硅片的等级标准

硅片的检测版本 1 弯曲是指有效面积内有规律的发生形变，翘曲是指有效面积内局部发生形变。A 级 B 级 C级 D级 E 级线痕：TV：TTV：孪晶：多晶：裂纹、裂痕：应力：空洞：缺角：V 型缺口：弯曲度翘曲度：硅多晶线性尺寸长度：无或轻线无无无不存在多晶无无无无无无6≦ L≦ 100mm ≦ 10μ m,≦ 5 条≦ 20μ m ≦ 15 无不存在多晶无无无无无≦ ,50 μ m 6≦ L≦ 100mm ≦ 20μ m,≦ 10条≦ 20μ m ≦ 30 无不存在多晶无无无无无≦ 75μ m 6≦ L≦ 100mm ≦ 30μ m,≦ 15条≦ 20μ m ≦ 50 无不存在多晶无有无无无≦ 100μ m 6≦ L≦ 100mm ≦ 50μ m ＞ 20μ m ＞ 50 有存在多晶有严重 ( 可能碎裂 ) 有有有＞ 100μ m L＜ 6 或 L＞ 100mm 一、 优等品1：硅片表面光滑洁净2： TV： 220± 20um 。3：几何尺寸：边长： 125± 0.5mm；对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm；边长： 103± 0.5mm、对角： 135± 0.5mm；边长： 150± 0.5mm、 156± 0.5mm、对角： 203± 0.5mm、 200± 0.5mm、 。同心度：任意两个弧的弦长之差≤ 1mm 垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.3 二、合格品一级品：垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.5 二级品： 1：表面有少许污渍、线痕。凹痕、轻微崩边。2 ： 220± 30um ≤ TV≤ 220± 40um。3 ：凹痕：硅片表面凹痕之和≤ 30um 4 ：崩边范围：崩边口不是三角形， 崩边口长度≤ 1mm ，深度≤ 0.5mm 5 ：几何尺寸：边长： 125± 0.52mm；对角 150± 0.52mm、 148± 0.52mm、 165± 0.52mm；边长： 103± 0.52mm、对角： 135± 0.52mm；边长： 150± 0.52mm、 156± 0.52mm、对角： 203± 0.52mm、 200± 0.52mm、 。同心度：任意两个弧的弦长之差≤ 1.5mm 垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.8 三级品：1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅洛现象。2： 220± 40um ≤ TV≤ 220± 60um。3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落部分硅晶脱落。三、不合格品严重线痕、厚薄片： TV＞ 220± 60um。崩边片：有缺陷但可以改￠ 103 的硅片气孔片：硅片中间有气孔外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。倒角片（同心度） ：任意两个弧的弦长之差＞ 1.5mm 菱形片： （垂直度） ：任意两边的夹角＞ 90°± 0.8 凹痕片：硅片两面凹痕之和＞ 30um 脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑尺寸偏差片：几何尺寸超过二级片的范围。注：以上标准针对的硅片厚度为 220um 。硅片等级分类及标准（ 150*150）一、优等品（Ⅰ类片）1、 物理、化学特性①型号： P 晶向 [100] ± 1°②氧含量：≤ 1.0X10 18 at/cm 3③碳含量：≤ 5X1016 at/cm 3④勺子寿命： T=1.3— 3.0us （在测试电压≥ 20mv下裸片的数据）⑤电阻率： 0.9 — 1.2 、 1。 2— 3.0 、 3.0-6.0 Ω /cm ⑥位错密度：≤ 3000 个 /cm 2、几何尺寸：①边长： 125*125 ± 0.5mm ②对角： 150*150 ± 0.5mm ③同心度：任意两弧长之差≤ 1mm ④垂直度：任意两办的夹角 90°± 0.3 °⑤厚度： 200± 20 um， （中心点厚度≥ 195um，边缘四角厚度≥ 195um）180± 20 um， （中心点厚度≥ 175um，边缘四角厚度≥ 160um）⑥ TTV: ≤ 30um ⑦弯曲度：≤ 40um 3、表明指标：① 线痕：无可视线痕②目视表面：无粘污、无水渍、染色、白斑、指印等③无崩边：无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲二、合格品（Ⅱ类片）2、 物理、化学特性①型号： P 晶向 [100] ± 1°②氧含量：≤ 1.0X10 18 at/cm 3③碳含量：≤ 5X1016 at/cm 3④勺子寿命： T=1.3— 3.0us （在测试电压≥ 20mv下裸片的数据）⑤电阻率： 0.5-0.8 Ω /cm ⑥位错密度：≤ 3000 个 /cm 2、几何尺寸：①边长： 125*125 ± 0.5mm ②对角： 150*150 ± 0.5mm ③同心度：任意两弧长之差≤ 1.5mm ④垂直度：任意两办的夹角 90°± 0.3 °⑤厚度： 200± 20 um， （中心点厚度≥ 195um，边缘四角厚度≥ 180um）180± 20 um， （中心点厚度≥ 175um，边缘四角厚度≥ 160um）⑥ TTV: ≤ 30um ⑦弯曲度：≤ 40um 3、表明指标：① 线痕：无明显线痕、触摸无凹凸感。③崩边范围：崩边口不是“ V”型，长 X 深≤ 1X0.5mm ，无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲三、等外品（Ⅲ类片）3、 物理、化学特性①型号： P/N 晶向 [100] ± 3°②氧含量：≤ 1.0X10 18 at/cm 3③碳含量：≤ 5X1016 at/cm 3④勺子寿命： T＜ 1.0us （在测试电压≥ 20m下裸片的数据）⑤电阻率：≤ 0.5 Ω /cm ⑥位错密度：＞ 3000 个 /cm 2、几何尺寸：①边长： 125*125 ± 1.0mm ②对角： 150*150 ± 1.0mm ③同心度：任意两弧长之差≤ 1.5mm ④垂直度：任意两办的夹角 90°± 0.5 °⑤厚度：＜ 160um 3、表明指标：① 有明显视线痕，触摸有凹凸感