FORTIX硅片分选机操作与维修手册nwd2

FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 1 -- 1 -FORTIX 操作流程1． 开机：然后将 FORTIX 机台电源（ MAIN POWER）打开：将 FORTIX 主机和 SEMILAB 主机的 UPS 电源分别打开，机 台 电 源开关FORTIX 主机UPS 电 源 开关FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 2 -- 2 -如上图，待 UPS 处于 ON LINE 状态时，方可将 FORTIX 和 SEMILAB 开机 !SEMILAB 主机 UPS 电 源开关FORTIX 主机开机按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 3 -- 3 -SEMILAB 键盘上 Ctrl 两次是切换键， 可以进行少子寿命模组和厚度电阻率 TTV 模组之间的切换。然后将 INTEK PLUS 三个模组（正面检测，微裂纹检测，背面检测）的主机电源打开，INTEK PLUS 键盘上 Ctrl 两次可以进行正面模组，微裂纹模组，背面模组间的切换。1. FORTIX 主机：厚 度 模 组 主机开机按钮正 面检 测模 组主机开机按钮少 子 寿 命 模组 主 机 开 机按钮背 面检 测模 组主机开机按钮微 裂纹 检测 模组 主机 开机 按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 4 -- 4 -1） 开机后打开 FORTIX 软件，进入 MMI 界面；初始化完成后用操作手柄按 99# 进行复位，并手动将 12 个片盒复位。2） 点击 LOT ID ，输入硅片的批次或单号。3）复位完成后，要对分类进行确认，方法是点击 SORTING DATA FILE ，进入界面后点击APPLY---CLOSE ；硅片分类设定输 入 硅 片 批次或单号FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 5 -- 5 -少子寿命模组：1) 开机后打开 uPCD 软件，点击 STOP 进入静态测试模式；2) 放入当前批次硅片，点击进入 Recorder 界面，点击 Autosetting 按钮进行参数自动设置；3）完成后点击 START 进入动态测试模式；4）手动测试一片（ 97#） ，点击 Linescan 观察曲线情况，在曲线上点击右键选择 Skip Edge 可进行边缘剔除，会先后弹出两个对话框，第一个是前部剔除，第二个是后部剔除。边缘调整好之后可以正常测试。参 数 自 动设置按钮动 态 测 试模式，需点击 STOP动 态 测 试模式数据保存FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 6 -- 6 -5）数据保存：点击 Clear Statistics 输入硅片批次或单号进行数据保存，然后点击 New Batch。new Batch 批新clear statistics 清晰的统计functions 功能calibrate thickness 校准厚度calibrate resistivity 校准电阻率compensate resistivity 补偿电阻率Clear Resistivity Offset 明显偏置电阻率clear 清楚offset 抵消FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 7 -- 7 -3. 厚度电阻率 TTV 模组：1）开机后打开 cap 软件，点击 STOP 进入静态测试模式， Average 为 8；2）对模组进行校准，步骤如下：a) 点击 STOP，将校准片放入探头下对准，点击 Calibrate Thickness 校准厚度 ，输入校准片的实际厚度值，点击 OK ；b）取出校准片，点击 New，再点击 compensate Resistivity 补偿电阻率 ；c）放入校准片，点击 New ，再点击 Calibrate resistivity 校准电阻率 ，输入校准片的电阻值，点击OK；d）取出校准片，点击 START 进入动态测试模式；数据保存Average 为 8 校准用按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 8 -- 8 -e）观察 Linescan 中的曲线，可进行边缘剔除 Skip Edge；new Batch 批新clear statistics 清晰的统计functions 功能calibrate thickness 校准厚度calibrate resistivity 校准电阻率compensate resistivity 补偿电阻率Clear Resistivity Offset 明显偏置电阻率clear 清楚offset 抵消3）数据保存：点击 Clear Statistics 输入硅片批次或单号进行数据保存，然后点击 New Batch 批新 。建议：每四个小时校准一次。4) Troubleshooting有时皮带正常运行，模组却没有进行测试可能是以下几个原因：a） Start 按钮没有点击 ---------- 点击 Start 按钮b） Average 的数值太高 --------- 调低 Average 的值，可以调整到 8c）边缘剔除 Skip Edge 值太多，导致测试时间过短 ------ 将 Skip Edge 的值适当减小4.正面检测模组：1）开机后先后打开“ shortcut to isolar_host ”软件和“ isolar_vision ”软件2）进入“ shortcut to isolar_host”软件首先进行初始化，点击 Initialize, 然后点击 Lot Start 选择产品，最后点击 Start 即可。5.