湿法黑硅

物质名称 浓度% 密度 g/ml 分子量 浓度 Mol/L 物质重量g 体积 ml 水用量 时间sAgNO3 100 10.53 169.87 0.01 1.6987 0.16 999.84HF 40 1.12 20.0 4 80 71.43 928.57NaCL101mg/ml=1g/L=[1g/(36.5g/mol)]/L=0.027mol/L 。硝酸银浓度 M/L 沉积时间s 纳米银团粒径 nm0.02 10 5030 10060 15090 200-250120 300硝酸银浓度 M/L 刻蚀时间 min 纳米线深度 nm0.02 2 2003 300-4004 400-500扩孔前低浓度的氢氧化钠溶液中，水浴加热 70 ℃，反应时间为60s。综合考虑到平衡电学和光学性能，金刚石线锯切割多晶黑硅的纳米结构高度应控制在 150nm 左右。