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单晶硅棒标准

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单晶硅棒标准

单晶硅棒 P6″ P8″ 型号 P 型 型号 P 型 结晶方位 1003 结晶方位 1003 掺杂剂 硼 掺杂剂 硼 电阻率 0.5/3Ω.cm 3/6Ω.cm 电阻率 0.5/6Ω.cm 氧含量 ≤110 18 atoms/cm3 氧含量 ≤110 18 atoms/cm3 碳含量 ≤510 16 atoms/cm3 碳含量 ≤510 16 atoms/cm3 少子寿命 10μsec 少子寿命 10μsec 位错密度 <3000 pcs./cm2 位错密度 <3000 pcs./cm2 直径 153160 直径 209215 计价直径 153 计价直径 205 P6〃单晶硅方棒 滚圆直径 1500.5 mm 方身尺寸 1250.51250.5 mm 方身垂直度 ≤900.2 度 倒角误差 ≤1 mm 单晶硅片 技术项目 技术参数 P6〃 P8〃 规格 125mm125mm 156mm156mm 类型 P 型 硅片宽度 1250.5mm 1560.5mm 硅片直径 1500.5mm 1650.5mm 硅片厚度 22015μm 少子寿命 ≥10μs 电阻率 0.5~3Ωcm , 3~6Ωcm 切割方式 多线切割 晶向 100 3

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