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09-PECVD法制备石墨烯纳米片及其在太阳能电池中应用-程其进
2019-08-19
XIAMEN UNIVERSITY PECVD 法 制备石墨 烯纳米片及其在太 阳能电池中应用 PECVD produced graphene nanoflakes and relevant application in solar cells Guanhua lin(林冠华), Yazhou Qu, Bin Guo, and Qijin Cheng 程其进) College of E
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王保平
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pecvd原理基础
2019-08-19
PECVD原理基础 摘抄整理 工艺部 李文 2011-3 真空真空真空真空 定义定义定义定义 泛指低于一个大气压的气体状态。与普通大气状态相比,分子密度较为稀薄,从而气体分子 与气体分子,气体分子与器壁之间碰撞几率要低些。 单位单位单位单位 Pa Bar mbar Torr Pa 1 10-5 10-2 7.5*10-3 Bar 105 1 103 7.5*102 mbar 102 10-3
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王保平
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页数: 17
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PECVD工艺文件
2019-08-19
拟制 审核 批准 日期 部门单位东磁太阳能 第 1 页 共 8 页 版本A1.1 编号Q/DM18 技 8.01-2010 PECVD 工艺文件 1. 原理 4.1 PECVD 技术原理 PECVD 等离子体增强化学气相沉积,是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离 子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。 等离子体气体在一定条件下受
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王保平
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13-推动中国高效异质结电池产业化崛起:先进臭氧清洗,ICP-PECVD及PVD关键设备-Zhenhao Zhang
2019-08-19
SINGULUS TECHNOLOGIES November 2016 12th CSPV, Jiaxing/China 推动中国高效异质结电池产业化崛起 先进臭氧清洗,ICP-PECVD 及PVD关键设备 Zhenhao Zhang PhD. 张振昊 博士 Technical Director Greater China 大中华区技术总监 SINGULUS TECHNOLOGIES AG
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王保平
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pecvd
2019-08-19
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王保平
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PECVD法氮化硅薄膜的研究
2019-08-19
第 15卷第 1期 材 料 科 学 与 工 程 总第 5 7期 V o 1115N o 11 M aterials Science 在 M O S 电路中 , Si3N 4和 SiO 2组成复合栅绝缘层 \[ 2 \], 对于提高电路的击穿电压起了很大作用 , 是 M O S 电路中最重要的工艺之一。它和 SiO 2一起 , 成为半导体工艺不可缺少的介质膜。 氮化硅薄膜还具有很好的机械性能 ,
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王保平
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【精品】影响PECVD的工艺参量(1)
2019-08-19
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王保平
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12 Jinko Solar-Hao Jin
2019-08-14
光伏电池相关标准进展和应用 Progress and application of standards about photovoltaic cell Hao Jin Contents 光伏电池体系框架及标准技术团队1 光伏电池标准 情况 及技术研究进展2 光伏电池标准应用及规划3 1.光伏电池体系框架及标准技术团队 光伏电池标准体系框架 光伏电池 光伏硅片 相关辅材 双 面 电 池 测 试
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光伏直播课
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7 State Key Lab of PV Science and Technology-Daming Chen
2019-08-14
2 2 / oxd m E BT E e h n-type C-Si n-type C-Si ± ± ± ∆𝑛 31015 Δ Δ ∆𝑛 31015 ρ n-type CZ silicon wafer Wafer qualit
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光伏直播课
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8 SUMEC-Jianhua Sun
2019-08-14
Shanghai, China 2019.6 Trend in Industrialization of High Efficiency Solar Module SUMEC Energy Holdings Co., Ltd. SINOMACH New Energy Research Institute 能源维新 筑业惟恒 Roadmap of Advanced Module Product T
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光伏直播课
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