一期平板式PECVD工艺指导书

浙江弘晨光伏能源有限公司第 1 页， 共 2 页PECVD 工艺指导书 文件编号： HC-DCGY-005 版本号： 1 编制： 审 核： 批准： 发 布日期：1. 目的：经过二次清洗后的硅片表面无任何保护层，在后续工序中易受到损坏；利用 PECVD 在硅片表面生长一层氮化硅保护层，可有效防止表面受到损坏，同时氮化硅层有起到减反射和钝化的作用。2. 适用范围：本指导书适用于二线平板式 PECVD 岗位；3. 材料 /工具 /仪器材料：硅片（二次清洗后）、硅烷、氨气、氮气；工具：防护劳保用品、石墨框、吸笔；4. 内容：4.1 装片4.1.1 对于双面扩散的硅片，挑选表面比较干净的一面作为镀膜面 . 4.1.2 对于单面扩散的硅片，必须将扩散面（即硅片朝向片盒大面方向的一面）作为镀膜面。4.1.3 若片子镀膜面出现白斑或手指印等不良现象，装片时必须将其挑出，进行返工处理。4.1.4 若石墨框未装满硅片，必须把陪片放置在空位处，防止产生镀膜不良。4.1.5 石墨框装片完毕后必须仔细检查片子是平整放置，以确保片子置于石墨框片槽内四个顶针上。平整放置 未平整放浙江弘晨光伏能源有限公司第 2 页， 共 2 页4.2 运行工艺装片完毕，检查无误后，按下进料启动按钮，工艺将自动运行4.3 缷片4.3.1 镀膜完成后，用乳胶吸头取出石墨框内的片子。4.3.2 检查膜层颜色。4.3.2.1 正常情况下膜层颜色介于深蓝色到浅蓝色。4.3.2.2 若膜层出现其它异常颜色（如泛红或者泛白或色差）或斑点、水纹等现象，须将其挑出并返工；若未进行返工并流入下道工序者，将按本岗位碎片处理。4.3.2.3 若整框片子膜层颜色出现异常，需及时通知工艺技术人员进行处理。4.4 工艺卫生要求：4.4.1 由二次清洗工序流入的片子，须及时装入石墨框进行镀膜；未能及时镀膜的片子，需置入氮气柜中以防止氧化。4.4.2 传递窗严格禁止对开，取片或送片完成后须立刻关闭传递窗。4.4.3 装卸片过程中严禁裸手接触片子。4.4.4 每两小时必须对乳胶吸头用酒精进行擦拭。4.5 石墨框管理工序长应及时了解石墨框使用状况，如发现因石墨框清洗不及时导致片子色差明显，需及时报告设备相关人员对其进行清洗。