激光切割的优化指标-陈志明-ASM.pdf

ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY激光切割的优化指标2017 双玻、叠片与半片电池组件论坛陈志明， 业务发展总监， ASM可再生能源 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY40年的设备技术， 制成开发与生产经验香港上市 ： 0522. HK。股价:HK$113 市值: HK$46.17BASMPT： ASM 太平洋公司 设备事业一览ASMPT ASM 太平洋公司 （半导体后段设备） ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYASMPT 全球足迹 – 亚洲、东南亚、欧美 USA CanadaMexico Costa RIca Brazil UK The Netherlands GermanySpainMoroccoFrance ItalySwedenMalta Czech RepublicRomaniaHungaryAustria Poland Singapore MalaysiaHong KongChina JapanKoreaTaiwanPhilippinesRussiaIndia ThailandIndonesia主要制造，科研/运作点 科研中心科研人员知识产权10制造中心6 1,100 1,700 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY核心能力科研中心 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY § Linear Motors – 线性马达§ Vision Systems – 光学系统§ Control Systems – 控制器§ Multi- Beam Lasers – 激光§ Dispensing/Printing – 喷涂/印刷§ Smart Factory – 智能工厂核心能力的掌握与发展 Voice Coil Motors Motion Control Linear MotorsMulti-Beam Lasers Vision Systems Dispensing/Printing Smart Factory ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY苏州售后服务中心： 印刷、检测、 激光工艺支援构思发展分析量产 Width 35 µmHeight 11 µm ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY § 多晶PERC， 4BB+5BB§ 单晶，多晶，双面， HIT/HJT – 开发经验ASMPT 拥有最丰富的½电池生产经验 2013½ 电池划片研发 2014 100MW 生产2016 600MW 生产2017 Q1 1GW 生产 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY全自动划片 + 掰片自动切割位置矫正 （光学） § +/-100um*§ 压力 1切割/掰片造成缺陷切割/掰片造成缺陷 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY 1.不同工艺的电池片， 会有不同的抗弯强度2.代表电池片的机械构造稳定性 – 破片， 隐裂3.激光切割影响抗弯强度抗弯强度的定义4BB 多晶 PERC Flexural Strength 抗弯强度 (MPa) Thickness (µm) 厚度Max 最大120 211Min 最小102 202Mean 均值112 206 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY激光工艺调整改变抗弯强度 – 优化指标1 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY参数种类激光IR， 皮秒热影响区40 – 43um 划片深度85um/ 100um划片次数1次/2次抗弯强度108MPa 均值掰片工艺无接触掰片掰片稳定性分析 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY掰片稳定性与不良分析 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY掰片稳定性分析 – 皮秒 1次划片 Point 1Point 2Point 3 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY掰片稳定性分析 – 皮秒 2次划片 Point 1Point 2 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY掰片稳定性 指标2 – 重熔结合，粗糙度 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY1.加强光源的聚集，激光切割能力变得更有效2. ABC – §减低激光成本， §提高生产效益，简化工艺 –1次划片ASM ABC 工艺： Advanced Beam Control工艺参数ABC 参数激光IR， 皮秒IR 纳秒热影响区40 – 43um 60 – 70um划片深度85um/ 100um 85- 100um划片次数1次/2次1次抗弯强度108MPa 均值92MPa 均值 （-15%）价格/瓦数US$5000 US$320 (-1463%)掰片工艺无接触掰片无接触掰片 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYASM ABC IR 纳秒工艺：提高IR激光的工艺水平 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYASM IR 纳秒 ABC工艺 – 切割面 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYASM IR 纳秒 ABC工艺 –切割面 ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY 1.抗弯强度（Flexural Strength) 破片的优化指标2.掰片的稳定性，品质优化指标§重熔结合 §粗超度3. ASM ABC 工艺§抗弯强度提升 10 -20%§明显的激光划开槽，重熔控制良好§粗糙度均衡 ： 1 - 1.3 µm， PV：12 -13 µm讯息总结： Name:E-Mail: ALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY ALTERNATIVE ENERGYALTERNATIVE ENERGY谢谢 陈志明Joe.Tan@asmpt.com