硅片车间	2018-08-21
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	硅片处理预对准系统的研究	2018-08-21
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	硅片传输定位机器人的设计	2018-08-21
	硅片传输定位机器人的设计 张士军 1，金洙吉，康仁科，丛明（大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连 116024）摘要 本文针对大直径硅片的高速自动化生产对硅片的高效、高精度、高可靠性传输要求，确定基于 3 自由度的 R-θ型硅片传输定位机器人方案，设计了大直径硅片传输定位机器人系统。在设计过程中，通过采用基于丝杠花键轴的升降旋转机构、采用周转轮系传递臂体的伸缩动力等措施，解决了
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	硅片车间清洗操作规程	2018-08-21
	清洗操作规程清洗侯韶华1. 插片 将黑色海绵垫板放于恒温水槽胶皮垫上，将花篮平稳放在其上，标有编号面背对操作人员。适当取出一定量硅片，轻轻插入花篮，每篮 23 片。注意事项 插片过程中若硅片吸和在一起， 切勿用力拉拽， 应放入水中使自然分离。拿片时应尽量增大接触面积，防止崩边。插入花篮时要轻轻弹入。片上若遇砂浆附着严重情况要用百洁布擦洗干净。2. 抛动 取出四筐花篮插入篮具，在蓝色水槽中抛动
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	硅片材料特性对电池综合性能的影响	2018-08-21
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	硅片电阻测试仪	2018-08-21
	硅片电阻测试仪硅片电阻测试仪是用来测量硅片、 硅单晶、 锗单晶电阻率的测量仪器。 它由电气测量部份 （简称 主机） 、测试架、四探针头及专业测量软件组成。功能特点本套仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流 /测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05 的恒流源，使测量电流高度稳定。主机配有恒
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	硅片的烧结理论	2018-08-21
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	硅片产品知识与生产工艺	2018-08-21
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	光伏电池---硅片的刻蚀	2018-08-21
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	硅片超声波清洗技术	2018-08-21
	硅片超声波 清洗技术在半导体材料的制备过程中，每一道工序都涉及到清洗，而且清洗的好坏直接影响下一道工序，甚至影响器件的成品率和可靠性。由于 ULSI 集成度的迅速提高和器件尺寸的减小，对于晶片表面沾污的要求更加严格， ULSI 工艺要求在提供的衬底片上吸附物不多于 500 个/m2 0.12um，金属污染小于 1010atom/cm2 。晶片生产中每一道工序存在的潜在污染，都可导致缺
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