背面检测模组，微裂纹检测模组：1）开机后打开“ isolar_vision ”软件即可。1． Initialize初始化2． Lot Start选择产品3． Start开始FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 9 -- 9 -2． AUTO RUN 前机台准备工作：所有马达复位（操作手柄按 99#） ：确保安全门是关闭的：确保没有 ERROR 报警（ FORTIX 操作界面里的 ERROR 栏） ：操作手柄安 全 门 在AUTORUN 时是必须关闭的FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 10 -- 10 -注意：①当出现报警时，先检查 Error, 确保没有 Error 之后，即 Error 清除之后，再按Reset, 之后按 Start 。3．生产过程中或下料：A：硅片分类时片盒满 100 片之后会报警，请及时将硅片取出后放回片盒；B：上料端两边最多各可放 3 个满的花篮，放置空花篮的的区域两边也最多只能放 3 个， 3 个满了时或未满 3 个时都请务必及时将空卡盒取出。ERROR报警项最多只能放3 个满花篮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 11 -- 11 -4．关机：① SEMILAB ： 将运行界面关闭之后关机，切换到另外一个界面，关闭后关机即可。② INTEK PLUS： 在界面上点击 STOP 后， 在 FILE 里点击 EXIT 退出， CTRL 两侧切换各个界面同样的方法关闭后关机。③ FORTIX ： 将运行界面关闭，输入密码，退出后关机。④ 将两个 UPS 电源关闭。⑤ 将主电源 main power 关闭。手动操作界面最多只能放3 个 空 花篮， 3 个满了后请务必立即将其取出FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 12 -- 12 -操作手柄手动操作指令代码的含义（数字 +SET ）数字代码 名称 功能解释01 LOADER M/Z FWD/BWD 1 MOTORMOVE ● 机械手 1 前后移动02 LOADER M/Z UP/DOWN 1 MOTORMOVE ● 机械手 1 上下移动03 LOADER M/Z FWD/BWD 1 SAFETY POS’ ’MOVE ● 机械手 1 前后方向安全区移动04 LOADER M/Z CLAMP 1 OPEN/CLOSE ● 机械手 1 的抓手打开与关闭（汽缸控制） .05 LOADER M/Z STOPPER 1 FWD/BWD ● 进料台 1 的花篮挡块前后移动（汽缸控制） .06 LOADER M/Z RAIL CLAMP 1OPEN/CLOSE ● 进行 5 寸 6 寸硅片生产的切换时，进料台 1 汽缸的前后移动 .07 LOADER M/Z LOADING CONVEYOR 1MOVE ● 进料台 1 的皮带转动 .08 LOADER M/Z UNLOADING CONVEYOR1 MOVE ● 出料台 1(空蓝 )的皮带转动 .11 LOADER M/Z FWD/BWD 2 MOTORMOVE ● 机械手 2 前后移动12 LOADER M/Z UP/DOWN 2 MOTORMOVE ● 机械手 2 上下移动13 LOADER M/Z FWD/BWD 2 SAFETY POS’ ’MOVE ● 机械手 2 前后方向安全区移动14 LOADER M/Z CLAMP 2 OPEN/CLOSE ● 机械手 2 的抓手打开与关闭（汽缸控制） .15 LOADER M/Z STOPPER 2 FWD/BWD ● 进料台 2 的花篮挡块前后移动（汽缸控制） .16 LOADER M/Z RAIL CLAMP 2OPEN/CLOSE ● 进行 5 寸 6 寸硅片生产的切换时，进料台 2 汽缸的前后移动 .17 LOADER M/Z LOADING CONVEYOR 2MOVE ● 进料台 2 的皮带转动 .18 LOADER M/Z UNLOADING CONVEYOR2 MOVE ● 出料台 2（空蓝）的皮带转动 FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 13 -- 13 -21 INLET FEEDER FWD/BWD MOTORMOVE ● 抽片模块前后移动 .22 INLET RAIL FEEDER MOTOR FWDMOVE ● 抽片皮带向前转动 .23 INLET RAIL FEEDER MOTOR FWDCONTINUE MOVE ● 抽片皮带连续转动 .24 SEMILAB RAIL FEEDER MOTOR FWDMOVE ● SEMILAB 检测区皮带向前转动 .25 SEMILAB RAIL FEEDER MOTOR FWDCONTINUE MOVE ● SEMILAB 检测区皮带连续转动 .31 SORT UP/DN 1 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 1 上下移动 .32 SORT FWD/BWD 1 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 1 的皮带向前转动 .33 SORT FWD/BWD 1 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 1 的皮带向后转动 .34 SORT UP/DN 2 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 2 上下移动 .35 SORT FWD/BWD 2 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 2 的皮带向前转动 .36 SORT