捷佳伟创异质结电池全工序装备（深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公 司副总经理 ）

股票代码： 300724 捷佳伟创 2019.12.7 捷佳伟创异质结电池全工序装备 www.chinasc.com.cn异质结电池 优势 2019/12/3 CONFIDENTIAL 2 ◼ 最简洁 4步 工艺流程 ◼ 最高转换效率 ◼ 最低温度系数 ◼ 最佳双面效益 ◼ 无光致衰减 (LID) ◼ 无电位衰减 (PID) ◼ 最薄硅片技术 (低温工艺、结构对称与效率提升 ) ◼ HJT适用所有组件技术 ◼ 最低组件成本与硅片成本 ◼ 最佳的技术延展性 (双面电池、 HBC与 Tandem) www.chinasc.com.cn低成本 與高效率電池 ◼完美的鈍化層 ◼低工藝溫度 ◼對稱性的結構 24.7%@98μm 500 200 50 20 5 2 Bowden et al., 2009. HJT IBC P-multi/mono ( ) SRVt n n e kT V i oc +  = + = 2/ ln 2 Source: Panasonic www.chinasc.com.cn异质结电池是超高效电池的发动引擎 Sample Area (cm2) Company Technology 25.13% 25.00% 25.10% 24.52% 24.70% 25.11% 24.85% 26.60% 24.91% 25.60% 25.10% 28.00% 24.00% 24.50% 25.00% 25.50% 26.00% 26.50% 27.00% 27.50% 28.00% 28.50% 4 121 151.9 238.9 101.8 244.54 244.54 180 239 143.7 3.7249 1 Fraunhofer ISE SunPower Kaneka Panasonic (Sanyo) 汉能 汉能 /珠峰永 明 Kaneka Panasonic (Sanyo) Sharp Oxford PV TOPCON IBC HJT HBC Perovskite tandem 转换效率 (ɳ) Summary www.chinasc.com.cn 双面异质结电池 HJT 电池效率 24.0% 双面率 93% 背面与正面照光强度比 R=10% 等效电池效率 26.2% Incident light to front side Incident light to backside High reflection material 效率 26%电池技术 (1):双面异质结电池 www.chinasc.com.cn HBC : HJT+IBC • Sharp: 25.10% (3.7 cm2; 2014 ) • Panasonic: 26.08% (143.6 cm2; 2017) • Kaneka: 26.70% (180 cm2; 2017) HJT IBC ? 效率 26%电池技术 (2):背接触式异质结电池 www.chinasc.com.cn效率 26%电池技术 (3):迭层异质结电池 异质结电池 钙钛矿电池 迭层异质结电池 • Oxford PV: 28.00% (1 cm2; 2018 ) • 汉能 : 27.15% (1 cm2; 2019) 資料來源 :汉 能 www.chinasc.com.cn异质结电池产 业化 挑战 8CONFIDENTIAL 电池生产设备 ◼ 最简洁 4步 工艺流程 ，但设备投资过高 ◼ 电池生产所需材料昂贵 电池生产材料 www.chinasc.com.cn捷佳伟创异质结 电池 设备与布局 工序 选型 SC可提供 产能 (PCS/Hour) 国产设备进展 自动化 / 全厂自 动化 ,可 提供 根据产线匹配 实现国产 制绒清洗 RCA清洗 可提供 6000 实现国产 O3清洗 可提供 6000 非晶硅沉积 PE-CVD 2020Q1可 提供 5500 实现国产 透明电极 RPD 可提供 5500 实现国产 电极制备 丝网印刷 可提供 6000 实现国产 主 流 工 艺 流 程 2019/12/3 CONFIDENTIAL 9 www.chinasc.com.cn产线整体 配置图 (250MW/条 ) 整线设备： (1)制绒清洗设备 →(2)板式等离子体增强化学气相沉积设备 → (3)反应式等离子体镀膜设备 →(4)丝网印刷设 备 121米 29米 一流的光伏设备制造商 股票代码： 300724 www.chinasc.com.cn 镀透明导电膜 印刷烧结检测酸碱蚀刻制绒 制绒设备 等离子体加强化学 反应式等离子体 丝网印刷设备 气相沉积镀膜设备 镀膜 设备 镀非晶硅膜层 www.chinasc.com.cn高效 HJT制绒设备 2019/12/3 CONFIDENTIAL 12 硅片尺寸（ mm） Wafer Size 156X156（可以兼容 M2至 M6 