p采用热原子层沉积的方法,以三甲基铝(TMA)为铝源,配合 H2O、O3 及 H2OO3 这 3 种不同的氧化剂制备Al2O3 薄膜并研究Al2O3 薄膜的生长、元素分布、薄膜结构和表面钝化质量随氧化剂种类和后退火工艺的变化规律。 结果表明,H2O 基的 Al2O3 薄膜具有较高的沉积速率及...
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华东理工大学 East China University of Science And Technology TALD-Al2O3/PECVD-SiNx叠层 钝化增益、损失及修复研究 新能源材料与器件教研组 李士正 2018年 11月 9日 主要内容 1· 背景介绍 2· 实验及表征 3· PE 过
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SOLAR ENERGY 06/2017 29 0 引言 近几年,晶体硅钝化发射极背面接触 PERC 太阳电池备受行业研究者的关注,是未来几年的主 打产品。它的主要特点是可充分利用太阳光,效率 的提升主要来自背面钝化的改善,以及背面钝化膜 光的反射,因此效率得到了整体提高。 等离子体...
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硕 士 学 位 论 文 Al 2 O 3 及 SiN x / Al 2 O 3 薄膜对 c-Si 表面钝 化 机制 的 研究 Investigation of Al 2 O 3 film and SiN x /Al 2 O 3 stacks on the surface passivation m
下载价格:3 金币 / 发布人: 灰色旋律 / 发布时间:2019-01-10 / 707人气
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下载价格:3 金币 / 发布人: 情深不寿 ゞ / 发布时间:2018-08-24 / 358人气
36 www.pv-tech.org前言对于实验室高效硅太阳能电池而言,可以通过采用热氧化(≥ 900℃) SiO 2生长工艺来抑制载流子在表面的复合 [1] 。特别是在轻掺杂的背表面,可以达到非常低的表面复合速率( SRV)水平。背表面处,热氧化生长的 SiO 2层结合蒸镀的 Al膜,在经...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-24 / 362人气
工业化 Al2O3 沉积技术在硅太阳能电池表面钝化中的应用研究摘要 新一代工业化硅太阳能电池的目标转换效率在 20以上。在硅片厚度不断减薄的趋势下,为了实现这一目标,就必须为电池的前、背表面提供高效的钝化技术。在此之前,开发出一种可提供高质量背表面钝化的合适...
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http//www.paper.edu.cn - 1 - 中国 科技论文在线化学液相沉积 Al 2O3 薄膜钝化 p 型黑硅 李永祥,郭婉,孙平杨,李葛亮,刘爱民 **基金项目 国家高技术研究发展项目( 863 项目)( Grant No 2011AA050516 )作者简介 李永祥,( 1988
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