电池线测试题库-正式版V1
200~400℃ 50~300Pa 电池线测试题库题型: 填空题 100 道,判断题 50 道,问答题 30 道,案例分析 10 道一、填空题1、清洗制绒的目的是为了在硅片上获得表面绒面结构,这种结构对提高晶体硅对光的吸收率有着重要作用。2、对于单晶硅,采用碱溶液的各向异性腐蚀,其化学方程式为: 2KOH+Si+H 2O→ K2SiO3+2H2;3、多晶硅采用酸溶液的各向同异性腐蚀,其化学反应方程式: Si+4HNO 3→SiO2+4NO2+2H2O, SiO2+4HF→ SiF4+2H2O 和 SiF4+2HF→ H2[SiF 6]。4、扩散工艺是在硅片的一面通过扩散磷来形成 P-N 结, 采用 POCL3作为扩散源,提供磷原子。5、为了将扩散所得的硅片制成 P-N 结, 需把四周的 N 型层去掉。 背面的 N 型层可以用补偿法消除。 用丝网印刷铝浆, 然后烧结可以使 N 型层返回到 P 型层。6、去硅片周边用激光刻蚀的方法和等离子体刻蚀法,我车间采用激光刻蚀的方法去除周边。7、激光切割去周边时,必须把激光束照在背电极上,必须控制好激光的强度和运行速度,才能做到对电池片的 P-N 结无影响。8、 PECVD 技术原理是利用低温等离子体作能量源, 样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。9、 PECVD 方法区别于其它 CVD 方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,他们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。10、 由于在氨气圧条件下, 提高了活性基团的扩散能力, 从而提高薄膜的生长速度一般可达 30~300nm/min 以上。11、 PECVD 该设备成膜种类为氮化硅,这种 PECVD 成膜均匀性好、稳定性高。12、写出 PECVD 设备中主要的化学反应方程式:3SiN4+4NH 3 Si3N4+12H2 13、进入车间须穿戴好洁净服、帽子,戴好口罩、手套,头发长的要将其放入帽子或衣服中。14、丝网印刷的工艺流程:制减反射膜→印刷正电极→低温烘干→印刷背电极→低温烘干→印刷背电场→高温烧结15、正电极印刷时,应经常性的用无尘布轻擦网板底部,避免栅线过粗。16、 电极的质量与链式烧结炉中的温度分布、 传送硅片的网带的前进速度、 硅片的清洁度、烧结炉的清洁度等因素有着重要关系。17、方块电阻( Sheet Resistance)可以理解为在硅片上正方形薄膜两端之间的电阻。测量方块电阻时,相同厚度等距离的两点间会得到相同的电阻。18、丝网印刷线从前到后依次印刷正银、背银铝和背铝, Rs 越小、 Rsh 越大,电池片效率越高。19、 对于快速烧结炉, 冷却水进水口温度 18~ 25℃, 冷却水压力为 6~ 8bar, CDA压力为 4~ 8bar,温度上限为 zone1~ 4 650℃, zone5~ 6 1000℃。20、异丙醇( IPA)在制绒中的作用,一是能够减缓反应速度,二是能够赶走硅片表面残留的气泡使得硅片表面腐蚀的均匀。21、在太阳能行业的扩散工艺中,主要原料气体包括 POCL3、 O2和 N2。22、烧结的目的:干燥硅片上的浆料,燃尽浆料的有机组分,使浆料和硅片形成良好的欧姆接触。23、少子是在半导体中不起支配作用的移动电荷,在 P 型中是电子,在 N 型中是空穴。24、少子寿命是少数载流子受激发从产生到复合的时间,单位为微秒。25、光伏技术是将太阳能转化为电能的太阳能电池系统。26、 由半导体材料组成的光伏单元吸收阳光后将电子从原子中释放出来。 电子在半导体材料中移动产生了电流。27、将最大输出功率 Pm 与 Uoc和 Isc的乘积之比定义为填充因子 FF。 FF 越大则输出功率越高。28、 太阳能电池的转化效率定义为太阳能电池的最大输出功率与照射到太阳能电池的总辐射能之比。29、 去磷硅玻璃是用化学方法除去扩散层的 SiO2, SiO2 与 HF 反应生成具有挥发性的 SiF4,从而使 Si 表面的磷硅玻璃去除掉。