硅材料加工工艺分析及相关化学品的研究

硅材料加工工艺分析及相关化学品的研究作者： 张楷亮 ， 宋志棠 ， 刘玉岭作者单位： 张楷亮 ,宋志棠 (中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,半导体功能薄膜工程技术研究中心) ， 刘玉岭 (河北工业大学微电子技术与材料研究所 (天津 ))本文链接： http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_5904319.aspx