21
硅片清洗及最新发展 Ξ刘红艳 3 , 万关良 , 闫志瑞北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司 , 北京 100088摘要 对目前硅片湿式化学清洗方法中常用的化学清洗溶液的清洗机理、 清洗特点、 清洗局限以及清洗对硅片表面微观状态的影响进行了详细论述。 介绍了兆声波、 臭氧、 电解离子水、 只用 HF 清洗或简化常规工艺后最后用 HF 清洗等最新的硅片清洗技术 , 指出了硅片清洗
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硅片清洗(20180720154002) 硅片清洗(20180720154002) 硅片清洗(20180720154002) 2018-08-21
半导体硅片 SC-2 清洗技术 1 | [8 l4 b, y { L1 清洗液中的金属附着现象在碱性清洗液中易发生, 在酸性溶液中不易发生, 并具有较强的去除晶片表面金属的能力,但经 SC-1 洗后虽能去除 Cu 等金属,而晶片表面形成的自然氧化膜的附着(特别是 Al )问题还未解决。 . v7 Q“ o“ j1 7 h1 I6 Q1 g6 X2 硅片表面经 SC-2 液洗后,表面 Si
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硅片真空夹紧装置设计 硅片真空夹紧装置设计 硅片真空夹紧装置设计 2018-08-21
硅片真空夹紧装置设计干蜀毅 , 孙青云 合肥工业大学 , 安徽 合肥 230009Design of M ini Oil free Vacuum Pump for the Clamp Equipment U sed for Si WaferGAN Shu yi, SUN Qing yun H efei Univer sity of T echnology, Hefei 230009, Ch
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硅片相关知识简介 硅片相关知识简介 硅片相关知识简介 2018-08-21
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硅片清洗作业指导 硅片清洗作业指导 硅片清洗作业指导 2018-08-21
文件编号 Q03-JS-43 清洗作业流程版本号 A/0 页码 第 1 页 共 4 页生效日期 2007 年 10 月 1 日1. 目的规范清洗车间作业流程 ,保证输出合格成品 ,特制定本办法。2. 范围清洗车间所有员工3. 具体内容3. 1.作业准备3. 1. 1.进入清洗车间须穿戴专用工作服、鞋。3. 1. 2.准备好应该准备的物品和药品。3. 1. 3.准备好各类专用工具。3. 1
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硅片清洗方法探讨 硅片清洗方法探讨 硅片清洗方法探讨 2018-08-21
收稿日期 1999201206文章编号 1005 - 2046 199904 - 0162 - 04硅片清洗方法探讨郭运德洛阳单晶硅有限责任公司 ,河南洛阳 471009摘 要 本文介绍了几种硅片清洗的方法 ,同时对各种不同清洗方法的工作原理 、 清洗效果 、适用范围等特点进行了分析 。 不同的工艺应采用不同的清洗方法才能获得最佳效果 。关键词 硅片 ; 清洗 ;表面态中图
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硅片切割液的配制工艺研究 硅片切割液的配制工艺研究 硅片切割液的配制工艺研究 2018-08-21
武汉理工大学本科生毕业设计(论文)硅片切割液的配制工艺研究学院(系) 化工学院专业班级 化工 0903 班学生姓名 周五萍指导教师 朱焱学位论文原创性声明本人郑重声明所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外,本论文不包括任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名年 月 日学位论
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