硅片等级分类及标准

硅片等级分类及标准链接： www.china-nengyuan.com/tech/17054.html 硅片等级分类及标准一、优等品1：硅片表面光滑洁净。2： TV： 220± 20μ m。3：几何尺寸：边长 125± 0.5mm；对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm；边长 103± 0.5mm、对角 135± 0.5mm；边长 150± 0.5mm 、 156± 0.5mm、对角 203± 0.5mm、 200± 0.5mm。同心度：任意两个弧的弦长之差≤ 1mm。垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.3 。二、合格品一级品：1：表面有少许污渍、轻微线痕。2： 220± 20μ m ≤ TV≤ 220± 30μ m。3：几何尺寸：边长 125± 0.5mm；对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm；边长 103± 0.5mm、对角 135± 0.5mm；边长 150± 0.5mm 、 156± 0.5mm、对角 203± 0.5mm、 200± 0.5mm。同心度：任意两个弧的弦长之差≤ 1.2mm。垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.5 。二级品：1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。2： 220 ± 30μ m ≤ TV≤ 220± 40μ m。3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤ 30μ m。4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤ 1mm，深度≤ 0.5mm5：几何尺寸：边长 125± 0.52mm；对角 150± 0.52mm、 148± 0.52mm、 165± 0.52mm；边长 103± 0.52mm、对角 135± 0.52mm；边长 150± 0.52mm 、 156± 0.52mm、对角 203± 0.52mm、 200± 0.52mm。同心度：任意两个弧的弦长之差≤ 1.5mm。垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.8 。三极品：1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。2： 220± 40μ m ≤ TV≤ 220± 60μ m。3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。三、不合格品严重线痕、厚薄片： TV＞ 220± 60μ m。崩边片：有缺损但可以改Φ 103的硅片。气孔片：硅片中间有穿孔 。外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差 >1.5mm。菱形片（垂直度）：任意两边的夹角 >90°± 0.8 。凹痕片：硅片两面凹痕之和＞ 30μ m。脏 片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。注：以上标准针对的硅片厚度为 220μ m。原文地址： http://www.china-nengyuan.com/tech/17054.html页面 1 / 1