30、 高温快速烧结炉采用网带传送工作, 红外加热升温快、 热透性好, 热场均匀,集低温烘干和高温烧结于一体。31、多晶硅晶体与单晶硅显著地不同点是多晶硅的导电性远不如单晶硅。32、氮化硅的物理性质和化学性质:结构致密,硬度大;能抵御碱金属离子的侵蚀;介电强度高;耐湿性好;耐一般的酸碱,除 HF 和热 H3PO4.33、选择性发射极结构有两个特征: 1)在电极栅线下及其附近形成高掺杂深扩散区; 2)在其他区域 (活性区 )形成低掺杂浅扩散区,这样便获得了一个横向高低结。34、 三氯氧磷极易水解, 在潮湿的空气中, 因水解产生酸雾, 水解产生的 HCl 熔于源中会使源变成淡黄色,必须换源。35、扩散系统不干燥时, POCl3+2H2O→ HPO3+HCl, HPO3 是一种白色粘滞性液体,对硅片有腐蚀作用,并使石英舟粘在管道上不易拉出。36、丝网印刷由五大要素构成,即丝网、刮刀、浆料、工作台以及基片。37、氢氟酸是无色透明的液体,具有较弱的酸性、易挥发性和很强的腐蚀性。38、 氢氟酸有一个很重要的特性是它能够溶解二氧化硅, 因此不能装在玻璃瓶中。39、在配制氢氟酸溶液时,要穿好防护服,戴好防护手套和防毒面具。40、当硅片从氢氟酸中提起时,观察其表面是否脱水,如果脱水,则表明磷硅玻璃已去除干净;如果表面还沾有水珠,则表明磷硅玻璃未被去除干净。41、 POCl3 液态源扩散方法具有生产效率较高,得到 PN 结均匀、平整和扩散层表面良好等优点,这对于制作具有大面积结的太阳电池是非常重要的。42、 在太阳电池扩散工艺中, 扩散层方块电阻是反映扩散层质量是否符合设计要求的重要工艺指标之一。43、目前生产中,测量扩散层薄层电阻广泛采用四探针法。44、三氯氧磷源瓶更换的标准操作过程:依次关闭进气阀门、出气阀门,拔出连接管道,更换源瓶,连接管道,打开出气阀门、进气阀门。45、常用杂质 (硼 ,磷 ,砷等 )在氧化层中的扩散系数远小于在硅中的扩散系数,因此氧化层具有阻挡杂质向半导体中扩散的能力。46、 正面电极的形成和厚度, 总是两方面的因素平衡的结果: 一方面要有高的透过率;另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻。47、清洗制绒的冷却装置中冷却水进出压力差≥ 3bar。48、 太阳能级多晶硅的纯度要求远不及电子级多晶硅, 一般认为 5~6 个 9 就可以满足要求。49、 TTV——总厚度偏差, Warp——翘曲度, BOW——弯曲度, TIR——平整度50、填充因子 FF 取决于入射光强、材料禁带宽度、串联电阻和并联电阻等。51、硅片经过去磷硅玻璃后,颜色由棕色变为灰色。52、在 PSG中, HF 的原始浓度为 49%,清洗需要的浓度一般为 5%。53、硅片在线测量的主要参数有硅片表面不平整度、厚度、电阻率和 TTV 。54、在太阳电池中,其能量的损失有两种:光学损失和电学损失。55、 在去 PSG的正常运行时, CDA 的工作压力位 6bar, 纯水的工作压力位 3bar,氮气的工作压力为 1bar。56、光学性质的损失中,硅表面的反射损失最多。57、同样尺寸的基片,绒面电池的 P-N 结面积较大,可以提高短路电流,转化效率也有相应的提高。58、 扩散是一种由微粒的热运动所引起的物质输运过程, 可以由一种或多种物质在气、液或固体的同一相内或不同相间进行。59、扩散的驱动力实质是化学势梯度。60、磷扩散的扩散机制是空位机制。61、扩散制结过程中在硅片表面形成一层含有磷元素的 SiO2,称之为磷硅玻璃。62、必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀,以去除电池边缘的 P-N 结。63、烧结炉分为烘干、预烧结、烧结、降温冷却四个阶段。64、在电池片生产过程中,还需要供电、动力、给水、排水、暖通、真空、特气等外围设施。65、 当石墨舟运行到一定的次数后, 表面沉积了很厚的氮化硅, 影响舟壁与硅片的接触,从而影响镀膜的质量,因此要进行石墨舟的清洗。