硅片等级和硅片出现问题解决方案

硅片等级和硅片出现问题解决方案硅片等级分类及标准一、优等品1：硅片表面光滑洁净。2： TV ： 220± 20μ m。3：几何尺寸：边长 125± 0.5mm；对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm；边长 103± 0.5mm、对角 135± 0.5mm；边长 150± 0.5mm 、 156± 0.5mm、对角 203± 0.5mm、 200± 0.5mm。同心度：任意两个弧的弦长之差≤ 1mm。垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.3。二、合格品一级品：1：表面有少许污渍、轻微线痕。2： 220± 20μ m ≤ TV ≤ 220± 30μ m。3：几何尺寸：边长 125± 0.5mm；对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm；边长 103± 0.5mm、对角 135± 0.5mm；边长 150± 0.5mm 、 156± 0.5mm、对角 203± 0.5mm、 200± 0.5mm。同心度：任意两个弧的弦长之差≤ 1.2mm。垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.5。二级品：1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。2： 220± 30μ m ≤ TV ≤ 220± 40μ m。3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤ 30μ m。4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤ 1mm ，深度≤ 0.5mm 5：几何尺寸：边长 125± 0.52mm ；对角 150± 0.52mm 、 148± 0.52mm、 165± 0.52mm；边长 103± 0.52mm 、对角 135± 0.52mm ；边长 150± 0.52mm 、 156± 0.52mm、对角 203± 0.52mm、 200± 0.52mm。同心度：任意两个弧的弦长之差≤ 1.5mm。垂直度：任意两边的夹角： 90°± 0.8。三级品：1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。2： 220± 40μ m ≤ TV ≤ 220± 60μ m。3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。三、不合格品严重线痕、厚薄片： TV＞ 220± 60μ m。崩边片：有缺损但可以改 Φ 103 的硅片。气孔片：硅片中间有穿孔 。外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。倒角片（同心度） ：任意两个弧的弦长之差 >1.5mm 。菱形片（垂直度） ：任意两边的夹角 >90°± 0.8。凹痕片：硅片两面凹痕之和＞ 30μ m。脏 片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。注：以上标准针对的硅片厚度为 220μ m。样板硅片详细参考表规格 125*125CM 型号 P 型 单晶电阻率 0.5-6 欧姆 .cm 少子寿命 ≥ 10us 氧含量 ＜ 1*10 ⒙ CM3 碳含量 ＜ 5*10 ⒗ CM3 位错 ＜ 5000 对角线 150± 1.0MM 厚度 125*125 220um ± 20 um 厚度 156*156 240um ± 20 um 弯曲度 ≤ 75PM 切割线 ≤ 20 um 电池表面 无油污，裂纹，针孔现在就硅片一些问题的想法花片 污片一 .切割液掺有次氯酸 ,特别是回收液 .对硅片腐蚀特别严重 . 2.预冲洗的水压 ,水质 ,流量 ,角度 ,冲洗时间等 ,总之预冲洗要硅片表面无明显赃污 ,才能进入脱胶3.脱胶时尽量全泡 ,水温 50-60℃ ,加 3%的草酸或柠檬酸或乳酸 ,自然倒伏 . 4.脱胶完毕后 ,25~30℃纯水中超声 10 分钟 ,超声功率在 2000w 左右水要循环 . 5.清洗剂 (不同厂家 )大部们都是重量比为 5%的比例 ,温度设为 60℃ ,超声 5 分钟 . 6.关键是员工有没有执行和我们提供的设备工具能否满足需要 .\ 7.如果是个老厂 ,突然出现花污片了一般要在辅料上找问题 (切割液 清洗剂 回收砂 等 .) 8.更换时一定要用标准容器，更换量视故硅片规格和数量而定现在就这个清洗环节清洗的问题后面会更新上