第四章硅和硅片制备	2018-08-21
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	多晶硅及硅片少子寿命的检测与分析_刘淑萍	2018-08-21
	＊多晶硅及硅片少子寿命的检测与分析刘 淑 萍 ， 贺 珍 俊（ 内蒙古神舟硅业有限责任公司 ， 内蒙古 呼和浩特 ０ １ ０ ０ ７ ０ ）摘 要 少 数 载 流 子寿命 是 半 导 体 晶 体 硅材 料 的一 项重 要 参数 ， 它 对 半 导 体器件的性 能 、 晶 体 硅太 阳 能电 池 的光 电 转 换 效率 都 有 重 要 的 影响 。 本文 综 述 了 在 多 晶 硅 等
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	第五章硅片加工-_硅片清洗	2018-08-21
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	第五章硅片加工-硅片清洗	2018-08-21
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	关于硅片超声波清洗技术	2018-08-21
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	多线切割硅片损伤层研究	2018-08-21
	专题 论文编号多线切割硅片损伤层研究陈志军 1 ，刘振淮 2，张华 3，毛富胜 4（ 1,常州天合光能有限公司， 江苏省， 常州市， 213031， 15951208521， zhijun.chentrinasolar.com ; 2,常州天合光能有限公司，江苏省，常州市， 213031；3，常州天合光能有限公司，江苏省，常州市， 213031；4，常州天合光能有限公司，江苏省，常州市，
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	电池制造工艺硅片的化学清洗	2018-08-21
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	第一章硅单晶生长和硅片准备	2018-08-21
	1第一章 硅单晶生长和硅片准备 硅 Si 材 料 现 在 是 电 子 工 业 中 最 重 要 的 半 导 体 材 料， 因 此 VLSI 技 术 几 乎 完 全 以 硅 材 料 为 基 础。 “ silicon“ 这 名 称 来 源 于 拉 丁 语 “ silex“ 或 “ silicis “，意
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	第十一章_硅片制造中的沾污控制	2018-08-21
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	第四章硅的体单晶生长和硅片加工	2018-08-21
	第四章 硅的体单晶生长和硅片加工193 第四章 硅的体单晶生长和硅片加工4． 1 概述如果认为硅的提纯是典型的化工过程的话， 那么从高纯度的多晶硅生长单晶硅则是半导体器件制造的第一步。虽然尝试过各种技术来将多晶硅转变为单晶硅，最后只有两种技术被应用于单晶硅的实际生产 直拉法和区熔法。 这两种方法之所以得到应用是因为它们能够满足半导体器件制造的需要。 生长出的硅单晶锭还需要经过截断、 切割成
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