硅片表面制绒
制绒目录简介分类单晶制绒多晶酸制绒制绒目的和作用展开编辑本段 简介制绒,光伏行业术语,处理硅片的一种工艺方法,硅太阳能电池片生产的首道工序。编辑本段 分类按硅原料分类状况可分为单晶制绒与多晶制绒; 按腐蚀液的酸碱性可分为酸制绒与碱制绒。单晶制绒原理 单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的,不同晶向上的腐蚀速率不一样。 利用这一原理,将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀,即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观,这一过程称为单晶碱制绒。多晶酸制绒原理 常规条件下,硅与单纯的 HF 、 HNO3 (硅表面会被钝化,二氧化硅与HNO3 不反应)认为是不反应的。但在两种混合酸的体系中,硅则可以与溶液进行持续的反应,主要反应原理及步骤如下: 1. 硅的氧化 硝酸 /亚硝酸( HNO2 )将硅氧化成二氧化硅 (主要是亚硝酸将硅氧化) Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O (慢反应 ) Si+2HNO3=SiO2+2NO+2H2O ( 慢反应 ) 二氧化氮、 一氧化氮与水反 应 , 生 成 亚 硝 酸 , 亚 硝 酸 很 快 地 将 硅 氧 化 成 二 氧 化 硅2NO2+H2O=HNO2+HNO3 ( 快 反 应 ) Si+4HNO2=SiO2+4NO+2H2O ( 快 反 应 )(第一步的主反应) 4HNO3+NO+H2O=6HNO2( 快反应 ) 只要有少量的二氧化氮生成,就会和水反应变成亚硝酸,只要少量的一氧化氮生成,就会和硝酸、水反应很快地生成亚硝酸,亚硝酸会很快的将硅氧化,生成一氧化氮,一氧化氮又与硝酸、水反应。 。 。 这样一系列化学反应最终的结果是造成硅的表面被快速氧化,硝酸被还原成氮氧化物。 2. 二氧化硅的溶解 二氧化硅生成以后,很快与氢氟酸反应 SiO2+4HF=SiF4+2H2O;( 四氟化硅是气体 ) SiF4+2HF=H2SiF6 。总反应 SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O 最 终反 应掉的硅以 氟硅酸的形 式进入溶液。 这样,二氧化硅被溶解之后,硅又重新露出来,一步、二步的反应不断重复,硅片就可以被持续的腐蚀下去。编辑本段 制绒目的和作用不管是单晶硅片还是多晶硅片, 都可以用酸或者碱来处理。 无论用哪种方法处理,一般情况下,用碱处理是为了得到金字塔状绒面;用酸处理是为了得到虫孔状绒面。不管是哪种绒面,都可以提高硅片的陷光作用。