硅片力学性能及热膨胀系数的热稳定性研究(20180720145500)

硅片力学性能及热膨胀系数的热稳定性研究作者： 王晓燕 ， 翟秀静 ， 张廷安 ， 符岩 ， 郑双作者单位： 王晓燕 ,翟秀静 ,张廷安 ,符岩 (东北大学 ,辽宁 ,沈阳 ,110004) ， 郑双 (沈阳航空工业学院 ,辽宁 ,沈阳 ,110032)刊名： 真空与低温英文刊名： VACUUM AND CRYOGENICS年，卷 (期 )： 2009,15(3)被引用次数： 2次参考文献 (8条)1. 王鸿芳 中国海洋一号电源系统设计与在轨性能评估 2003(03)2. WANG X Y;GENG H B;HE S YEffect of Thermal Expansion Coefficient on Stress in Solar Panel underTemperature Field 2007(04)3. 沃西源 ,谭放 ,常跃东 空间环境对聚合物基复合材料性能的影响 [期刊论文] -航天返回与遥感 2001(4)4. 张丽新 ,杨士勤 ,何世禹 ,杨德庄 硅橡胶粘合剂在空间环境下的性能演变 [期刊论文] -橡胶工业 2002(8)5. 耿洪滨 热循环对 TC4钛合金组织与机械性能的影响 1996(01)6. RAN Y KIMDimensional Stability of Composite in a Space Thermal Environment 20007. 郑茂繁 离子发动机栅极组件的热应力分析 [期刊论文] -真空与低温 2006(1)8. 袁泽亮 ;范垂祯 微波 GaAs功率场效应晶体管稳态温度场的数值模拟 1994(03)本文读者也读过 (10条)1. 孙玉利 . 左敦稳 . 朱永伟 . 徐锋 . 王珉 . SUN Yuli . ZUO Dunwen. ZHU Yongwei. XU Feng. WANG Min连续刚度法对单晶硅片的力学性能的表征 [期刊论文 ]- 硅酸盐学报 2007,35(11)2. 殷晓光 . 马天 . 李正操 . 苗伟 . YIN Xiao-guang . MATian. LI Zheng-cao . MIAO Wei 3D-Cf/SiC复合材料的弯曲强度及热膨胀性能分析 [期刊论文 ]- 原子能科学技术 2010,44(z1)3. 孙俭 . SUN Jian 碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌的影响 [期刊论文 ]- 电子工业专用设备 2011,40(3)4. 白敏菂 . 冷宏 . 李超群 面向硅片清洗技术的高浓度臭氧产生装置 [期刊论文 ]- 电子工业专用设备 2011,40(7)5. 张德坤 . 葛世荣 . 王庆良 . 刘金龙 . ZHANG De-kun. GE Shi-rong . WANG Qing-liang. LIU jin-long 注入能量对硅片的表面性能影响的研究 [期刊论文 ]- 中国矿业大学学报 2006,35(6)6. 陈琪昊 . 吕菲 . 刘峰 . 韩焕鹏 . 莫宇 清洗液温度及浓度对硅研磨片清洗效果的影响 [期刊论文 ]- 电子工业专用设备2011,40(7)7. Katsumi Satoh . Tetsuo Takahashi . Hidenofi Fujii . Manabu Yoshino 用于下一代功率模块中的新一代硅片设计[期刊论文 ]- 电力电子技术 2008,42(10)8. 刘志强 . 王良臣 . 于丽娟 . 郭金霞 . 伊晓燕 . 王立彬 . 陈宇 . 马龙 . LIU Zhiqiang . WANG Liangchen. YU Lijuan . GUOJinxia . YI Xiaoyan . WANG Libin. CHEN Yu. MA Long 界面热应力对 InP/Si 键合质量的影响 [期刊论文 ]- 固体电子学研究与进展 2008,28(2)9. 张峰 . 司超 硅片脱胶技术的现状及发展研究 [期刊论文 ]- 电子工业专用设备 2011,40(7)10. 彭德林 . 沈军 . 孙剑飞 . 陈玉勇 . Peng Delin . SHEN Jun. SUN Jianfei . Chen Yuyong 氢对锆基块体非晶合金热膨胀系数和有效原子作用势的影响 [期刊论文 ]- 金属学报 2005,41(8)引证文献 (1条)1. 罗建东 ,周彬 ,吕文峰 ,雷耀虎 ,郭金川 ,牛憨笨 大面积高深宽比微结构硅片的热氧化实验研究 [期刊论文] -光电工程 2012(08)引用本文格式： 王晓燕 . 翟秀静 . 张廷安 . 符岩 . 郑双 硅片力学性能及热膨胀系数的热稳定性研究 [期刊论文] -真空与低温 2009(3)