capable with larger size） Up Time 95% 破片率 Breakage Rate ≦ 0.05% 外形尺寸（ mm） Dimension 26630(L) X 2570(W) X 2590(H)-28F 最大提升重量 Max Lifting Weight 50Kg 产能 Throughput 3200片 /小时 or 6400片 /小时， 3200pcs/hour or 6400pcs/hour 清洗篮装载能力 Loading Capacity 200 or 400片 /批， 200 or 400pcs/bath 功率消耗 power Consumption 292KW www.chinasc.com.cn制绒 设备优势汇总 2019/12/3 CONFIDENTIAL 13 ⚫ 高效 HIT单晶制绒设备，在洁净度、能耗、智能制造等方面全面提升； ○ MES系统， RFID功能，在线换液； ○ 快速热水配液系统 ,快速排液功能； ○ 全新的槽体循环结构，提升清洗能力（循环、鼓泡、溢流等）； ○ 设备整体排风、酸性区域、碱性区域硬隔离； ○ 酸碱槽体机械手合理分布，有效防止交叉污染； ○ 设备 COO优化，大产能设计，更节能设计； ○ 全新烘干槽体设计，低温高品质晶硅表面，千级以下洁净度控制； ⚫ 可兼容多种单晶制绒添加剂 ○ 4-6个制绒槽，亦可扩容，可匹配制绒时间较久的制绒添加剂； ⚫ 未来降本方案可升级为 O3替代 H2O2工艺，极大降低化学品耗量 15%； ○ 提高清洗能力，高效预处理以及后处理工艺 www.chinasc.com.cnPECVD的瓶颈 2019/12/3 CONFIDENTIAL 14 行业内 PECVD的一些问题 解决方案 -捷佳创 PECVD 载板进出反应腔：工艺交叉污染风险，温 度变化影响工艺，加热时间长，多个载板 增加成本 只需加热硅片，无交叉污染风险，无载板温度变 化，反应腔内温度非常稳定有助工艺性能 自动化环节问题 批量翻面提高节拍时间 产能不能满足要求，设备成本高 同等成本的前提下实现更多产能（成本低） www.chinasc.com.cn ⚫ 采用 RF PECVD，标规等离子源，维护成本低，性能稳定可靠 ⚫ 托盘不需要进出反应腔， 硅片 温度稳定，间接减少工艺节拍时间 ⚫ 没有交叉污染，解决了托盘交叉污染经常要清洗的麻烦 ⚫ 避免了托盘在工艺末端要回传到设备前端的环节 ⚫ 沉积间距可调，工艺窗口灵活 PECVD设备优势汇总 2019/12/3 CONFIDENTIAL 15 www.chinasc.com.cn反应式等离子体镀膜 设备 等离子设备 2019/12/3 CONFIDENTIAL 16 www.chinasc.com.cnRPD5500单机说明 2019/12/3 CONFIDENTIAL 17 毛产能 5500片 /时与 Uptime 90% RPD5500A单机台 (自动化 )长度约 16.5米，设备宽 4.8米，宽度需 6.6米 (含电箱 ) 4.8米 6.6米 www.chinasc.com.cnRPD与 SPT电池效率比较 晋能清洁能源科技股份公司 2019年 9月 RPD SPT 0.33%~ 0.36% 2019/12/3 CONFIDENTIAL 18 www.chinasc.com.cn反应式等离子体镀膜 设备优势汇总 低离子轰击确保高质量的接口特性，优异 FF 高载子迁移率带来高长波长透光率，更高 Jsc RPD比 SPT的异质结电池效率高出 0.35% RPD设备让客户赢在高效率的起跑点 2019/12/3 CONFIDENTIAL 19 www.chinasc.com.cn丝网印刷 设备 布局 产能 ≥5500wph HJT丝网印刷整线工艺流程 二 次 印 刷 背 电 极 烘 干 印 刷 正 电 极 烘 干 叠 印 正 电 极 固 化 测 试 分 选 印 刷 背 电 极 上 料 烘 干 2019/12/3 CONFIDENTIAL 20 www.chinasc.com.cn丝网印刷设备优势 上 层 红 外 加 热 管 硅 片 下 层 红 外 灯 管 硅 片 运 行 方 向 捷佳创固化炉方案 2019/12/3 CONFIDENTIAL 21 斜立式烘干炉固化炉优点： 1.连续运输，破片低 2.连续加热，每片硅片受热均匀 3.连续走片，排废效果好 4.产能提升空间大 www.chinasc.com.cn捷佳伟创异质结电池全工序装 备总 结 制绒设备，在洁净度、能耗、智能制造等方面全面提 升 PECVD反应腔 无 托盘 设计 ，没有交叉污染问题进而提高 Voc RPD比 SPT效率高出 0.35%，让客户赢在高效率的起跑点 丝网印刷 斜立式 烘干与固化 ，提升产品均一性与效能 捷佳伟创落实全厂智能生产与 HJT设备国产化，服务本地化与价格本地化 2019/12/3 CONFIDENTIAL 22 www.chinasc.com.cn 股票代码： 300724