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光伏PECVD技术专题分享
光伏PECVD技术专题分享
标签：
光伏技术
PEVCD
50.00金币
共30份文档 / 原总价：440.00金币
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2019-08-19
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PECVD法氮化硅薄膜的研究 |
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第 15卷第 1期 材 料 科 学 与 工 程 总第 5 7期 V o 1115N o 11 M aterials Science 在 M O S 电路中 , Si3N 4和 SiO 2组成复合栅绝 |
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pecvd |
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13-推动中国高效异质结电池产业化崛起：先进臭氧清洗，ICP-PECVD及PVD关键设备-Zhenhao Zhang |
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SINGULUS TECHNOLOGIES November 2016 12th CSPV, Jiaxing/China 推动中国高效异质结电池产业化崛起： 先进臭氧清洗，ICP-PECVD 及PV |
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PECVD工艺文件 |
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拟制 审核 批准 日期 部门单位：东磁太阳能 第 1 页 共 8 页 版本：A1.1 编号：Q/DM18 技 8.01-2010 PECVD 工艺文件 1. 原理 4.1 PECVD 技术原理 PE |
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pecvd原理基础 |
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PECVD原理基础 摘抄整理 工艺部 李文 2011-3 真空真空真空真空 定义定义定义定义 泛指低于一个大气压的气体状态。与普通大气状态相比，分子密度较为稀薄，从而气体分子 与气体分子，气体分子 |
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09-PECVD法制备石墨烯纳米片及其在太阳能电池中应用-程其进 |
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XIAMEN UNIVERSITY (PECVD 法 制备石墨 烯纳米片及其在太 阳能电池中应用) PECVD produced graphene nanoflakes and relevant |
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JUSUNG PECVD 设备说明(1) |
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Safety Manual CYCLONE TM PLUS JUSUNG Engineering Co., Ltd. Page Revision 1.0 1-1 User’s M |
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PECVD工艺工程师手册 |
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PECVD氮化硅薄膜制备与微结构研究 |
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【精品】影响PECVD的工艺参量(1) |
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葵花宝典--PECVD |
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PECVD：等离子增强化学气相淀积 Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 一、镀膜原理 二、管式 PECVD 镀膜的各工艺参数具体控制范围 三、PECV |
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PECVD氮化硅薄膜的性能对太阳能电池的影响分析毕业设计(1) |
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PECVD |
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SiNx:H减反射膜 和 PECVD技术 目录 v SiNx:H简介 v SiNx:H在太阳电池中的应用 v PECVD原理 v光学特性和钝化技术 v系统结构及安全事项 2 SiNx:H简介 v正常 |
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PECVD工艺腔加热功率调整方法说明 |
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PECVD 工艺腔加热功率调整方法说明 张小亮 2013-08-08 工艺腔加热模块组成简述 • 调整方法说明 • 加热功率对工艺腔温度分布的影响 工艺腔加热模块组成简述（ 1） 加热板内部加热电阻 |
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动态在线连续PECVD镀膜在异质结电池量产设备中的优势（报告人-邓勋明-昆山迅立光电设备有限公司） |
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昆山迅立光电设备有限公司 迅立光电设备有限公司保密资料- 未经许可不得外传 高端真空镀膜设备的研发和制造 光伏• 平板显示• 半导体• 节能建 筑 • 汽车 零部件 • 新 材料研 发• 医疗器 械 |
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PECVD沉积氮化硅薄膜在退火过程中的特性变化及在太阳电池中的应用 |
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3 北 京 市 科 技 新 星 计 划 资 助 项 目 (H020821480130) 收 稿 日 期 :2003211206 PECVD 沉 积 氮 化 硅 薄 膜 在 退 火 过 程 中 的 特 |
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PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究 |
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PECVD微波产生原理 |
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PECVD 微波产生原理 缪国芳 李佳良 微波功率系统组成 微波功率系统简图 微波电源的功能 磁控头的构造 微波的传导 1微波功率系统组成（ 1） 以上为主机通过 CAN通讯方式控制微波电源及 所 |
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PECVD工艺比较 |
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用于太阳电池的等离子体技术 中科院电工研究所 王文静 用于太阳电池的等离子体技术 • PECVD技术 –制备晶体硅太阳电池的减反射和钝化膜 –用于电池片边缘的刻蚀 –非晶硅薄膜制备技术 –非晶硅/晶 |
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PECVD工艺程序说明1.0 |
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