硅片车间清洗操作规程

清洗操作规程清洗：侯韶华1. 插片 将黑色海绵垫板放于恒温水槽胶皮垫上，将花篮平稳放在其上，标有编号面背对操作人员。适当取出一定量硅片，轻轻插入花篮，每篮 23 片。注意事项： 插片过程中若硅片吸和在一起， 切勿用力拉拽， 应放入水中使自然分离。拿片时应尽量增大接触面积，防止崩边。插入花篮时要轻轻弹入。片上若遇砂浆附着严重情况要用百洁布擦洗干净。2. 抛动 取出四筐花篮插入篮具，在蓝色水槽中抛动 15 至 20 下，放入清洗设备中的第一个溢流槽，抛动，溢流两分钟。注意事项： 抛动时不要用力过猛。 造成碎片， 在将篮具转移至溢流槽时注意不要把水滴进清洗机。3. 超声 此步骤分三次超声， 第二步是加入清洗剂的大超声槽， 一， 三步为加入纯水的两个金属超声槽。每槽中放置 3 到 5 分钟，并上下抛动。注意事项：抛动时硅片禁止露出液面，时刻观察加热器温度，防止超温。大超声槽超声发生仪不宜经常搬动。 放水时检查机器下方线路是否在指定位置， 线路是否有存在短路隐患。 槽的上排水孔是否塞严。 及时清理出一， 三超声槽上附着的清洗剂泡沫。4. 喷淋及清洗 在喷淋槽中喷淋尽量做到能喷到所有硅片，放入最后一个溢流槽中抛动清洗，直至水面无清洗泡沫。注意事项：轻轻抛动防止碎片。5. 甩干 将六筐洗好的硅片放入甩干机， 启动机器开始甩干， 甩干完成后将硅片取出，清洗工作完成。注意事项： 注意开甩干机加热开关， 甩干完成后开启上盖， 观察喷水口水滴多少，避免水滴溅落到已甩干的硅片上。2011年 4 月 29 日