1nms高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用.pdf
1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用作者： 张晓丹 ， 张发荣 ， 赵颖 ， 陈飞 ， 孙建 ， 魏长春 ， 耿新华 ， 熊绍珍 ， Zhang Xiaodan， Zhang Farong， Zhao Ying ， Chen Fei ， Sun Jian ， Wei Changchun， Geng Xinhua， Xiong Shaozhen作者单位： 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 ,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 ,天津,300071刊名： 半导体学报英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS年，卷 (期 )： 2007， 28(2)引用次数： 5次参考文献 (20条)1. Meier J . Fluckiger R . Keppner H Complete microcrystalline p-i-n solar cell-crystalline or amorphouscell behavior 19942. Finger F . Hapke P. Luysberg M Improvement of grain size and deposition rate of microcrystallinesilicon by use of very high frequency glow discharge 1994(20)3. Vetterl O . Finger F . Carius R Intrinsic microcrystalline silicon:a new material for photovoltaics20004. Stabler D L . Wrongski C R Reversible conductivity changes in discharge-produced amorphous Si 19775. Meier J . Torres P . Platz R On the way towards high efficiency thin film silicon solar cells by the“micromorph“concept 19966. 张晓丹 . 赵颖 . 高艳涛 . 朱锋 . 魏长春 . 孙建 . 耿新华 . 熊绍珍 太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究 [期刊论文] -物理学报 2005(10)7. Yan B J . Yue G Z. Yang J Hydrogenated microcrystalline silicon single-junction and multi-junctionsolar cells 2003(762)8. Yamamoto K. Nakajima A . Yoshimi M A high efficiency thin film silicon solar cell and module 20049. Klein S . Repmann T. Brammer T Microcrystalline silicon films and solar cells deposited by PECVD andHWCVD 200410. Van Veen M K. Van der Werf C H M . Rath J K Incorporation of amorphous and microcrystalline siliconin n-i-p solar cells 200311. Shah A. Vallat-Sauvain E . Torres P Intrinsic microcrystalline silicon ( μ c-Si:H) deposited by VHF-GD (very high frequency-glow discharge):a new material for photovoltaics and optoelectronics 200012. Mai Y. Klein S . Carius R J.Microcrystalline silicon solar cells deposited at high rates 200513. Kondo M. Nishimoto T . Takai M High rate growth of amorphous and microcrystalline silicon 200114. 张晓丹 . 赵颖 . 高艳涛 . 朱锋 . 魏长春 . 孙建 . 耿新华 . 熊绍珍 优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响 [期刊论文] -人工晶体学报 2006(1)15. 高艳涛 . 张晓丹 . 赵颖 . 朱锋 . 魏长春 . 孙建 . 耿新华 . 熊绍珍 本征微晶硅材料及其在电池中的应用 [期刊论文] -真空科学与技术学报 2005(5)16. 张晓丹 . 赵颖 . 朱锋 . 魏长春 . 吴春亚 . 高艳涛 . 侯国付 . 孙建 . 耿新华 . 熊绍珍 VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究 [期刊论文] -物理学报 2005(1)17. Zhang X D. Zhao Y. Zhu F A combinatorial analysis of deposition parameters and substrates onperformance of μ c-Si:H thin films by VHF-PECVD 200518. Zhang X D. Zhao Y. Gao Y T Fabrication of devicequality μ c-Si:H thin films and high efficiencyμ c-Si:H solar cells 200519. Mü ller J . Rech B. Springer J TCO and light trapping in silicon thin film solar cells 200420. Zhang X D. Zhao Y. Gao Y T Influence of front electrode and back reflector electrode on theperformances of microcrystalline silicon solar cells 2006相似文献 (6条)1.