【CITPV】量产型异质结产业化装备-PECVD&ampPVD

量产型异质结产业化装备2019Introduction of HJT production line北京捷造光电技术有限公司HJT-PECVD HJT-PVD 鲍刚2019.09 04 技术合作TECHNICAL COOPERATION03 HJT-250MW标准产线HJT-250MW STANDARD PRODUCTION LINE02 HJT-80MW中试验证线HJT-80MW PILOT LINE01 公司简介COMPANY PROFILE 目录CONTENT 章 COMPANY PROFILE第 1 公司简介 公司简介 北京捷造光电技术有限公司是由真空行业顶尖技术专家和优秀企业管理人共同组建，从事真空应用技术的开发与产业化推广，在PVD（磁控溅射、有机及金属共蒸发、离 子镀、RPD反应离子沉积等）、CVD（PECVD、LPCVD等）和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验，形成工艺研究设备、规模化产线设备系列化产品，广泛应用于光伏、半导体、显示、纳米科技、化工、制药等领域，并拥有GW级光伏电池产线核心技术和设备制造经验。 “ 致力于真空应用技术的高端装备研发和产业化推广。 ” 公 司 介 绍COMPANY PROFILE 产线设备 产 品 系 列PRODUCT异质结太阳能电池产线透明导电薄膜产线硅基薄膜电池产线 单体设备 标准部件全自动单室PECVD系统多工艺cluster-PECVD研发平台ALD设备RPD设备OLED蒸镀设备磁控溅射镀膜设备 旋转磁控溅射阴极高真空传输阀磁场扫描溅射阴极公司简介 2008年30MW非晶硅薄膜产线Ⅱ 2016年2013年 2018年 2019年2006年 国内首台自主研发RPD设备 全自动单室PECVD实验平台和250MW异质结标准产线国内首条5MW非晶 硅薄膜产线 国内首条微晶硅薄膜电池产线 异质结PECVD中试线荣获SNEC兆瓦级翡翠奖 大 事 记MEMORABILIA公司简介 章 HJT-80MW PILOT LINE第 2 HJT-80MW中试验证线 HJT-80MW中试验证线厂 内 调 试 客 户 现 场 JPE2000PRODUCT INTRODUCTION 载板规格8×8=64p HJT-80MW中试验证线 JSP4000PRODUCT INTRODUCTION 载板规格10×8=80p客 户 现 场 换 靶 材 电 池 转 换 效 率CELL CONVERSATION EFFICIENCY 11.19%21.99%22.17%22.51%22.75%22.97%23.10%23.47%23.70%23.72%0.00%5.00%10.00%15.00%20.00%25.00% 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10电池转换效率 经 过 十 次 工 艺 调 整 ， 截 止 至 2018.12， 电 池 转 换 效 率 已 达 23.72%。 设 备 交 付 后 一年 ， 目 前 已 经 达 到 24.41%。 HJT-80MW中试验证线 电 池 转 换 效 率CELL CONVERSATION EFFICIENCYHJT-80MW中试验证线 电 池 均 匀 性CELL UNIFORMITY基 准 Eff均 匀 性 ： 4.25% P面 I层 Eff均 匀 性 ： 0.88%基 准 工 艺 运 行 -电 池 均 匀 性 （ 大 载 板 ） HJT-80MW中试验证线 电 池 重 复 性CELL REPEATABILITY基 准 平 均 效 率 波 动 在23.41%± 0.1%， 设 备 稳定 性 较 好 。HJT-80MW中试验证线 章 HJT-250MW STANDARD PRODUCTION LINE第 3 HJT-250MW标准产线 HJT250MWPRODUCTION LINE APPLICATIONHJT250MW产 线 布 局 示 意 图2条 PECVD+1条PVD=250MW， 4条 产 线 含清 洗 和 丝 网 ， 合 计 1GW仅 需 20000㎡ HJT-250MW标准产线 ~40m ~40m JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONJPE3000产 线 核 心 特 征 JPE3000系列• 高 产 能 的 Inline线 列 PECVD系 统– 节 拍 处 理 100片 156标 准 电 池 片• 专 为 HJT异 质 结 工 艺 设 计 的 核 心 反 应 室 专 利 技 术– 具 有 隔 离 的 全 铝 热 壁 反 应 区 结 构 ， 可 以 保 证 的 非 晶 硅 工 艺 稳 定– 可 调 电 极 间 距 10-55mm和 快 速 匹 配 的 外 装 RF shower head– RPS清 洗– 可 靠 和 易 于 维 护 的 线 列 式 滚 轮 传 输 机 构• 模 块 化 设 计 ， 快 速 安 装 和 调 试– 可 适 应 不 同 结 构 工 厂 布 局 和 自 动 化 配 套• 结 构 便 于 维 护 和 检 查• 结 构 紧 凑 ， 包 含 自 动 化 、 控 制 、 在 线 监 控 和 电 池 载 板 操 作 HJT-250MW标准产线 JPE3000PRODUCT INTRODUCTION• 完 成 全 部 异 质 结 电 池 工 艺 两 面 非 晶 硅 薄 膜 快 速 稳 定沉 积• 高 质 量 的 非 晶 硅 薄 膜– 4个 独 立 的 PECVD模 块 处 理 双 面 异 质 结 工 艺– 两 套 载 板 循 环 系 统 ， 快 速 生 产 避 免 交 叉 污 染 – 恒 温 控 制 工 艺 环 境 ， 工 艺 重 复 稳 定– 每 个 PECVD模 块 具 有 独 立 特 气 控 制 系 统– 快 速 RF匹 配 技 术JPE3000产 线 核 心 特 征 JPE3000系列 HJT-250MW标准产线 外 置 传 动 装 置恒 温 上 电 极 JPE3000产 线 局 部 特 征高 效 RPS清 洗 效 果全 自 动 清 洗 后 无 污 染 ，清 洗 后 可 快 速 进 入 生 产工 艺 JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线 外 置 传 动 装 置RPS清 洗RF匹 配 器恒 温 上 电 极Showerhead组 件 模 块 配 电 箱水 冷 真 空 外 腔JPE3000产 线 工 艺 腔 室 JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线 组 号 Pressure(mbar) Distance(mm) SiH4(sccm) H2(sccm) Plset(w) RF电 源 匹 配时 间 (s)1 0.9 25 1200 0 1000 0.142 0.8 35 800 4000 400 0.123 1.2 35 0 4000 3000 0.184 1.2 35 0 4000 700 0.265 70 35 1200 0 400 0.246 70 25 1200 0 400 0.267 100 25 1200 0 400 0.268 80 25 1000 5000 400 0.109 80 35 1000 5000 400 0.1410 80 45 1000 5000 400 0.14 01.结 构 紧 凑• 主 机 包 含 自 动 化 系 统 占 地 仅 为 23x18m02.线 列 式 结 构 便 于 维 护• 易 于 维 护 、 检 查 ~18m ~23m JPE3000产 线 布 局 示 意 图 JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线 项 目 参 数规 格 125MW硅 片 尺 寸 156.75x156.75mm（ Ф 210mm）硅 片 装 载 数 量 100p（ 10x10）节 拍 时 间 120s产 能 3000片 /小 时PECVD反 应 模 块 4套 独 立 PECVD反 应 模 块沉 积 材 料 本 征 a-Si、 n型 a-Si、 p型 a-Siuptime 90% 清 洗 RPS系 统加 热 温 度 最 高 250℃ JPE3000产 线 主 要 参 数 JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线 JSP6000PRODUCT INTRODUCTION用 于 异 质 结 电 池 双 面 ITO溅 射 的 生 产 线 JSP6000• Inline Sputtering System• 配 备 大 功 率 长 寿 命 旋 转 阴 极• 正 反 面 在 线 溅 射 镀• 模 块 化 结 构 配 置 和 低 成 本 解 决 方 案• 经 量 产 验 证 的 ITO沉 积 技 术• 与 PECVD产 线 配 套 的 产 能 配 置 ， 产 能 6000wph， 双 面 沉 积 ITO各 100nmJSP6000产 线 核 心 特 征 HJT-250MW标准产线 JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONJSP6000产 线 局 部 特 征外 置 式 传 输安 全 可 靠 便 于 维真 空 室 内 无 复 杂 结 构 ， 可 靠 性 高维 护 周 期 长 磁 流 体 密 封 HJT-250MW标准产线 JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONJSP6000产 线 局 部 特 征旋 转 阴 极 更 换 方 式正 反 面 阴 极 均 采 用 向 上 吊 装吊 装 方 式 同 一 ， 阴 极 通 用 性 好 配 置 专 用 换 靶 工 具 HJT-250MW标准产线 JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONJSP6000产 线 旋 转 阴 极l 磁 流 体 真 空 旋 转 密 封 ， 长 寿 命 低 漏 率l 长 寿 命 的 陶 瓷 旋 转 水 密 封 装 置 ， 无 需 漏 水 维 护l 异 质 结 定 制 磁 场 设 计 ， 低 电 压 轰 击 小l 靶 材 利 用 率 大 于 75% l 完 善 的 传 感 器 和 控 制 系 统 HJT-250MW标准产线 ~37.5m ~7.5m JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONJSP6000产线布局示意图01.结 构 紧 凑• 主 机 占 地 仅 为 37.5x7.5m02.线 列 式 结 构 便 于 维 护 • 易 于 维 护 、 检 查 HJT-250MW标准产线 项 目 参 数产 能 6000片 /小 时uptime ＞ 90%节 拍 72sec阴 极 数 量 /面 5set x2ITO沉 积 厚 度 正 反 面 各 100nm膜 厚 均 匀 性 （ 片 内 、 片 间 、 载 板间 ） ± 4%方 阻 ＜ 50方 阻 均 匀 性 （ （ 片 内 、 片 间 、 载 板 间 ） ± 5温 度 控 制 均 匀 性 ± 10℃工 艺 气 体 Ar、 O2、 H2 项 目 参 数载 板 下 回 传 系 统 具 备载 板 材 质 钛 合 金硅 片 尺 寸 （ mm) 156.75× 156.75载 板 放 片 数 120p（ 12× 10）极 限 真 空 能 力 （ Pa） 2*10-4JSP6000产 线 主 要 参 数 JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线 章 TECHNICAL COOPERATION第 4 技术合作 研 发 设 备RD EQUIPMENT技术合作PECVD PVDRPD 除 了 异 质 结 电 池 产 线 研 发 、 制 造 外 ， 我 们 也 与 国 内 的 一 些 院 所（ 如 南 开 、 中 科 院 等 ） 深 度 合 作 ， 研 发 出 一 些 异 质 结 工 艺 的 标 准 实 验 设备 ， 从 技 术 前 沿 端 开 始 储 备 ， 更 利 于 产 线 设 备 的 优 化 升 级 。 联 系 方 式CONTACT INFORMATION鲍 刚13910004714baog@jiezaooe.com www.jiezaooe.com 技术合作