太阳能多晶硅片的检测

天威新能源 (成都 ) 硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 A 硅片检验规程 生效日期 2009 年 02 月 10 日第 1 页 共 5 页1 目的为加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。2 范围本文件规定了对成品进行检验的标准等。本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。3 设备、工模具、材料Manz硅片分选设备、 PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。4 内容4.1 检验方式4.1.1 外观全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。4.1.2 电学及其他性能抽检，每个硅块抽取 200 片用 Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、 、厚度、 TTV、少子寿命等进行检验。在有特殊要求时，按一定比例对硅片的氧碳含量进行抽检。4.2 检验步骤a) 每个硅块抽取 200 片用 Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验；b) 在抽检的 200 片当中如果有 30 及 30 片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足 4.3 中相关要求，则对该硅块所有的硅片用 Manz硅片分选设备进行检验，之后再对所有硅片进行外观上的检验；c) 在抽检的 200 片当中如果只有 30 片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足 4.3 中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不再进行导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等的检验，连同抽检的 200 片硅片中剩下的硅片进行外观上的全检；例如：如某一硅块理论切片数为 535 片，抽检了 200 片，当中有 29 片不满足 4.3 中相关要求。则将 29 片判定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的 171（ 200-29 ）片连同前面的 335 片（ 535-200 ）进行外观上的全检；编制： 校对： 审核： 标准化： 批准：发送部门份 数天威新能源 (成都 ) 硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 A 硅片检验规程 生效日期 2009 年 02 月 10 日第 2 页 共 5 页d) 依据 4.3 中相关要求对硅片进行分类。4.3 技术要求按质量要求将硅片分为 A级硅片、 B级硅片、 C级硅片、 D级硅片四级， 如下表 1。 其中将 A级硅片按电阻率分为 A1（ 0.5 ～3Ω .cm）， A2（ 3～ 6Ω .cm） 2个类别， B级硅片按部分性能不满足 A级硅片要求分为 B1， B2， B3， B4， B5， … ， B9共 9种类别； C级硅片指由清洗、 检测和包装过程中产生的碎片， 经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片 （如 125mm× 125mm） ，其他检验参数符合 A级硅片标准。具体要求见下表。硅片公司按 A级硅片生产，允许按用户要求提供 B级硅片或是 C级硅片。表 1 太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号 检验项目A B C D 检测方法 检验方式A1 A2 B1、 B2、 B3, B9 1 导电类型 P P 可划片 （不合格产品），但在划为小规格尺寸（ 125×125）硅片后， 其他性能符合 A级硅片标准不合格产品，即不满足A、B、 C级要求的硅片均归为 D级硅片分选设备抽检2 隐裂、针孔 无隐裂、无针孔 无隐裂、无针孔硅片分选设备抽检3 崩边长度≤ 1 mm，深度≤ 0.5 mm，每片崩边总数≤ 2 处；长度≤ 1 mm， 深度≤ 0.5 mm，每片崩边总数≤ 2 处；B1— 1mm＜崩边长度≤5mm， 1mm＜深度≤ 2mm， 1＜崩边总数≤ 3 目测 全检4 TTV ≤ 30 μ m ≤ 30 μ m B2— 30 μ m＜ TTV≤ 50μm；硅片分选设备抽检5 厚度 200± 20 μ m 200± 20 μ m B3— 厚度偏差超过± 20μ m但小于± 40μ m 硅片分选设备抽检6 尺寸 156± 0.5 mm 156± 0.5 mm B4— 硅片尺寸偏差超过± 0.5mm但小于± 1.0mm 硅片分选设备抽检7 倒角 1± 0.5 mm、 45°±10o1± 0.5 mm、 45°± 10o B5— 倒角尺寸偏差超过± 0.5mm但小于± 0.8mm 硅片分选设备抽检8 线痕 深度≤ 8 μ m 深度≤ 15 μ m B6— 15 μ m＜深度≤ 30μ m 目测、 必要时使用表面粗糙度仪帮助判定全检9 电阻率0.5-3 Ω ?cm； 3-6Ω ?cm 0.5-3 Ω ?cm； 3-6 Ω ?cm B7— 电阻率＜ 0.5 Ω .cm 硅片分选设备抽检10 少子寿命 ≥ 2μ s ≥ 2μ s B8— 0.5 μ s≤少子寿命＜ 2μ s 少子寿命测试仪按硅块检验规程进行抽检天威新能源 (成都 ) 硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 A 硅片检验规程 生效日期 2009 年 02 月 10 日第 3 页 共 5 页续表 1 说明： 1) A 级硅片为优等品， A、 B 级硅片均为合格硅片 ,C、 D级硅片为不合格硅片；2) B 级硅片按公司制定的相关让步使用规定进行使用， C级、 D级硅片按公司《不合格品控制程序》进行处理；3）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，其检验的光照条件依据 GB50034-92 工业企业照明设计标准中第 3.2.1 条一般精细作业中的要求，即识别对象最小尺寸 0.6