碱洗作业指导书

编 号：碱洗作业指导书 版 本： A/1 受控状态：批 准 审 核 编 制日 期 日 期 日 期目的 : 规范硅片碱洗操作程序 , 指导作业方法 , 提高作业效率 , 保证硅片清洗质量 . 2. 适用范围 : 本作业指导书适用于生产计划部原材料准备车间碱洗工序 . 3. 工作职责 : 3.1 对 IC 级硅片、太阳能级单晶硅片、太阳能级多晶硅片进行化学腐蚀清洗 , 去除其表面杂质脏污 , 以满足后续单晶车间、多晶车间的生产需求 . 3.2 严格执行操作工艺流程 , 不断优化作业方法 , 在保障质量和提高产量的基础上 , 逐步降低硅原料的损耗及碱的用量 , 控制生产成本 , 提升营运绩效 . 4. 操作流程及作业方法 / 质量技术要求 / 设备及材料 / 安全注意事项4.1 操作流程及作业方法4.1.1 准备好待碱洗的硅片 . 4.1.2 穿戴好经检查合格的防护用具 . 4.1.3 检查纯水的质量与流量是否达到要求 . 4.1.4 检查水管、排风机、碱洗槽、超声波清洗机等是否正常 . 4.1.5 将待洗的硅片分装在纱网中 , 整齐有序地摆放在装料台上 , 每包装硅片 1～ 3Kg,散落的硅片立即捡起 . 若发现常规片料中混有非常规片料 , 需挑出单独放置 , 分开处理 4.1.6 将各级冲洗、浸泡水槽及超声清洗池内的纯水注满 . 4.1.7 启动排风机和碱雾处理塔 . 4.1.8 用 NaOH与纯 H2O在碱洗槽内配置碱洗溶液 , 液位不超过碱洗槽深的 2/3. 各种硅片所用碱洗液的配置比例如下表（重量比） ：硅 片 名 称 IC 级 硅 片 太阳能级单晶硅片 / 多晶硅片NaOH 1 1 H2O 2 3 ～ 4 4.1.9 往 HCL浸泡槽中加入适量浓度为 36%— 38%的 HCL. 4.1.10 把装好的硅片轻轻放入碱洗槽腐蚀液中 ,不停晃动纱网，使碱液沸腾 ,让硅片反应均匀、充分 . 碱洗腐蚀时间为 8± 3 分钟 , 4.1.11 当硅片表面呈银亮色时 ,立刻取出纱网 ,放入一级冲洗池内冲洗 2± 1 分钟 ,冲洗时不断晃动纱网 ,使硅片表面碱液冲洗及时、 充分 ,防止 NaOH 在硅片表面凝结 .晃动时不要让原料露出水面 ,防止硅片氧化和被空气中的浮尘玷污4.1.12 碱洗过程中， 如果没有剧烈的反应现象 (碱液沸腾， 冒出大量气泡 )， 则按对应的比例加入碱 ,如果碱液过于浓稠 ,则加入适量的水进行稀释 . 4.1.13 每槽碱液洗料 3～ 5 包后 ,反应不充分时 ,则重新配制新碱液 . 4.1.14 一级冲洗后立即放入二级清洗池内 ,用纯水冲刷 3±1 分钟 ,同时目检硅片 , 表面有氧化、 NaOH 凝结、油污 ,明显色差的 ,则捡出后放入纱网 ,送返并通知重新处理 . 4.1.15 把目检合格的硅片冲洗后浸泡在盛有 36%-38%HCL浸泡槽内 ,以硅片全部浸没在 HCL中为准 .浸泡时间为 5± 1 分钟，不停晃动纱网 ,充分中和 . 4.1.16 把 HCL浸泡好的硅片放入冲水桶过水后 ,转入漂洗房内进行三级纯水冲洗 2± 1 分钟 .中间隔性地晃动纱网 . 4.1.17 把硅片放入超声清洗机清洗池内超声清洗 .清洗时间 5± 1 分钟 . 冲洗过程中间隔性地晃动纱网 . 4.1.18 超声清洗完以后 ,将硅片倒入四级清洗池垫有纱网的烘干筐内 (预先放入 ),浸泡约 4 分钟 .浸泡过程中 ,间隔性地搅动硅片 .4.1.19 浸泡时 ,用 PH 试纸测试水质及原料表面 ,合格后取出烘筐 ,将水沥干后送往烘干房 . 4.1.20 将烘干筐按照从上到下的顺序依次装在烘干车上 , 做好烘干记录 , 将烘干车推入烘箱 , 及时关上烘箱门 , 对硅料进行烘干 . 烘箱的温度设置为 100± 5℃ , 风机开启 , 让热风循环 , 烘干时间 10～ 12 小时 , 碎料时间略长 .4.1.21 每次操作前后都要做好现场工艺卫生，清理地面上残留的碱液、积水、碎料 . 4.2 质量技术要求4.2.1 碱洗好的硅片表面呈银亮色 ,无氧化、无碱印、无油污、无明显色差、无明显花斑、无任何杂质、无水渍 . 4.2.2 在洗料过程中 ,禁止以裸手直接与硅片接触 . 4.2.3 碱洗、冲水、浸泡时，非常规原料与常规原料不得同时放在一个槽子内 . 4.2.4 不同类型的硅片分开洗 ,做好标识 ,每洗完一种硅料 ,及时清理现场 ,避免造成原料互混 . 4.2.5 现场不得有任何不可识别的原料或者碎料残渣 . 4.2.6 超声波清洗池内的水约每 2 小时更换一次 . 4.2.7 所有冲洗过程采用纯水溢流方式 ,浸泡池的水质需保持中性状态 . 4.2.8 纯水水质≥ 18MΩ. cm,纯水流量达到约 30T/H. 4.2.9 使用的 NaOH 纯度≥ 98%. 4.2.10 使用的 HCL分析纯为 36%～ 38%. 4.3 设备及材料4.3.1 设备碱雾处理塔、排风机 ( 22KW)、酸洗腐蚀柜、超声波清洗机、酸洗槽、冲水槽、浸泡槽、装料台 . 4.3.2 材料引水管、碱洗槽、纱网、有机面罩、防毒口罩、一次性口罩、防酸 /碱围裙、防酸 / 碱手套、乳胶手套、防酸 /碱雨靴、 NaOH、 HCL. 4.4 安全注意事项4.4.1 作业过程中 ,劳保用品一旦破损 ,立即更换 . 4.4.2 小心强碱 NaOH 对人体造成灼伤 ,若不小心碱液溅到皮肤上眼睛里 ,,立即用流动的清水冲洗 . 4.4.3 配制碱液时，动作要轻，不得野蛮操作 . 4.4.4 碱洗时 ,注意酸碱液不得外溢 ,污染环境 . 4.4.5 废空桶和袋子及时清理并按规定放置 . 4.4.6 防止烘箱、烘干车高温对人体造成烫伤 . 4.4.7 严防水进入超声波清洗机控制箱 . 附操作方法参考图片 : 正确穿戴好防护用品 装料 碱洗硅片 一级冲洗二级冲刷 ,目检外观 HCL 浸泡 冲水桶过水 三级纯水冲洗超声波清洗 四级纯水浸泡 沥水后送往烘干房 装入烘箱烘5. 支持性记录《烘干记录表》 YGJY-QR-164