66、除了 Si 和 N, PECVD 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,其氢原子可以起到钝化作用,复合硅片体内的缺陷。67、扩散温度和扩散时间对扩散结深影响较大。68、当扩散炉的温度升高时,其方块电阻将会降低;相反,温度降低时,其方块电阻将会升高。69、初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产时,需使石英管在 810℃通源饱和1 小时以上。70、 磷有极毒, 换源时应在通风系统好的条件下进行, 且不要在尚未倒掉旧源时就用水冲,这样易引起源瓶炸裂。71、在烧结核心区的加热灯管采用进口红外短波辐射加热管。72、对于烧结炉,要定期对传动部分进行维护,各轴承应及时加入润滑油,调整网带。73、 PECVD 的维护及保养:保持真空度、保护气路、保护罗茨泵机、定期进行酸洗等。74、丝网印刷是生产太阳能电池的重要工序,其印刷质量(厚度,宽度,膜厚一致性)影响电池片的技术指标。75、在电池片的正极用银浆料印刷两条或三条电极导线(宽约 3~ 4mm)作为电池片的电极。76、丝网印刷的刮板条的硬度越低,印刷图形的厚度越大,刮刀材料必须耐磨,刃口有很好的直线性, 保持与丝网的全接触; 刮刀一般选用菱形刮刀, 它具有 4 个刃口,可逐个使用,利用率高。77、刮刀角度的设定与浆料有关;浆料黏度值越高,流动性越差,需要刮刀对浆料的向下的压力越大,刮刀角度小;刮刀角度调节范围为 45°~ 75°。78、 常用的丝网材料有不锈钢和尼龙 2 种, 在太阳能电池片的印刷中采用不锈钢丝网。79、浆料是由功能组份、粘结组份和有机载体组成的一种流体,80、 背面场经烧结后形成的铝硅合金, 铝在硅中是作为 P 型掺杂, 它可以减少金属与硅交接处的少子复合, 从而提高开路电压和短路电流, 改善对红外线的响应。81、常用的含量单位: ppm=10-6 ppb=10 -9 ppt=10 -1282、强酸主要包括高锰酸、盐酸、硫酸、硝酸、高氯酸、硒酸、氢溴酸、氢碘酸、氯酸。83、 强酸都有强烈的刺激和腐蚀作用。 在未佩戴防护用品的情况下, 长期接触会引起酸中毒。84、 操作酸时要戴防护手套, 如酸为强腐蚀性且易挥发, 需戴化学安全防护眼镜,如酸液有毒,应戴防毒口罩。85、如果酸液滴在皮肤上,需立即用大量水冲洗,并用 5%的碳酸氢钠冲洗,严重时需要就医。86、如果滴在皮肤上的酸是氢氟酸,必须立即冲洗干净,并立即用六氟灵解毒,立即就医。87、酸液滴在皮肤上时,绝对不能用碱去中和,避免放热烧伤。88、在未佩戴防护用品操作碱溶液的情况下,长期接触会引起碱腐蚀和中毒。89、盛放碱的试剂瓶绝对不能用玻璃塞,否则会打不开。90、 如果酸液滴在眼睛里, 必须立即提起眼睑, 用大量水冲洗, 并不时转动眼球,就医。91、盐酸灭火方法:用碱性物质如碳酸氢钠、碳酸钠、消石灰等中和。也可用大量水扑救 。92、有机溶剂的防护:生产和使用有机溶剂时,要加强密闭和通风,减少有机溶剂的逸散和蒸发。93、氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,为澄清无色至淡黄色发烟液体,极易挥发,有刺激性气味,相对密度 1.15 ~ 1.18 。沸点 112.2 ℃ ( 按重量百分比计为38.2%),是弱酸。94、氢氧化钾是强碱,具有强吸水性,溶于水时放出大量的热。具有强腐蚀性。腐蚀皮肤、衣服、玻璃陶瓷,其性质与烧碱相似。95、硝酸是强氧化剂,有强腐蚀性,在生产,使用和运输中要注意安全。96、 盐酸是一种强酸, 浓盐酸具有极强的挥发性, 因此盛有浓盐酸的容器打开后能在上方看见酸雾。97、 IPA 无色透明液体, 能与水、 醇、 醚相混溶, 有似乙醇和丙酮混合物的气味。98、氨气爆炸上限( V/V) 16%—— 25%,易燃气体,相对比重(空气 =1) 0.5970 。99、硅烷爆炸上限( V/V) 1%—— 96%,相对比重(空气 =1) 1.109 。