CIGS薄膜太阳能电池工艺流程.pdf

序号 设备名称 数量（套） 工艺步骤 作用1 基板玻璃上料机 2 将玻璃从卡架中取出放到指定位置 作为基板玻璃2 璃清洗机1 2 中压高温 DI水冲淋、滚刷和烘干 清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及玻璃在生产加工、传输、搬运和储存过程中产生的颗粒残渣、污染印痕3 Sputter 1 通过 DC Sputter 将钼金属均匀地溅射到玻璃基板上，通过测试表面电阻的动作检测质量，控制溅射。 金属薄膜层 Mo在 CIGS薄膜太阳能电池中起金属背电极作用4 P1激光划线机 1 P1采用激光划刻 Mo层，激光为 532nm波长的绿光 金属 Mo膜层作为电池背电极需要被划刻为多个小单元，提高电池性能5 清洗机2 1 滚刷、中压水冲淋和风刀高温烘干 清洗掉玻璃表面由于 P1划刻后留有的金属 Mo颗粒残渣以及 P1划刻线凹槽内残留的金属 Mo颗粒6 检测设备 1 探针通过弹簧式多级接触方式检测 主要对划线不完整的、划线瑕疵的、以及划线宽度和距离，并检测是否有短路现象7 PECVD蒸镀机 3 采用铜，铟，镓的线性蒸发源在硒的环境中沉积形成 CIGS电池吸收层。在真空腔室内需要通过在线的 X射线荧光光谱分析仪来监控 CIGS膜层成分，根据检测结果调整沉 蒸镀电池吸收层（ CIGS)8 化学水浴设备 4 当化学浴中的溶液（ Cd呈离子状态）漫过 CIGS膜层表面时，玻璃基板被开始加热，同时玻璃做三维震荡，以利于 CdS膜层的均匀沉积 Cds的作用主要是保护 CIGS膜层免受 ZnO薄膜高能量溅镀时界面受到创伤9 清洗机3 1 中高压 DI水喷淋、滚刷（毛刷不接触玻璃镀膜面）、风刀高温烘干. 清洗掉化学浴后玻璃表面残留的化学药品10 Sputter 1 采用脉冲直流将 ZnO旋转陶瓷靶溅镀到玻璃基板上薄膜 i-ZnO( 纯 ZnO本征层 ) 镀在 CIGS/CdS异质结上的一层缓冲层，一般厚度为 50nm，可有效提高电池组件整体效率，同时起到前电极 AZO层与 CIGS/CdS异质结层之间良好的紧密衔接11 P2机械划线机 1 机械划刻方式 CIGS/CdS/i-ZnO膜层作为电池的光吸收层，需要在被划刻为多个小单元12 Sputter 1 采用直流将 AZO旋转陶瓷靶溅镀到玻璃基板上 薄膜 ZnO:Al（ AZO）层在 CIGS薄膜太阳能电池中起金属氧化物前电极作用13 P3机械划线机 1 采用激光划刻 ZnO:Al金属氧化物膜层，激光为 532nm波长的绿光 ZnO:Al金属氧化物膜层作为电池背电极需要被划刻为多个小单元14 清边机 2 去除玻璃板四边从 Mo层至 AZO层的所有膜层清边可以将电池有效区域与玻璃边缘分开 , 保证电池板良好的边缘绝缘效果，同时防止封装膜浸水后漏电流的产生。15 低照度检测机构 1 在低照度下检测所有子电池的开路电压 用于判断是否存在并联电阻16 激光钻孔机 1 激光钻孔 孔洞为汇流条与接线盒之间连接所需的穿插孔17 清洗机4 1 滚刷、中压水冲淋和风刀高温烘干 去除清边后残留的金属膜和玻璃渣18 导线连接 1 铜带分别粘贴在 CIGS电池板的两侧正负极电池上 在于将 CIGS薄膜电池板产生的电流引出至接线盒正19 前玻璃上料机 2 将玻璃从卡架中取出放到指定位置 增加电池强度20 清洗机5 1 中压高温 DI水冲淋、滚刷和烘干 清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及玻璃在生产加工、传输、搬运和储存过程中产生的颗粒残渣、污染印痕21 合片机 1 将超白玻璃准确的放置基板上 超白玻璃放置在电池基板上，层压后增加组件的强22 层压机 1 将已叠层好的电池组件传送到层压机中，然后将组件密闭，抽真空施加压力的同时加热使夹层中的 PVB胶层熔合，将前电池基板与背玻璃板紧紧的粘贴在一起 对已进行完前段工程的电池片进行封装工作23 接线盒组装 1 将接线盒粘接在超白玻璃上，并将接线盒与汇流导电条焊接起来 用接线盒将电池组件连接起来60MW CIGS薄膜太阳能电池生产工艺