期刊论文 张晓丹 . 赵颖 . 魏长春 . 孙建 . 赵静 . 耿新华 . 熊绍珍 . Zhang Xiaodan . Zhao Ying . Wei Changchu. Sun Jian .Zhao Jing . Geng Xinhua. Xiong Shaozhen 微晶硅材料和电池特性的相关研究 - 太阳能学报 2007,28(12)主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅材料和电池 . 通过对材料电学特性、结构特性和电池间性能关系的研究 , 获得了高效率微晶硅薄膜太阳电池所对应材料的基本特性 : 暗电导在 10-8s/cm量级上 , 光敏性大于 1000,晶化率约 50%.进行了制备电池的开路电压和表观带隙之间关系的研究.2.会议论文 张晓丹 . 陈新亮 . 耿新华 . 熊绍珍 . 赵颖 . 魏长春 . 孙福和 . 王光红 . 许盛之 . 岳强 . 孙建 . 张德坤 单室 VHF-PECVD技术制备单结微晶硅及非晶硅 /微晶硅叠层薄膜太阳电池的研究 2008本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积 (VHF-PECVD)技术 , 针对单室 VHF-PECVD制备微晶硅薄膜太阳电池存在交叉污染的问题 , 有意地进行了污染控制以及 p/i/n 型电池各层材料的优化研究。继而获得了单室 VHF-PECVD技术制备单结微晶硅薄膜太阳电池的效率达到 6.3％ (1cm2)。同射频等离子体增强化学气相沉积 (RF-PECVD)技术制备的非晶硅薄膜太阳电池组合 , 所研制的非晶硅 / 微晶硅叠层太阳电池的效率达到了 10.6％ (0.25cm2)。3.期刊论文 张晓丹 . 赵颖 . 高艳涛 . 朱锋 . 魏长春 . 孙建 . 耿新华 . 熊绍珍 . Zhang Xiaodan. Zhao Ying . Gao Yantao. ZhuFeng. Wei Changchun. Sun Jian . Geng Xinhua. Xiong Shaozhen 微晶硅薄膜太阳电池中孵化层研究 - 半导体学报2006,27(6)对甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备的微晶硅薄膜太阳电池进行了研究 . 喇曼测试结果显示 : 微晶硅薄膜太阳电池在 p/i 界面存在着一定的非晶孵化层 . 孵化层的厚度随硅烷浓度的增加或辉光功率的降低而增大 . 可以通过适当的硅烷浓度或适当的辉光功率来降低孵化层的厚度.4.期刊论文 张晓丹 . 赵颖 . 高艳涛 . 陈飞 . 朱锋 . 魏长春 . 孙建 . 耿新华 . 熊绍珍 . Zhang Xiao-Dan . Zhao Ying . Gao Yan-Tao. Chen Fei . Zhu Feng. Wei Chang-Chun. Sun Jian . Geng Xin-Hua. Xiong Shao-Zhen 提高微晶硅薄膜太阳电池效率的研究 - 物理学报 2006,55(12)采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅薄膜太阳电池 , 指出了气体总流量和背反射电极的类型对电池性能参数的影响 . 电池的I-V测试结果表明 : 随反应气体总流量的增加 , 对应电池的短路电流密度、开路电压和填充因子都有很大程度的提高 , 结果使得电池的光电转换效率得以提高 . 另外 ,ZnO/Ag/Al背反射电极能明显提高电池的短路电流密度 , 进而也提高了电池的光电转换效率 . 对气体总流量和背反射电极类型影响电池效率的原因进行了分析.5.期刊论文 张晓丹 . 赵颖 . 高艳涛 . 朱锋 . 魏长春 . 孙建 . 耿新华 . 熊绍珍 . ZHANG Xiao-dan. ZHAO Ying. GAO Yan-tao.ZHU Feng. WEI Chang-chun. SUN Jian. GENG Xin-hua. XIONG Shao-zhen 优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响 - 人工晶体学报 2006,35(1)本文主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同硅烷浓度、辉光功率和反应气体流量的单结微晶硅薄膜太阳电池 . 电池的Ⅰ -Ⅴ测试结果表明 : 电池的开路电压随功率的降低、硅烷浓度和气体流量的增加而增加 , 而对应的短路电流密度在一定的硅烷浓度条件下达到最大 , 填充因子也在逐渐的增加 . 文中对具体内容进行了详细的分析.6.会议论文 王光红 . 熊绍珍 . 赵颖 . 张晓丹 . 孙福和 . 许盛之 . 岳强 . 魏长春 . 孙建 . 赵庚申 . 耿新华 单室 VHF-PECVD制备微晶硅薄膜及其在电池中的应用 2008为确定单室高效太阳电池的沉积参数 , 用甚高频等离子体增强化学气相沉积 (VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征微晶硅薄膜 , 并研究其结构及电学输运特性。选择器件质量级的本征微晶硅薄膜作为电池的有源层 , 针对单室沉积微晶硅薄膜太阳电池进行了污染控制的初步研究 , 使单腔室中制备的单结微晶硅电池的光电转换效率提高到 6.17％ (1cm2)。引证文献 (5条)1. 吴斌 . 汪建华 . 满卫东 . 熊礼威 . 谢鹏 . 孙蕾 多晶硅薄膜太阳能电池的研究现状 [期刊论文] -世界科技研究与发展2008(6)2. 何宇亮 . 丁建宁 . 彭英才 . 高晓妮 对硅薄膜型太阳电池的一些思考 [期刊论文] -物理 2008(12)3. 张红梅 . 尹云华 太阳能电池的研究现状与发展趋势 [期刊论文] -水电能源科学 2008(6)4. 郭学军 . 卢景霄 . 文书堂 . 杨根 . 陈永生 . 张庆丰 . 谷锦华 功率密度对 VHF-PECVD制备μ c-Si:H 的影响 [期刊论文] -半导体学报 2008(06)5. 邓荣斌 . 王茺 . 陈寒娴 . 杨瑞东 . 秦芳 . 肖军 . 杨宇 Ta上生长的硅薄膜退火的微晶化研究 [期刊论文] -功能材料2008(05)本文链接： http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_bdtxb200702013.aspx下载时间： 2010年 1月 20日
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