TRM-100无接触电阻率型号测试仪

1 TRM-100 操作说明产品介绍HS-TRM-100 型无接触式电阻率型号测试仪是基于涡流（ Eddy Current）测试技术，能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。无接触式电阻率型号测试仪 -产品特点■ 测试范围广，低阻可测至 0.001ohm.cm，甚至 0.0007ohm.cm,高阻可测至 100ohm.cm ■ 产品体积小，便于移动和携带■ 采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率 ■ 无接触、无损伤快速测试 ■ 测试前无需表面处理 ■ 特别对于多晶，能够有效避免晶界对测试的影响 ■ 测试范围： 0.001-100 ohm.cm (分段测试） ■ 可选加无接触 PN型号测试功能 ■ 可进行温度和厚度的修正无接触式电阻率型号测试仪 - 技术指标■ 硅棒硅块可测量电阻率范围： 0.001-100Ohm.cm ■ 最小测试厚度： 200μ m ■ 测量时间： 2 秒 /次■ 最小测试面积： 30x30 mm2 ■ 推荐使用温度： 20℃■ 湿度：≤ 80% ■ 气压： 86-106kPa ■ 使用电压： 230 ± 10V ■ 频率， 50± 3Hz 2 ■ 功率消耗：≤ 5W 尺寸（ LxWxH ） ： 280x200x60mm控制按键说明控制按键说明： ：白色按键——修改数据时改变小数点位置按键蓝色按键——修改数据时增加按键；测量模式时硅片、硅锭选择按键绿色按键——确认按键；长按则进入厚度和标准硅片电阻率输入模式黄色按键——校准按键（长按进入校准模式）红色按键——测量模式选择按键（选择精确测量模式或者快速测量模式）黑色按键——开始按键（开始测量）蓝色指示灯——测量模式时硅片、硅锭指示灯绿色指示灯——厚度和标准硅片电阻率修订模式的指示灯黄色指示灯——校准模式的指示灯红色指示灯——测量模式选择指示灯操作说明操作说明： ：一 、 开机连接好主机电源线，按主机后面的电源开关，把主机电源打开，打开后需要 预热 20分钟分钟才能做接下来的操作 。预热时间不足将可能导致测量结果不准确。二 、 修改及查看厚度值及修改及查看厚度值及标准 标准标准硅片 硅片硅片电阻率值 电阻率值设备在其内存中存储了标准样品的厚度及电阻率值以及校准数据， 如果标准样品改变了或者需要进行修改，需要使用标准硅片厚度及电阻率值输入模式，长按“ ENTER ”按键，绿色的 LED 灯会点亮， 这些数据将依照如下顺序被存储到设备的内存中。 （ 连续短按 “ ENTER ”按键可以发现有五组数据）1. 当前测量的硅片厚度值。 比如输入值为 065， 则他表示被测量的硅片厚度为 650μ m。2. 标准硅片的厚度。比如，如果您输入为 050，则表示厚度为 50*10=500 μ m。3. 第一片标准硅片电阻率。4. 第二片标准硅片电阻率。5. 第三片标准硅片电阻率。长按“ ENTER ”按键，绿色的 LED 灯会点亮，液晶显示器上会以十微米为单位显示测3 量硅片的厚度，并且显示器上第二位数字会闪烁，如图 2 图 2 按“ T/ → ”按键可以进行数字加减，图 3 图 3 在按下“ ENTER ”按键后，当前顺序的值会被存储到设备的内存中，而显示器的下一位数字会闪烁，如图 4 图 4 按“ ● ”按键，小数点会添加到当前所在整数位之后，如图 5 4 图 5 修改完当前测量的硅片厚度值的最后一位数字后按“ ENTER ”按键，光标会跳至标准硅片的厚度进行修改。 