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  • 简介:环球市场 / 电力工程- 112-半导体硅片的品质工艺与产品质量宋艳彤天津中环半导体股份有限公司摘要 半导体技术是一个国家科研、生产能力的集中代表,是未来社会与建设自动化和智能化的基础型技术。由于国家政策上和经济上的大力支持,一段期间内国内成立了大量的半导体材料生产企业,但随着市场的逐渐饱和,半导体材料产品逐渐出现过剩,企业间的竞争变得空前的激烈,不少企业的生存遇到了困难,因此进一步加强对其的研究非常有必要。在发展过程中要把握当前半导体技术的核心和关键,在重点技术环节取得关键性突破,这样,才能将半导体技术更好地推向新的水平,进而适应科学、制造、生产的趋势需要。关键词 半导体硅片;品质工艺
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  • 简介:半导体硅片的化学清洗技术一 . 硅片的化学清洗工艺原理硅片经过不同工序加工后,其表面已受到严重沾污,一般讲硅片表面沾污大致可分在三类A. 有机杂质沾污 可通过有机试剂的溶解作用,结合超声波清洗技术来去除。B. 颗粒沾污 运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径 ≥ 0.4 μm 颗粒, 利用兆声波可去除 ≥ 0.2 μm 颗粒。C. 金属离子沾污必须采用化学的方法才能清洗其沾污,硅片表面金属杂质沾污有两大类a. 一类是沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。b. 另一类是带正电的金属离子得到电子后面附着(尤如 “ 电镀 ” )到硅片表面。硅抛光片的化学清洗目的就在于
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  • 简介:环球市场 / 电力工程- 112-半导体硅片的品质工艺与产品质量宋艳彤天津中环半导体股份有限公司摘要 半导体技术是一个国家科研、生产能力的集中代表,是未来社会与建设自动化和智能化的基础型技术。由于国家政策上和经济上的大力支持,一段期间内国内成立了大量的半导体材料生产企业,但随着市场的逐渐饱和,半导体材料产品逐渐出现过剩,企业间的竞争变得空前的激烈,不少企业的生存遇到了困难,因此进一步加强对其的研究非常有必要。在发展过程中要把握当前半导体技术的核心和关键,在重点技术环节取得关键性突破,这样,才能将半导体技术更好地推向新的水平,进而适应科学、制造、生产的趋势需要。关键词 半导体硅片;品质工艺
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  • 简介:PVD F 太阳能电池硅片花篮的研制3孙卫东 ,黄 萍 ,王 华 ,朱道峰 ,刘哲伟 ,刘秋晨北京市塑料研究所 ,北京 100009 摘要 论述了采用注射成型方式 ,对装载方形太阳能硅片的花篮进行研制的过程 。详细介绍了花篮原材料选择 、 模具设计 、 收缩率的确定 、 可熔融性氟塑料 PVDF 注射加工工艺及产品性能控制等影响因素 。 结果显示可熔融氟塑料 PVDF 具有较好的注射成型加工性能 。产品使用性能良好 ,填补了国内空白 ,创造了较高的社会经济效益 。关键词 太阳能电池 ;方形硅片花篮 ;聚偏氟乙烯 ;注射成型中图分类号 TQ325. 4 文献标识码
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  • 简介:收稿日期 2003-12-08; 定稿日期 2004-01-20文章编号 1004-33652004 05-0565-04VG 202MKII 精密硅片减薄机调试技术陈洪波 , 熊化兵 模拟集成电路国家重点实 验室 ; 中国电子科技集团公司 第二十四研究所 , 重庆 400060摘 要 VG 202M KII 全自动精密硅片减薄机是 SOI 工艺的主要设备之一。由于其具有高精度、全程控等特点 , 设备构造较复杂 , 调试难度较大。文章由原理到实际、 由流程到技巧 , 比较系统地阐述了该设备的关键调试技术。关键词 半导体设备 ; 硅片减薄机 ; SOI 工
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  • 简介:半导体硅片的化学清洗技术一 . 硅片的化学清洗工艺原理硅片经过不同工序加工后, 其表面已受到严重沾污, 一般讲硅片表面沾污大致可分在三类A. 有机杂质沾污 可通过有机试剂的溶解作用,结合超声波清洗技术来去除。B. 颗粒沾污运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径 ≥ 0.4 μ m颗粒,利用兆声波可去除 ≥ 0.2 μ m颗粒。C. 金属离子沾污必须采用化学的方法才能清洗其沾污,硅片表面金属杂质沾污有两大类a. 一类是沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。b. 另一类是带正电的金属离子得到电子后面附着(尤如“电镀”)到硅片表面。硅抛光片的化学清洗目的就在于要去除这
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  • 简介:PLC 技术在太阳能硅片清洗机控制上的应用[摘要 ] 文章介绍了 PLC 的结构和工作原理,概述了太阳能硅片清洗机的结构和工艺流程,对 PLC 在太阳能硅片清洗机控制上的应用可行性进行了探讨, 对 PLC控制太阳能硅片清洗机梯形图及程序进行了分析,对太阳能硅片清洗机采用 PLC控制的优越性进行了总结。设备产品质量高,控制系统可靠性高,自动化水平高。随着 PLC技术的不断发展, PLC在太阳能硅片清洗机的控制上将有更广阔的应用前景。[关键词 ]太阳能硅片清洗机 ; PLC; 梯形图 ; 程序 ; 控制前 言近年来我国太阳能电池生产量和市场销售量分别以年均 15和 20的速度增长,去年全国太
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