PECVD工艺腔加热功率调整方法说明

PECVD 工艺腔加热功率调整方法说明 张小亮 2013-08-08 工艺腔加热模块组成简述 • 调整方法说明 • 加热功率对工艺腔温度分布的影响 工艺腔加热模块组成简述（ 1） 加热板内部加热电阻结构如下： 加热电阻 1----1A 加热电阻 2----2A 加热电阻 3----3A 工艺腔加热板分布如下： 工艺腔加热模块组成简述（ 2） 工艺腔的 6个加热板为 “对头 ”交叉放置（如上图）。两个侧边都分别有 3 个 “1A”、 3个 “3A”组成，而中间 6个均为 “2A”，所以两侧的加热功率只 能由 1A、 3A来同时控制 ----同时加大或减小，中间的加热功率可以由 2A 来单独控制。 后面即将介绍的就是如何调整中间和两侧的加热功率。 工艺腔加热模块组成简述（ 3） 加热输出功率操控键盘位于每各 PE机台的配电柜上 ：（如下图） Heater1— 进料腔 Heater2— 预热腔 Heater3— 工艺腔 调整方法说明（一） 各按键功能说明： 调整方法说明（二） 调整步骤： 调整方法说明（三） 调整方法说明（四） 调整方法说明（五） 调整方法说明（六） 注意事项： 1、退出系统时会发生 “加热器故障 ”报警，只需按下 F9清除报警即可。 2、功率调整以后，工艺腔温度会有一定的波动，需稳定 5min左右，方 可正常生产。 3、功率调整以后，如果工艺腔温度如果波动较大，主要影响为温度降低 ，造成腔体内加热板表面、 U型槽表面等氮化硅脱落堵塞特气孔，影响 镀膜均匀性，这时需要停机对特气管道进行 “氮气吹扫 ”，必要时需进行 开腔清扫。 4、此参数为设备参数，调整时需与设备确认一下。 工艺腔加热功率对温度分布的影响（一） 下面以 L6线为例，简述一下加热功率对工艺腔两侧温度的影响。 调整前： 工艺腔加热功率对温度分布的影响（二） 调整后： 不足之处请指正，谢谢！