100、 《中华人民共和国安全生产法》指出:安全生产管理,坚持预防为主、综合治理的方针。二、判断题1、太阳能是一种清洁的不可再生能源。 (×)2、扩散过程中, 硅片周边表面形成扩散层不会对电池片造成任何影响。 (×)3、刻蚀是采用物理或化学的方法无选择性的从半导体材料表面去除不需要材料的过程。 (×)4、丝网印刷中是用银铝浆料印刷背电场。 (×)5、在经过多晶制绒后,就决定了硅片的正反面。 (√)6、在寒冷的天气下,电池片的转化效率会受到一定影响。 (×)7、每次更换网版、 网版的位置、 印刷压力以及刮板平行度要重新调整。 (√)8、印刷放片于平台时, 尽量一次放置到位, 不要将硅片在平台上摩擦。 (√)9、一旦正电极有漏印现象发生,应立即停止印刷,并查找原因(浆料太少、网孔堵塞) 。 (√)10、正电极主栅线可以与背电极方向不一致。 (×)11、测量 PECVD 镀的膜厚用的四探针,测量方块电阻用的是椭偏仪。 (×)12、影响扩散方块电阻的因素有温度、时间和流量。 (√)13、丝网印刷是把带有图像或图案的模版被附着在丝网上进行印刷的。 (√)14、目数的定义:单位面积(英寸或 cm)上丝网孔的数量。 (√)15、制造一个 PN 结是把两块不同类型( P 型和 N 型)的半导体接触在一起就能形成的。 (×)16、 N 型区域磷浓度和扩散结深共同决定着方块电阻的大小。 (√)17、磷扩散过程中只需要少量的氧气。 (×)18、 POCl3 不容易发生水解,但 POCl3极易挥发。 (×)19、方块电阻是标志进入半导体中的杂质总量的一个重要参数。 (√)20、 在减少光损失方面, 电池的织构化技术和减反射技术起着重要作用。 (√)21、电池片正面的梳子状电极结构中,一般有 2 条或 3 条主电极粗线。 (√)22、扩散工艺中,不做背靠背,采用单片扩散也是可以的。 (√)23、太阳能级多晶硅的纯度要求远不及电子级多晶硅,一般认为 5~6 个 9 就可以满足要求。 (√)24、少数载流子寿命直接影响到电池的转化效率。 (√)25、由太阳光吸收面产生的光生载流子不能完全转变为电能,这是因为在硅材料的体内和表面存在很多晶体缺陷和杂质原子。 (√)26、氧原子存在于硅中,完全是有害的。 (×)27、在去磷硅玻璃的过程中,用的是 HNO3 来清洗硅片。 (×)28、在去 PSG过程中, MF 表示中等浓度氢氟酸的意思。 (×)29、栅线负责把电池体内的光生电流引到电池外部。 (√)30、 电阻率表示对电流的阻碍能力, 电阻率越低的材料有越好的导电性。 (√)31、在硅片检测设备操作中,至少每天要将机器初始归为一次。 (√)32、在硅片检测设备中,只要关掉电脑就可以马上关掉电源。 (×)33、在硅片检测设备中,在紧急情况结束后,即将启动设备时,一定要将机器初始归位。 (√)34、硅片检测的原因:硅片质量的好坏直接决定了电池片的转化效率。 (√)35、异丙醇的爆炸极限很高,所以不容易发生着火事故。 (×)36、在往设备中装 Carrier 时,是没有方向性的。 (×)37、 P-N 结两边掺杂度越大,开路电压也越大。 (√)38、在设备的槽中没有水时,泵仍可以正常工作。 (×)39、 PWW-C 表示高浓度 HF 废液排出管道, PWW-D 表示低浓度 HF 废液排出管道。 (√)40、在去 PSG中是通过 PLC 实现生产过程自动化的。 (√)41、燃烧三要素包括 1 可燃物; 2 助燃物(通常为氧气) ; 3 达到可燃物着火点的温度。 (√)42、灭火就是破坏燃烧条件使燃烧反应终止的过程。 (√)43、 燃烧基本原理归纳为以下四个方面: 冷却、 窒息、 隔离和化学抑制。 (√)44、我国消防工作的方针是:预防为主 ,防消结合。 (√)45、灭火器是扑救初起火灾的重要消防器材。 (√)46、 危险化学品, 包括爆炸品、 压缩气体和液化气体、 易燃液体、 易燃固体、自燃物品和遇湿易燃物品、 氧化剂和有机过氧化物、 有毒品和腐蚀品等。(√)47、氢氟酸不燃,具强腐蚀性、强刺激性,可致人体灼伤。 (√)48、氢氧化钾灭火方法:用水、砂土扑救,但须防止物品遇水产生飞溅,造成灼伤。 (√)49、 IPA 易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物,遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触猛烈反应。 (√)50、 IPA 爆炸极限 %( V/V )为 2.0%—— 12.7%。 (√)三、问答题1 请简要写出我车间的生产工艺流程。答:硅片检测(检测来料的质量)→单 /多晶清洗制绒→氧化炉(镀氧化膜)→激光刻槽(刻出栅线的形状)→ LDE(刻槽后的清洗)→扩散炉→去磷硅玻璃→ PECVD→丝网印刷→快速烧结→激光刻蚀→检测分类2、为什么要进行激光刻蚀,利用激光去除硅片的周边?答: 由于在扩散过程中,即使采用背靠背扩散,硅片的所有表面(包括边缘)都将不可避免地扩散上磷。 PN 结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到 PN 结的背面,而造成短路。此短路通道等效于降低并联电阻。3、采用什么方法可以增加电池片对太阳光的吸收?分别体现在哪些工艺段?答: 1)降低表面反射。——清洗制绒2)改变光在电池体内的路径。——制减反射膜3)采用背面反射。——印刷铝背场4、 PECVD 的具体含义是什么? PECVD 设备的优点在哪里?答:等离子体增强化学气相沉积。优势: 放电能力强; 真空度高; 成膜温度低; 生产能力强; 沉积速度快;设备密封性好5、 磷扩散的目的是什么?如采用 POCL3 液态源扩散法, 其中用到了 POCL3、O2、 N2,这些扩散源分别起到什么作用,并写出化学反应方程式。答: 1)为了使硅片形成 P-N 结2)各扩散源的作用: POCl3 为扩散源提供磷原子、 O2为工作气体参与化学反应、 N2 用于携带扩散源 POCl3 3)反应过程4 POCl3+3O2(过量)→ 2P2O5+6Cl2硅片表面沉积磷硅玻璃 P2O5, Si 代替 P 2P2O5+5Si → 5SiO2+4P 随后 P 扩散进入硅中,同时氯气被排出6、烧结后的质量要求有哪些?答: 1)烧结后的氮化硅表面颜色应该均匀,无明显的色差 . 2)电极无断线3)背场无铝珠3)电池最大弯曲度不超过 1mm 7、刻蚀后发现硅片表面较暗,说明刻蚀过度,原因有哪些?答: 1)刻蚀温度过高 ; 2)刻蚀速度过慢; 3) HF 浓度较大。8、对于光伏行业的发展前景,你有何看法?请写出个人的观点及对个人今后的工作有何打算。9、异丙醇( IPA)在制绒过程中起得作用是什么?答: 1)能够减缓反应速度。2)能够赶走硅片表面残留的气泡使得硅片表面腐蚀的更均匀。10、简述多晶制绒。答:多晶制绒是酸混合液对多晶硅片进行的清洗制绒过程,其主要是去除硅片表面的刻蚀损伤层以及在硅片表面形成绒面结构,以增加硅片对太阳光的吸收,减少反射效率。其主要步骤为 1、 HF+HNO3 刻蚀, 2、去离子水喷淋清洗 3、 KOH 喷淋清洗 4、去离子水二次喷淋清洗 5、HF+HCl 清洗 6、去离子水三次喷淋清洗 7、干燥硅片。11、简述单晶制绒。答:单晶制绒是碱液对单晶硅片进行的清洗制绒过程,其主要是去除硅片表面的刻蚀损伤层以及在硅片表面形成倒金字塔的绒面结构,以增加硅片对太阳光的吸收,减少反射效率。其主要步骤为 1、 KOH+IPA 刻蚀, 2、去离子水清洗 3、 HF+HCl 清洗 4、去离子水清洗 5、热水及热气干燥硅片。12、简述单、多晶制绒中所需外围供应。答:单晶制绒的外围供应包括: 380V 电源、去离子水、压缩空气、氮气、IPA、 KOH、 HF、 HCl。多晶制绒的外围供应包括: 380V 电源、去离子水、工艺冷却水、自来水、乙二醇、 HF、 HNO3、 HCl 、 KOH。13、简述扩散制结。答:扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把 P 型硅片放在管式扩散炉的石英容器内, 在 850---900 摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子。