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全部资源
光刻工艺(20180723095705)
2018-08-15
光刻工艺过程一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。1、硅片清洗烘干( Cleaning and Pre-Baking )方法湿法清洗+去离子水冲洗+脱水烘焙(热板 150~ 2500C,1~ 2分 钟 ,氮气保护)目的 a、除去表面的污染物(颗粒、有机物、工艺残余、可动离子) ; b、除去水蒸气,是基底表面由亲水性变为憎水
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索比杜金泽
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光伏太阳能铝合金型材的生产工艺控制.
2018-08-15
. 光伏太阳能铝合金型材的生产工艺控制【摘要】 光伏太阳能铝合金型材作为边框对电阳能电池板起支撑作用, 对力学性能、几何尺寸、表面质量、腐蚀性能有极其严格的质量要求。本文从合金成分、挤压工艺、 表面处理、 包装各环节进行全面的生产工艺技术介绍。 重点着重于现场生产指导,对理论原理不作表述。【关键词】光伏太阳能铝型材合金成分、力学性能、几何尺寸、挤压工艺、氧化膜、封孔质量、覆盖膜质量检测。一、光伏
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索比杜金泽
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光刻实验报告
2018-08-15
光刻实验一.实验目的了解光刻在集成电路工艺中的作用,熟悉光刻工艺的步骤和操作。二.实验原理光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术, 它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的 SiO2 层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中, 未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化, 很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用
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光刻工艺原理8(20180720153457)
2018-08-15
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光刻工艺认识实验报告
2018-08-15
光刻工艺认识实验报告一、光刻工艺操作1.硅片清洗和表面处理这个步骤由助教老师完成。所用硅片尺寸 2 英寸,厚度为 400μ m,单面抛光。掺杂类型 p 型。2.涂胶匀胶机第一、二级转速和各转速的运转时间由助教提前设置好。分别为 第一级转速 500n/min, 时间为 3 秒; 第二级转速为 4000n/min,时间为 60 秒。把处理好的硅片放在承片台正中,按下吸片按钮,硅片被吸住。检查确
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光伏印刷原理
2018-08-15
光伏电池工艺丝网印刷的目的与原理1.丝网印刷目的将金属导体浆料按照所设计的图形,通过刮条挤压漏印在 pecvd 镀膜后合格的硅片正面、背面。2. 丝网印刷原理光伏电池的印刷电极是光伏电池制造的重要工艺之一, 它质量的好坏会直接影响到光伏电池的性能。 最早是采用真空蒸镀或化学电镀技术制作, 现今普遍采用的是丝网印刷工艺。 丝网印刷本身是一项传统的工艺技术, 自 20世纪 70 年代就得到了广泛的应
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索比杜金泽
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光刻板制作工艺
2018-08-15
光刻工艺 4---- 掩膜板 /光罩xixi78 发表于 2008-5-06 1956 来源 半导体技术天地掩膜板 / 光罩( Photo Mask/Reticle )硅片上的电路元件图形都来自于版图,因此掩膜板的质量在光刻工艺中的扮演着非常重要的角色。1、掩膜板的分类光掩膜板( Photo Mask )包含了整个硅片的芯片图形特征,进行 1 1 图形复制。这种掩膜板用于比较老
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索比杜金泽
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光伏行业基础知识
2018-08-15
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索比杜金泽
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光刻工艺简要流程介绍
2018-08-15
光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一。 主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上, 为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。 光刻的成本约为整个硅片制造工艺的 1/3 ,耗费时间约占整个硅片工艺的 40~ 60。光刻机是生产线上最贵的机台, 5~ 15 百万美元 / 台。主要是贵在成像系统(由15~ 20 个直径为 200~ 300mm的透镜组成)和定位系统(定位精度小于 10nm)。
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索比杜金泽
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硅片上电镀铅锡合金工艺
2018-08-15
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索比杜金泽
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