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H2O和O3对热原子层沉积Al2O3薄膜性能研究_李士正（10页）

p采用热原子层沉积的方法，以三甲基铝（TMA）为铝源，配合 H2O、O3 及 H2OO3 这 3 种不同的氧化剂制备Al2O3 薄膜并研究Al2O3 薄膜的生长、元素分布、薄膜结构和表面钝化质量随氧化剂种类和后退火工艺的变化规律。结果表明，H2O 基的 Al2O3 薄膜具有较高的沉积速率及...

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原子层沉积Al2O3叠层钝化增益、损失及修复研究-李士正（15页）

华东理工大学 East China University of Science And Technology TALD-Al2O3/PECVD-SiNx叠层钝化增益、损失及修复研究新能源材料与器件教研组李士正 2018年 11月 9日主要内容 1· 背景介绍 2· 实验及表征 3· PE 过

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10001077_Optical-loss analysis of ZnSp-Si heterojunction solar cell with WO3 as hole-selective contact （9页）

1 Optical-loss analysis of ZnS/p-Si heterojunction solar cell with WO3 as hole-selective contact Kaifu Qiua,b, Qi Xiea,b, Depeng Qiub, Lun Caia,b, Wei

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PERC Al2O3镀膜设备各工艺路线现状分析-理想晶延（17页）

下载价格：6 金币 / 发布人：行研小秘书 / 发布时间：2019-08-12 / 431人气

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隆基Hi-MO3：单晶PERC双面半片技术降低光伏电站度电成本（白皮书）（4页）

白皮书 1 / 4 Version 20190306 Hi-MO3 单晶 PERC 双面半片技术降低光伏电站度电成本 1. 介绍隆基在 2018 年结合单晶 P 型双面 PERC 技术与半片技术推出了 Hi-MO3 组件，该产品延续了 Hi- MO1 单晶 PERC 组件的高效率低光衰及 Hi

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原子层沉积Al2O3钝化膜在太阳电池上的应用研究-权微娟-浙江正泰.pdf （3页）

SOLAR ENERGY 06/2017 29 0 引言近几年，晶体硅钝化发射极背面接触 PERC 太阳电池备受行业研究者的关注，是未来几年的主打产品。它的主要特点是可充分利用太阳光，效率的提升主要来自背面钝化的改善，以及背面钝化膜光的反射，因此效率得到了整体提高。等离子体...

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Al2O3薄膜对c-Si表面钝化机制的研究-王禹钧-大连理工大学.pdf （56页）

硕士学位论文 Al 2 O 3 及 SiN x / Al 2 O 3 薄膜对 c-Si 表面钝化机制的研究 Investigation of Al 2 O 3 film and SiN x /Al 2 O 3 stacks on the surface passivation m

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锂离子电池用纳米Co3+O4+材料的电化学性能研究（4页）

锂离子电池用纳米 Co3 O4 材料的电化学性能研究作者左朋建，王博，程新群，尹鸽平， ZUO Pengjian， WANG Bo， CHENG Xinqun， YINGeping作者单位哈尔滨工业大学化工学院 ,黑龙江哈尔滨 ,150001刊名华南师范大学学报（自然科学版）英文

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N型太阳能电池Al2O3薄膜钝化性能研究（1页）

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下载价格：3 金币 / 发布人：情深不寿ゞ / 发布时间：2018-08-24 / 358人气

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0-00+工业化Al2O3沉积技术在硅太阳能电池表面钝化中的应用研究(ALD-PECVD-溅射对比).p （6页）

36 www.pv-tech.org前言对于实验室高效硅太阳能电池而言，可以通过采用热氧化（≥ 900℃） SiO 2生长工艺来抑制载流子在表面的复合 [1] 。特别是在轻掺杂的背表面，可以达到非常低的表面复合速率（ SRV）水平。背表面处，热氧化生长的 SiO 2层结合蒸镀的 Al膜，在经...

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工业化Al2O3沉积技术在硅太阳能电池表面钝化中的应用研究（8页）

工业化 Al2O3 沉积技术在硅太阳能电池表面钝化中的应用研究摘要新一代工业化硅太阳能电池的目标转换效率在 20以上。在硅片厚度不断减薄的趋势下，为了实现这一目标，就必须为电池的前、背表面提供高效的钝化技术。在此之前，开发出一种可提供高质量背表面钝化的合适...

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工业化Al2O3沉积技术在硅太阳能电池表面钝化中的应用研究的副本（6页）

36 www.pv-tech.org前言对于实验室高效硅太阳能电池而言，可以通过采用热氧化（≥ 900℃） SiO 2生长工艺来抑制载流子在表面的复合 [1] 。特别是在轻掺杂的背表面，可以达到非常低的表面复合速率（ SRV）水平。背表面处，热氧化生长的 SiO 2层结合蒸镀的 Al膜，在经...

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化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅（6页）

http//www.paper.edu.cn - 1 - 中国科技论文在线化学液相沉积 Al 2O3 薄膜钝化 p 型黑硅李永祥，郭婉，孙平杨，李葛亮，刘爱民 **基金项目国家高技术研究发展项目（ 863 项目）（ Grant No 2011AA050516 ）作者简介李永祥，（ 1988

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硅片在HFHNO3H2O体系中的腐蚀速度（7页）

硅片在 HF/HNO3/H2O体系中的腐蚀速度作者安静，孙铁囤，刘志刚，汪建强，苦史伟， An Jing ， Sun Tietun ， Liu Zhigang ，Wang Jianqiang ， Ku Shiwei作者单位上海交通大学物理系太阳能研究所 ,上海 ,200240刊

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0-00+工业化Al2O3沉积技术在硅太阳能电池表面钝化中的应用研究(ALD-PECVD-溅射对比).p （6页）

36 www.pv-tech.org前言对于实验室高效硅太阳能电池而言，可以通过采用热氧化（≥ 900℃） SiO 2生长工艺来抑制载流子在表面的复合 [1] 。特别是在轻掺杂的背表面，可以达到非常低的表面复合速率（ SRV）水平。背表面处，热氧化生长的 SiO 2层结合蒸镀的 Al膜，在经...

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工业化Al2O3沉积技术在硅太阳能电池表面钝化中的应用研究.pdf （6页）

36 www.pv-tech.org前言对于实验室高效硅太阳能电池而言，可以通过采用热氧化（≥ 900℃） SiO 2生长工艺来抑制载流子在表面的复合 [1] 。特别是在轻掺杂的背表面，可以达到非常低的表面复合速率（ SRV）水平。背表面处，热氧化生长的 SiO 2层结合蒸镀的 Al膜，在经...

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