硅片等级分类及标准

硅片等级分类及标准 一、优等品 1：硅片表面光滑洁净。 2：TV ：220±20μm。 3：几何尺寸： 边长 125±0.5mm；对角 150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 边长 103±0.5mm、对角 135±0.5mm； 边长 150±0.5mm 、156±0.5mm、对角 203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。 二、合格品 一级品： 1：表面有少许污渍、轻微线痕。 2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。 3：几何尺寸： 边长 125±0.5mm；对角 150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 边长 103±0.5mm、对角 135±0.5mm； 边长 150±0.5mm 、156±0.5mm、对角 203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5。 二级品： 1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。 2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。 3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。 4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm 5：几何尺寸： 边长 125±0.52mm；对角 150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm； 边长 103±0.52mm、对角 135±0.52mm； 边长 150±0.52mm 、156±0.52mm、对角 203±0.52mm、200±0.52mm。 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8。 三级品： 1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。 2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。 3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。 三、不合格品 严重线痕、厚薄片：TV＞220±60μm。 崩边片：有缺损但可以改 Φ103 的硅片。 气孔片：硅片中间有穿孔 。 外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。 倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差1.5mm。 菱形片（垂直度）：任意两边的夹角90°±0.8。 凹痕片：硅片两面凹痕之和＞30μm。 脏 片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。 尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。 注：以上标准针对的硅片厚度为 220μ m。