经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了 N 型半导体和 P 型半导体的交界面,就是 PN结。反应过程:4 POCl3+3O2(过量)→ 2P2O5+6Cl2硅片表面沉积磷硅玻璃 P2O5, Si 代替 P 2P2O5+5Si → 5SiO2+4P 随后 P 扩散进入硅中,同时氯气被排出。14、简述去 PSG。答:去 PSG全称是去磷硅玻璃。由于在氧化和扩散工艺中,会在硅片的表面形成了含有磷的二氧化硅,为了不影响硅片的吸光率,必须将它出去,所以利用 HF 将其除去。经过扩散工艺后,硅片是棕色,经过去PSG 后,硅片变为灰色。15、简述 PECVD。答:全称是等离子体增强化学气相沉积法,目的是在硅片表面镀一层致密的氮化硅薄膜,以减少入射光的反射。镀膜后,硅片的光照面显示为蓝色。16、简述丝网印刷。答:丝网印刷由五大要素组成,即丝网、刮刀、浆料、工作台以及基片。工作时,他们由上而下的顺序是刮刀、浆料、丝网、基片和工作台。其原理是 : 利用丝网图形部分网孔透浆料,非图文部分网孔不透浆料进行印刷正面银电极、背面铝电极和铝背场。17、简述快速烧结。答 -快速烧结是丝网印刷后续处理工艺,作用是将经过银浆、铝浆及银铝浆印刷过的硅片,通过烘干有机溶剂完全挥发,脱层收缩成为固状物紧密粘附在硅片上,可视为金属电极材料层和硅片接触在一起。 ,形成良好的欧姆接触。18、什么是 LDE。答: LDE 的英文全称为 Laser Damage etch(去除激光刻蚀损伤) 。为制作选择性发射极的一个工艺环节。 LDE 的作用:硅片经过激光刻蚀后,去除硅片表面的刻蚀损伤及遗留的硅粉,19、遇上严重火灾怎么办?答: 1)保持镇静。2)呼唤附近的同事援助。3)报警;通知消防中心 119,报警时要讲清详细地址、起火部位、着火物质、 火势大小、 报警人姓名及电话号码, 并派人到路口迎候消防车。4) 关闭火场附近的电器总闸。5) 正确使用灭火器灭火。6) 要指示出方向, 迅速组织人员疏散和自己逃生, 千万不可乘坐电梯。20、简述单晶制绒与多晶制绒的区别。答:区别主要有两个 1、由于单晶是各向异性,多晶各向同性,它们不同的结构导致我们需要采用不同的刻蚀液分别对它们进行清洗刻蚀:单晶制绒采用 KOH+IPA ,多晶制绒采用 HF+HNO3; 2、 单晶和多晶获得的绒面结构不同:单晶绒面结构为倒金字塔;多晶制绒后绒面是由米粒状组成的结构。21、简述硅片正面镀银的原因。答:银材质导电性好,电导率高,印刷正面银电极作用通过栅线和银电极收集内建电场中电子,降低电池片接触电阻,形成电池片负极。22、简述硅片背面银铝的原因。答:背面银铝电极电导率高,印刷背铝栅线作用是收集电池线背面带正电空穴,形成电池片正极。23、请写出电池线所有设备的名称。答:检测质量检测、多晶制绒、单晶制绒、氧化炉、激光刻槽、 LDE 、扩散炉、去磷硅玻璃、 PECVD、丝网印刷、石墨舟清洗机、通风柜、离线检测 (四探针、 载流子寿命测试仪、 椭偏仪、 显微镜和立体显微镜) 。24、请写出电池线所用到的各种化学品。200~400℃ 50~300Pa 答:盐酸、硝酸、氢氟酸、氢氧化钾、异丙醇、乙二醇、三氯氧磷、氧气、氮气、硅烷、氨气和 DCE 等。25、请写出单晶制绒过程中的化学方程式。答: Si+2H2O+2OHˉ→ [SiO 2(OH)2] 2ˉ +2H226、请写出多晶制绒过程中的化学方程式。答: Si+4HNO3→ SiO2+4NO2↑ +2H2O SiO2+4HF→ SiF4+2H2O SiF 4+2HF→ H2[SiF 6]27、请写出 PECVD 中发生的化学方程式。答: 3SiN4+4NH3 Si3N4+12H2 28、请写出你所熟悉的各种安全用具。答:一次性橡胶手套、防割耐高温手套、防酸碱手套、防酸碱鞋、硅胶全面罩、气体过滤器、 Chemmax 防护服、防护眼镜、防化围裙、防毒半面罩、喷淋器、急救箱等。