FWD/BWD 2 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 2 的皮带向后转动 .37 SORT UP/DN 3 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 3 上下移动 .38 SORT FWD/BWD 3 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 3 的皮带向前转动 .39 SORT FWD/BWD 3 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 3 的皮带向后转动 .40 SORT UP/DN 4 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 4 上下移动 .41 SORT FWD/BWD 4 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 4 的皮带向前转动 .42 SORT FWD/BWD 4 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 4 的皮带向后转动 .43 SORT UP/DN 5 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 5 上下移动 .44 SORT FWD/BWD 5 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 5 的皮带向前转动 .45 SORT FWD/BWD 5 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 5 的皮带向后转动 .46 SORT UP/DN 6 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 6 上下移动 .47 SORT FWD/BWD 6 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 6 的皮带向前转动 .48 SORT FWD/BWD 6 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 6 的皮带向后转动 .49 SORTER RAIL GUIDE FWD/BWD ● 硅片分类前对正挡块前后移动（汽缸控制） .50 SORTER RAIL FEED MOVE ● 硅片分类区主皮带向前转动 .91 LOADER M/Z 1 LOADING CYCLE ● 机械手 1 从进料台抓取花篮的连续动作 .92 LOADER M/Z 1 UNLOADING CYCLE ● 从机械手 1 上将花篮退到出料台上的连续动作 .93 LOADER M/Z 2 LOADING CYCLE ● 机械手 2 从进料台抓取花篮的连续动作 .94 LOADER M/Z 2 UNLOADING CYCLE ● 从机械手 2 上将花篮退到出料台上的连续动作 .95 LOADER M/Z 1 WAFER LOADINGCYCLE ● 机械手 1 上已有花篮，从中抽片的连续动作 .96 LOADER M/Z 2 WAFER LOADINGCYCLE ● 机械手 2 上已有花篮，从中抽片的连续动作 .97 SEMILAB INSPECTION CYCLE ● SEMILAB 检测区皮带连续转动，同时模组检测 .98 WAFER SORT CYCLE ● 硅片分类区主皮带连续转动 .99 ALL MOTOR HOME● 机台上所有马达恢复到初始位置 .● 开机后重启软件机台自动跑片前必须执行所有马达复位 .分选机机械手抓篮动作顺序1、花蓝挡块气击缸前进2、机械手前后移动的电机移动到抓篮位置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 14 -- 14 -3、机械手上下移动电机移动到抓篮等待位置4、进篮皮带向前移动5、 X206 感应到皮带上有花蓝6、机械手上下移动的电机移动到抓篮位置7、机械手上升确认片盒正反面（单晶： X208 X213 X215 全部 ON 多晶：X212 X214 X215 全部 ON）8、 X206 ON 位置确认9、机械手抓篮气缸关闭抓篮10、机械手上下移动的电机到抓篮起来的位置11、花篮挡块气缸后退12、机械手抓篮成功，移动到工作区或等待区FORTIX troubleshooting总则：维护机台前必须熟悉机台的结构，工作原理，遵循 FORTIX 维护手册的操作流程来进行机台问题的处理和机台的维护1. 上料部分1）当操作员不小心将花篮底朝上上料时，机械手抓取花篮，传感器感应到花篮正反面不对， MMI 会报一个‘ Loader 1/2 MZTurn over ’ 的ERROR(148/152)，这时操作手柄按 04#（ Loader 1）或 14#（ Loader 2）将机械手打开，小心的将花篮取出放好，依次按 Reset和 Start 继续生产。FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 15 -- 15 -2）当操作员不小心在上料的时候花篮的边相互挤压，造成皮带转动时花篮不能前进，此时应将花篮适当分开，依次按 Reset和 Start 继续生产。3）若在进料处出现机械手不能抓取花篮（进料台上有花篮的前提下） ，MMI 上报警 ‘ LOADER 1/2 M/Z MIS-LOAD ’ (147/151)， 或者报警 “ LOADER1/2 MZ CLAMP OPEN/CLOSE CYLINDER TIME OVER” （ 113/116）此时检查花篮是否完全在进料台皮带上，然后用操作手柄按 04#（ Loader 1）或 14#（ Loader2）将机械手打开，将花篮放正，依次按 Reset和 Start 继续生产。