硅片等级分类及标准

硅片等级分类及标准 一、优等品 1硅片表面光滑洁净。 2TV 22020μm。 3几何尺寸 边长 1250.5mm；对角 1500.5mm、1480.5mm、1650.5mm； 边长 1030.5mm、对角 1350.5mm； 边长 1500.5mm 、1560.5mm、对角 2030.5mm、2000.5mm。 同心度任意两个弧的弦长之差≤1mm。 垂直度任意两边的夹角900.3。 二、合格品 一级品 1表面有少许污渍、轻微线痕。 222020μm ≤TV≤22030μm。 3几何尺寸 边长 1250.5mm；对角 1500.5mm、1480.5mm、1650.5mm； 边长 1030.5mm、对角 1350.5mm； 边长 1500.5mm 、1560.5mm、对角 2030.5mm、2000.5mm。 同心度任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。 垂直度任意两边的夹角900.5。 二级品 1表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。 2 22030μm ≤TV≤22040μm。 3凹痕硅片表面凹痕之和≤30μm。 4崩边范围崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm 5几何尺寸 边长 1250.52mm；对角 1500.52mm、1480.52mm、1650.52mm； 边长 1030.52mm、对角 1350.52mm； 边长 1500.52mm 、1560.52mm、对角 2030.52mm、2000.52mm。 同心度任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。 垂直度任意两边的夹角900.8。 三级品 1表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。 222040μm ≤TV≤22060μm。 3硅落整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。 三、不合格品 严重线痕、厚薄片TV＞22060μm。 崩边片有缺损但可以改 Φ103 的硅片。 气孔片硅片中间有穿孔 。 外形片切方滚圆未能磨出的硅片。 倒角片（同心度）任意两个弧的弦长之差1.5mm。 菱形片（垂直度）任意两边的夹角900.8。 凹痕片硅片两面凹痕之和＞30μm。 脏 片硅片表面有严重污渍且发黄发黑。 尺寸偏差片几何尺寸超过二级品的范围。 注以上标准针对的硅片厚度为 220μ m。