29、请写出更换 POCL3 的操作要点和注意事项。答:源瓶更换的标准操作过程依次关闭进气阀门、出气阀门,拔出连接管道,更换源瓶,连接管道,打开出气阀门、进气阀门。30、请写出单、多晶制绒添加的化学品名称。答:单晶制绒的化学品包括: IPA、 KOH 、 HF、 HCl。多晶制绒的化学品包括:乙二醇、 HF、 HNO 3、 HCl 、 KOH 。四、案例分析1、在丝网印刷过程中,在印刷背电极的时候,背电极的印刷图案有两种,请比较这两种背电极优缺点。图 1:图 2:答:图一、缺点:焊条为长条状,浪费了 Ag/Al 浆优点:一旦出现碎片后,可以顺利的划成碎片图二、优点:可以大大节省 Ag/Al 浆,降低成本缺点:一旦出现碎片后,断成小片,利用率大大降低2、使用三氯氧磷时,需先开启进气阀门,泄压后再开启出气阀门。这句话是否正确,如果有错误,请给出正解。答:错。由于三氯氧磷自身存在一定的蒸气压, 如直接开启进气阀门, 三氯氧磷会顺着拧松的部位溢出, 因此操作人员必须注意的是, 一定要先开启出气阀门泄压后再开启进气阀门。3、处理三氯氧磷泄漏的方法:三氯氧磷泄漏时,需要先用湿布擦拭残液,然后用清水冲洗现场。请找出这句话的错误之处,并给出正解。答:三氯氧磷遇水会发生反应,因此,当三氯氧磷泄漏时,需用干燥棉布擦干残液后再用清水清理设备,防止设备受到腐蚀。4、 在室外将泄漏后的三氯氧磷进行废弃处理时, 操作人员将干燥沙土挖好坑,在下风处缓慢将三氯氧磷倾倒至砂土坑内,然后用沙土盖好,使用自来水缓慢冲淋至无异味即可。请找出这句话的错误之处,并给出正解。答: 操作人员需在上风口进行操作,湿的沙土晾干后可继续使用。5、 操作过程中源瓶一旦破裂, 三氯氧磷泄漏出来, 操作人员应该立即处理现场。请找出这句话的错误之处,并给出正解。答: 操作过程中源瓶一旦破裂, 三氯氧磷泄漏出来, 操作人员应该迅速撤离,加强泄漏区域通风。 处理人员需配备空气呼吸器, 拿出干燥棉布吸收三氯氧磷, 擦干残液, 然后将吸收了三氯氧磷的棉布和源瓶碎片放入袋中, 用橡皮筋将袋口扎好,移出室外。6、如果发现放置酸的 Tank 至酸槽的管路漏液,该如何处理?答: 1、 首先立即将设备停止运行, 之后戴好防酸手套及面具, 确认漏液位置。2、 将漏液管路相连的 Tank 及槽体内酸液排尽。 3、用去离子水将 Tank 和槽体清洗两遍。 4、用洁净纸擦去确认管路内所有液体排尽后,检查漏液的真正原因并解决。 如果为管路连接处较松, 拧紧即可。 如果为管破裂泄露,应立即更换。 5、在解决泄露问题后,先通入去离子水,查看确认不再漏液。 6、最后将泄露的液体用洁净纸擦去并清洗干净。 7、将 Tank 及槽体内通入酸液再次确认无漏液后方可开机运行。7、 1982 年 1 月 19 日 12 时 40 分,浙江省某化肥厂冷冻岗位,因女工玩耍踩断氨管致 3 人氨中毒死亡。1 月 19 日 12 时,该厂临时停车期间,合成车间 4 名女工在清扫完卫生后到冷冻岗位室外晒太阳时, 其中 1 名分析工双脚踩氨油分离器进液管上上下跳动玩耍, 不慎将进液阀门连接管丝扣踩断, 致使大量氨从断管处外泄, 4 人中除 1 人逃离外, 其余 3 人均中毒昏倒, 经抢救无效而死亡。答: 1)事故原因分析1.管接头选材不符合设计要求,以铸铁件代替钢件。2.原设计该管道离地 1. 9 米,因分离效果不好,经两次修改后,该管距地260 毫米, 使用砖块作支撑。 1981 年 12 月 26 日在拆除液氨贮槽危棚时,有人将砖头撤去,致使该管悬空。3.踩断管线的女分析工违反有关规定,在工作时间内踩在生产管道上跳着玩。4.因当时更换合成大槽,冷冻系统存氨备开车用,冷冻系统的 4 个阀门 ( 平衡阀、冷却排管进出口阀、液氨贮槽进口阀 ) 全部呈开启状态,致在氨油分离器平衡管根部断裂后,大量液氨从氨油分离器、液氨贮槽和冷却排管内排出,而扩大了事故。5.有关人员违反国务院颁发的有关规定,将位于冷冻岗位室外西侧的安全通道堆放大量电气杂物, 把通道堵死, 致使 2 名分析工受阻而中毒死亡。2)防止同类事故的措施:1 .