4）上料前可观察花篮里是否有碎片，若有可用镊子取出。如若花篮有碎片而继续上料， 或硅片脱胶不完全造成粘片， 机械手在抓取花篮后， 抽片时，MMI 会报一个‘ LOADER 1/2 WAFER MIS-LOAD ’的 ERROR(155/156)， 此时机台停止运行，可用操作手柄手动按 21#（抽片模块后退，使其传感器不被触发） - → 92#（ Loader 1）或 94#（ Loader 2）将花篮退到出料端，取出花篮将碎片或粘片取出，依次按 Reset和 Start 继续生产。5）出料端花篮 3 个满了之后会报警，要及时将空花篮取出；机台运行时如果不能及时上料，即机械手来抓取花篮，因没花篮而报警（但正常运行） ，在你放入花篮后应按 Reset，此时皮带会传送花篮，机械手继续工作。2. 检测部分2-1， SEMILAB 模组1）有时皮带正常运行， SEMILAB 模组却没有进行测试， MMI 报警出现ERROR： THICKNESS(LIFETIME) DATA NOT RECEIVED ， 可能是以下几个原因：FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 16 -- 16 -a）模组软件没有开启或开启后 Start 按钮没有点击 ------确认软件开启并点击 Start 按钮b） Average的数值太高 ------调低 Average的值，可以调整到 8 或 4 或 2c）边缘剔除 Skip Edge值太多，导致测试时间过短 ------将 Skip Edge的值适当减小d）软件出现 DEMO------ 查看是否开启多个软件窗口，查看线路的连接是否松动，关机重启2）厚度 /电阻率 /TTV 模组每 4 小时校准一次；少子寿命模组每 4 小时用当前当批次任意一个硅片放入模组下，点击RECORDER 界面后，再点击 Autosetting 进行参数自动调整即可2-2， INTEK PLUS 模组1） INTEK PLUS 有三个检测模组（ Vision 1, Vision 2, Vision 3） ，和一个HOST， 在 HOST 界面， 确定模组的连接情况及与 FORTIX handler 的连接情况，绿色表示连接正常，灰色表示检测模组未连接，应检查三个检测模组及软件是否开启， 若开启可在 HOST 界面直接点击 Vision 1 或 Vision 2 或 Vision3，出现对话框直接点击 OK 进行连接即可；红色表示 HOST 与 FORTIX 未连接，检查模组的皮带上面是否有硅片，若有及时拿掉，然后在 HOST 界面点击 Initialize 进行初始化连接即可。3. 分类部分1）每一个片盒满 100片后机台报警，请及时将硅片取出，把片盒正确的放回原位，片盒将自动复位。FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 17 -- 17 -2）硅片如果不能很好的插入片盒，可以适当调整片盒的位置。3）如果硅片在进入片盒前遮挡住传感器，机台会报警停机，须将硅片放入片盒，依次按 Reset和 Start 继续生产。4）如果硅片过多的进入最后一个片盒，请确认 SEMILAB 的检测模组是否正常， 以及打开 FORTIX MMI 界面的 SORTING DATA FILE（分类文件设定）里点击 APPLY 和 CLOSE。4. 其他1）生产过程中确保所有安全门都是关闭的2）放片和取片需正确操作，以免影响机台的运行3) 机台发生报警，可以查阅 MMI 界面 ERROR 菜单里面相应的代码，其包含报警信息，发生报警部件的位置图片显示，发生报警的原因，报警错误信息的解决方法4）马达如果报警，用手柄按 ERROR 提示的进行操作，再按 Reset，马达驱动报警的话，如果此操作不能解决问题，可将机台关机，把机台的电源（ MAIN POWER）关闭， 5 分钟后再开启机台的电源，重新开启 UPS 和各主机电源，则马达驱动报警会自动解除并恢复好5) 机台如有某部件不能正常工作，请先检查相应的传感器或线路或马达，参照维护手册的操作流程来解决问题5. 注意与提醒FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 18 -- 18 -1）机台出现紧急情况，应立即按下紧停按钮将机台断电，以保护机台和人身安全2）机台出现故障，请务必保持冷静，不急不慌，先将机台停止下来，知悉出现故障部分的地方是怎么样的工作流程后，理清思路，按照维护手册或电气接线图一步一步排查，将问题解决。通常的问题都可以通过手柄操作进行解决，所以请您在熟悉机台结构和工作原理后按照手柄操作指令进行操作INTEK 软件操作说明INTEK PLUS 有三个检测模组 (正面，隐裂，背面 )，对应有三个主机，但是三个主机共用一个显示器，可通过 KVM 转换器进行切换到各个模组检测，只需在键盘上按 Ctrl 两次后上下选择Vision 1， Vision 2 或 Vision 3。Vision 1 主界面包括 2 个软件 ，分别是 host 和 isolar_vision 如下图所示：1) HOST 界面FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 19 -- 19 -2） isolar_vision 界面①②③FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 20 -- 20 -其中 HOST 软件 是人机对话界面， ISOLAR 是工艺参数设定软件。1） host 软件操作说明选 择 产品工艺开始测试手动测试开机复位马达参数设置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 21 -- 21 -选择 Motor View 后进入界面首先选择马达，更改到认为合适的位置后，按 TEACH 后 再 SAVE马达参数调整结束选择 MANUAL INSP 后 进入以下界面手 动 调 整 马达位置参数选择马达FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 22 -- 22 -将片子放在测试皮带上，并且将所需要测试的软件 ISOLAR 1， 2， 3 打开并 start 后。 