单晶硅棒标准

单晶硅棒 P6″ P8″ 型号 P 型 型号 P 型 结晶方位 100±3° 结晶方位 100±3° 掺杂剂 硼 掺杂剂 硼 电阻率 0.5/3Ω．cm 3/6Ω．cm 电阻率 0.5/6Ω．cm 氧含量 ≤1×10 18 atoms/cm3 氧含量 ≤1×10 18 atoms/cm3 碳含量 ≤5×10 16 atoms/cm3 碳含量 ≤5×10 16 atoms/cm3 少子寿命 10μsec 少子寿命 10μsec 位错密度 ＜3000 pcs./cm2 位错密度 ＜3000 pcs./cm2 直径 153~160 直径 209~215 计价直径 153 计价直径 205 P6〃单晶硅方棒 滚圆直径 150+0.5 mm 方身尺寸 125±0.5×125±0.5 mm 方身垂直度 ≤90±0.2 度 倒角误差 ≤1 mm 单晶硅片 技术项目 技术参数 P6〃 P8〃 规格 125mm×125mm 156mm×156mm 类型 P 型 硅片宽度 125±0.5mm 156±0.5mm 硅片直径 150±0.5mm 165±0.5mm 硅片厚度 220±15μm 少子寿命 ≥10μs 电阻率 0.5～3Ω·cm ， 3～6Ω·cm 切割方式 多线切割 晶向 (100) ±3°