用同样的方法依次修改标准硅片的厚度、 第一块标准硅片的电阻率值、第二块标准硅片的电阻率值、第三块标准硅片的电阻率值。在结束了第三片标准硅片电阻率值最后一位数据的输入后， 系统会自动从厚度和标准硅片电阻率修订模式退出来，绿色 LED 灯会变暗。三 、 校准在开始进行测量前， 请使用三块标准硅片对设备进行校准。 确保设备里有标准样品数据（厚度和电阻率） ，这将用来进行校准。如果没有数据或者需要更改数据的话，请依照本说明的 二 、 修改及查看标准样品厚度值及电阻率值 修改这些数据。然后：1、 如果第五个红色按键上方的红色指示灯处于亮的状态，请按该按键，把该指示灯调灭2、长按第四个黄色按键，直到该按纽上方的黄色指示灯亮，进入校准状态，同时在主机的液晶显示器上会出现“ H1”字样。这意味着您必须使用所示的第一个标准样品进行校准，如图 6 所示。图 6 5 用左手拿着测试笔，并保持其竖直。将装有一号样片的盒子取过来并按下 “ START”按键。 此时会听到蜂鸣声， 将装有样片的盒子放置到测试笔顶部， 并保证带标志的方向向上且硅片向下，在样片和测试必顶部的表面之间没有缝隙。在听到双声蜂鸣后，将第一个样片取下，然后在液晶显示器上可以看到“ H2”字样。将第二个样片取过来， 按下“ START” 按键， 在蜂鸣声后按第一个样片的方式将第二个样片放置好，然后再双声蜂鸣厚将第二个样片取走，此时在液晶显示器上会出现“ H3 ”字样，将第三个标准样片重复上述过程。在进行完第三个标准样片校准后， 黄色指示灯会变暗， 并且设备会自动切换到测量模式下。检查校准结果校准结果的检查在测量模式下的精确测量模式下进行 （ “ MODE ” 上的红色指示灯不亮） 。测量所有的标准硅片电阻率。如果测量的值比标准片有超过 1%的浮动，请重新进行标准片校准。校准模式完成后， 可以开始测量。 测量模式有两种模式： 精确测量模式、 快速测量模式。快速模式测量结果没有精确模式精确。四 、 测量1、 硅片硅片的 的 测量注意注意： ： 在进行硅片电阻率测量之前在进行硅片电阻率测量之前， ， 需要向设备输入需要向设备输入当前测量的硅片 当前测量的硅片当前测量的硅片厚度值 厚度值厚度值。请参照 一 、 修改及查看标准样品厚度值及电阻率值 修改当前测量的硅片厚度值。按第二个蓝色按键， 把其上方的蓝色指示灯 点亮 。 按下 “ START ” 按键， 听到蜂鸣声后，将硅片放到测量笔表面，图 7 指示了正确的硅片位置。正确 正确 错误图 7 注意注意！ ！ 需要测量的硅片必须覆盖传感器区域 !在图 7 所示，传感器区域用虚线表示。在听到双声蜂鸣声后，将硅片取下来，并从液晶显示器上读取电阻率值。快速测量模式通常用来进行原料（碎料）的分类或者对样品进行电阻率评估。按下“ MODE ” 按键点亮红色指示灯可以开启快速测量模式。 硅片放在测量笔上后屏幕即显示该点电阻率值。2、 硅锭的测量硅锭的测量： ：注意注意： ： 在开始测量硅锭之前在开始测量硅锭之前， ， 请将内存中请将内存中被测样品 被测样品被测样品厚度值更改为 厚度值更改为 999!如何更改厚度值请参照 一 、 修改及查看标准样品厚度值及电阻率值 修改。按第二个蓝色按键，把其上方的蓝色指示灯 关掉 。6 按下“ START”按键，会听到蜂鸣声，将测试笔紧贴到硅锭表面。在听到双声蜂鸣声后从液晶显示器上读取电阻率值。如果要使用快速测量模式，则按下“ MODE ”按键点亮红色指示灯可以开启快速测量模式，将测量笔紧贴硅锭表面则屏幕显示该点电阻率值。图 8 指示了正确的测试笔测量标准样品的位置。正确 错误 错误图 8