硅片清洗工艺参数标准

预冲洗时间预冲洗水温温度时间温度时间温度时间隔板放置间距脱胶后拿片数脱胶后硅片放置拿片数量水浸硅片程度插片要领各清洗槽水温各清洗槽水质要求药剂添加药剂更换 / 清零及检查清洗时间甩干机碎片清理甩干时间及温度5.1 硅片清洗工艺标准2、范围芯能光伏—宜兴厂区。3、参考文件《硅片清洗作业指导书》 4、定义管制数据文件 / 表单管制项目技术文件文件名称：硅片清洗工艺标准化明细文件编号：版 本 号：A批准 / 日期：审核 / 日期：编制 / 日期：1、目的规范清洗工序参数设定，使该工序加工程序处于受控状态。无5. 技术 / 工艺方法页 号： 1/1修订状态：0发布日期：第五槽脱胶硅片完全浸泡在水中，硅片顶端勿露出水面。≤ 20mm（长度计）≤ 25pcs/ 次轻放物料周转箱内，箱底和侧壁接触硅片的位置要垫上泡沫垫，水溢过硅片表面.药剂使用量为 --- 乳酸：水 =1:1全自动 7槽： 1# 设定 45℃， 2#0℃， 3#50℃、 4#、 5#设定60℃， 6#设定 55℃ ,7# 设定 50℃，在线槽设定 40℃。第一至第四槽各 300秒，第五、六槽 300秒，七槽和在线槽各 300秒。每清洗至 200± 10篮立刻更换药剂；并对清洗篮数进行清零；每小时检查一次各槽水位，保证槽内水位覆盖过硅片盒顶部。管制标准70℃35℃第一次换 75kg(3桶）脱 80刀，再加半桶脱 40刀，到 120刀再加半桶脱 30刀，到 150刀全换。70℃500s500s400S第一槽： 400s, 第二槽： 400s0.80-1.0 mpa ; 25 ℃（常温）甩干硅片清洗40± 5 mm/片6、检验要求及方法1. 清洗机每次更换药剂后先空跑 3个篮子再清洗硅片。2. 脱胶机喷淋槽底部导向条 / 碎硅片等杂物每天清理，保持喷淋槽无堵塞现象。3. 脱胶机 / 清洗机时间和温度设定如有变更见《脱胶机药剂更换标准表》、《清洗机药剂更换标准表》每天早上接班后预清洗脱胶插 片第六槽脱胶第一次换第 5槽、第 4槽：加清洗剂 12L， A、 B剂比例 2：1药剂更换第三、四槽超声《硅片清洗作业指导书》《乳酸更换记录表》《清洗药剂更换记录表》第一、三、六、七、在线槽为纯水，四、五槽为药剂槽必须带手套 / 轻拿轻放，尽量减少崩边 / 破片。甩干时间： 300s, 转速： 500rph。