机械抛光-光伏文库_太阳能光伏文库_太阳能发电技术文档

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利用复合磨粒抛光液的硅片化学机械抛光（7页）

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化学机械抛光中的硅片夹持技术孙禹辉，康仁科，郭东明，金洙吉，苏建修大连理工大学机械工程学院，辽宁大连 116024 摘要目前半导体制造技术已经进入 0． 13μm 时代，化学机械抛光 CMP已经成为 IC 制造中不可缺少的技术。本文描述了下一代 IC 对大尺寸硅片 ≥ 300...

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* 基金项目国家自然科学基金项目 50390061; 上海市科委科研计划项目 0452nm013 1收稿日期 2005- 03- 14作者简介王亮亮 1980 , 男 , 硕士研究生 , 主要从事单晶硅材料化学机械抛光相关实验研究 1E-m ail wang

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配方分析 / 成分检测 / 研发外包 / 工业诊断www.hccjishu.com化学机械抛光液配方组成，抛光原理及工艺导读本文详细介绍了化学机械抛光液的研究背景，机理，技术，配方等，需要注意的是，本文中所列出配方表数据经过修改，如需要更详细的内容，请与我们的技术工程...

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硅片硬质抛光盘化学机械抛光工艺参数优化试验研究作者许雪峰，严科伟，马冰迅，胡建德， Xu Xuefeng ， Yan Kewei， Ma Bingxun， HuJiande作者单位浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室 ,浙江杭州 ,310032刊名润滑与密封英文刊名 LU

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