硅片电阻测试仪

硅片电阻测试仪硅片电阻测试仪是用来测量硅片、 硅单晶、 锗单晶电阻率的测量仪器。 它由电气测量部份 （简称： 主机） 、测试架、四探针头及专业测量软件组成。功能特点本套仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流 /测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05% 的恒流源，使测量电流高度稳定。主机配有恒流源开关，在测量某些薄层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。主机配置了 “ 小游移四探针头 ” ，探针游移率在 0.1 ～0.2% 。 保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。 本套仪器使用专用软件进行数据采集 ,可实现自动换向测量、存储 ,求平均值，最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。技术参数测量范围■ 可测电阻率： 0.0001 ～ 1.9*10 4Ω· cm探针■ 使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。■ 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于 6μ ｍ，保证探针的小游移率。■ 采用特制的 S 型悬臂式弹簧，使每根探针都具有独立、准确的压力。■ 量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。恒流源■ 输出电流： DC 0.001 ～ 100mA 五档连续可调■ 量程：0.001 ～ 0.01mA 0.01 ～ 0.10mA 0.10 ～ 1.0mA 1.0 ～ 10mA 10 ～ 100mA ■ 恒流精度：各档均低于 ± 0.05% 直流数字电压表■ 测量范围： 0～ 199.99mV ■ 灵敏度： 10μV■ 基本误差： ± （ 0.004% 读数 +0.01% 满度）■ 输入阻抗： ≥ 1000ΩM供电电源■ AC 220V± 10% 50/60 Hz 功率： 12W 使用环境■ 温度： 23± 2℃ 相对湿度： ≤ 65%■ 无较强的电场干扰，无强光直接照射重量、体积■ 主机重量： 7.5kg ■ 体积： 365× 380× 160 （单位： mm 长度 × 宽度 × 高度）