对氨系统进行全面检查,更换材质不符合要求的管阀件。2 .对各种管道支架进行检查,没有的均补装铁件或水泥件支架。3 .疏通厂内应设有安全通道。4 .停车检修期间对贮存有毒、易燃、易爆介质的容器场所周围设置防护拦,并悬挂醒目的安全标志。8、 2000 年夏,安徽省某铁路货运场, 3 名装卸工卸危险化学品硫酸。按正常程序,他们先将槽车的上出料管与输送管法兰连接好,对槽内加压。当压力达到要求后硫酸仍没流出,随后采取放气减压打开槽口大盖,进行检查,发现槽内出料管堵塞。于是 3 人将法兰拆开,用钢管插入出料管进行疏通。当出料管被捣通时管内喷出白色泡沫状液体,高达 3 米多,溅到站在槽上的 3 人身上和面部。由于 3 人均没戴防护面罩,当时 3 人眼前一片漆黑,眼睛疼痛难忍,经用水清洗后送往医院,检查为碱伤害。经半年多的治疗, 3 人视力均低于 0. 2 不等,且泪腺受损。答:事故原因分析经调查了解, 该硫酸槽之前用于盛装液碱, 此次装硫酸前经过清洗。 分析认为, 该槽上出料管没有清洗到位, 附着干枯的液碱堵塞在出料管下部, 当被疏通后由于硫酸压力作用,使碱、反应盐水、酸等先后喷出。此事故一方面原因是槽车清洗不到位, 另一方面原因是卸酸工未按规定穿戴防护面罩。遇此险情,得不到防护。事故处理及防范事故发生后,货场组织有关部门进行了调查、分析,落实伤员的治疗,分清了责任,并对员工进行教育,开展安全宣传活动。9、氯丁污水处理装置于 1989 年设计, 1991 年兴建, 1995 年基本建成, 1996 年9 月开始化工试车,处理氯丁污水。它是氯丁新线工程的配套子项,共有 A、B两个调节池及沉淀隔油池。5 月 4 日上午 11 时 30 分,总厂工程公司 3 名维修人员,在调节池污水进口槽上方配管处动火,造成进口槽起火,厂消防队紧急出动,污水车间等部门的人员也参与灭火。 11 时 42 分,调节池 A 发生爆炸,混凝土顶盖被炸翻,致使在调节池 A、 B 盖上灭火的 12 名工当场身亡,其中消防队员 7 人、污水车间 2 人、防腐公司 1 人、机动处 1 人、工程公司 1 人,另有 6 人受轻伤。与此同时,氯丁新线装置紧急停车,火焰于 12 时许被扑灭。答: 1) 事故原因分析、氯丁污水中含有大量的有机可燃物:乙炔、 MVA(乙烯基乙炔) 、碳氢相、乙醛、氯丁、二氯丁、凝胶等, MVA沸点 5.5 ℃,乙醛沸点 20.5 ℃,氯丁二烯沸点 59.5 ℃。碳氢相是混合物,常温下易挥发。帮在污水流槽中,轻组分大量挥发, 易达到可燃范围。 它们的爆炸下限为: MVA 1.7%, 氯丁二烯 1.2%,乙炔 2.3%。因此,其相应界区严禁动火。⑴ 违章动火是起火的直接原因⑵ 调节池 A 爆炸是造成伤亡的根源⑶ 无应急预案,救火人员站位不当是造成特大伤亡的重要原因。2)防范措施1) 牢记“ 5.4 ”特大事故日,加强“安全为了生产、生产必须安全”的思想教育, 落实各级人员的安全责任制, 层层建立安全网, 使每个职工懂得“自己生命掌握在自己手中”,注意保护自己,也注意保护他人。2)特别对青年工人,组织安全、公安、劳资、生产、设备、技术、工会等部门查岗、查“三纪”,特别对零点班,对违纪者当重惩不贷。3) 查隐患,查死角,开展全厂安全大检查和整改落实。立即组织专门队伍,对全厂各个角落进行地毯式检查, 对检查出的隐患和问题限期整改, 即使资金再困难也要落实。10 、北京东方化工厂“ 6.27 ”特大事故1997 年 6 月 27 日, 位于北京市通县的北京东方化工厂发生特大事故。22:05 左右,卸车人员闻到泄露气体异味; 21:10 左右,一台可燃气体检测仪报警; 21:15 左右,一名操作工和一名调度员到现场查漏; 21:26 ,泄露的油漆与空气形成爆炸气体遇明火发生空间爆炸,几乎所有的地沟井盖炸翻,灌区油品和可燃气体的泄露部位多处着火,并造成破坏。答:分析: 1 、阀门操作失误。2 、围堤的排雨水挡门,未及时处于关闭状态,使危险源迅速扩散。3 、现场设置的 52 台可燃气体检测报警仪,仅有一台发出声光报警信号。4 、事故勘察时,门卫室里 4 发现有若干烟蒂。