能源硅片切割原理

利用切割钢丝带动砂浆， 利用砂浆中 SiC 微粒与晶棒进行摩擦， 达到切割的目的。 并不是钢丝切割晶棒， 钢丝的摩尔硬度为 5.5 左右， 单晶硅的摩尔硬度为 6.5 左右， 而 SiC 的摩尔硬度为 9.25-9.5 左右， 因此钢丝是切割不了晶棒的， 这也是解释当砂浆流量异常及砂浆中 SiC含量过低时容易断线的原因。 切割的过程就是将晶棒固定于进给台， 进给台按一定的下压速度将晶棒与高速运动的线网接触， 利用线网带动砂浆中的 SiC 切割晶棒， 根据不同主辊槽距和钢丝线径将晶棒切割成 0.2mm左右厚的硅片。切割原理示意图：切割材料及作用：钢丝：砂浆的载体浆料（砂 +液）：冷却、悬浮砂（碳化硅，菱形）：切割作用液（乙二醇）：悬浮作用