点击 START 后，可到 Isolar 软件界面下检查硅片的检测结果并分析FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 23 -- 23 -如图所示可在 setting 选项下， Inline Image save 中选择是否需要保存不合格硅片的检测图片，如选择 Reject Only ,务必定期清理图片，图片保存路径为：C:/intekplus/ isolar/vision/image .2) ISOLAR 软件说明检测项目：VISION 1 ：正面油污，尺寸，崩边，缺口，线痕VSION 2：隐裂VISION3 ：背面油污，崩边，缺口，线痕图 片 保 存 设置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 24 -- 24 -1． Vision 1 软件介绍其中 CALIB 是模组光学校准工具TEACH 是更改软件工艺参数工具STOP 是软件开关TEST 是手动测试工具检测项目包括： chiping 崩边Broken 缺口Length 边长Edge width 倒角长Edge angle 倒角角度Stain 油污Diameter 对角线长Orthogonality 垂直度Sawmark 线痕校准参数设定开始测试FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 25 -- 25 -1） 如何更改尺寸参数设定。首先点击所需要更改的参数项， 以尺寸为例， 首先鼠标点击尺寸项 Length-----TEACH后进入如下界面1.点击 TEACH --------- 然后点击上方第 6 项 Criteria ------TEACH----- 点击 property -----后可更改工艺参数 ，选项中当前设定尺寸标准为 155.5-156.6 mm .2 参数设置保存参数更改完成后点击 QUITE 退出参数设定界面回到 ISOLAR 的主界面Propertycriteria工艺参数补偿参数设置设置参数保存FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 26 -- 26 -点击 FILE----SAVE JOB----Transfer Job to host(转移工作主机 ) 完成。2） 如何更改油污参数设定。选择 STAIN 选项后 --------- 点击 TEACH 进入如上界面 --------------TEACH -------- 点击第 4 项Blobcriteria -----------TEACH --------Property可以根据硅片参数要求以及实际生产情况调整工艺参数， 包括单个油污面积大小以及总面积大小 和数量 。 更改完成后保存步骤同上。选择第 3 项 Blob ----TEACH-----Property 后工艺参数工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 27 -- 27 -可以更改油污的最小检测单位面积，此数值关系到检测的精度，设置的越小检测的精度越高 ， 但同时也会由于硅片表面其他的影响造成误判。 客户可根据自己硅片的实际情况设置该参数。设置完成后保存同上选择第 2 项，可以调整 LED 光的强弱，可根据硅片生产情况作相应调整选择第 1 项，可以调整硅片表面油污检测的范围，如此范围超出硅片以外，会造成误判3） 如何更改崩边缺口参数设定选择 CHIPPING 选项后 --------- 点击 TEACH 进入如上界面 --------------TEACH -------- 点击第 6 项Blobcriteria -----------TEACH --------Property可以根据硅片参数要求以及实际生产情况调整工艺参数， 包括单个崩边尺寸大小以及面积大小和数量 。 更改完成后保存步骤同上。选择第 5 项 Blob ---------TEACH---------Property工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 28 -- 28 -选择第 5 项 Blob ----TEACH-----Property 后该工艺参数为最小检测单位面积，此数值关系到检测的精度，设置的越小检测的精度越高，但同时也会由于硅片表面其他的影响造成误判。 客户可根据自己硅片的实际情况设置该参数。选择第 4 项 colorthreshold ---------TEACH -------Property 后进入如下界面工艺参数LED 参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 29 -- 29 -根据生产情况可调整 LED 光源参数，例如当出现误判时。参数更改完成后，数据保存同上。4） 如何更改 SAMARK 线痕参数选择 sawmark 选项 -------TEACH-------- 后进入如下界面该工艺参数为线痕的判断标准，数值越小，则检测越严格。根据实际生产情况作相应调整。2． VISION 2 软件说明工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 30 -- 30 -点击选项 1 microcrak -------TEACH----- 进入以上界面 -------- 选择第 9 项 blobcriteria ------TEACH---------Property---- 进入如下界面更改参数后保存同上。工艺参数