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下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-24 / 257人气
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PECVD 工艺异常问题汇总 序 号 工艺异常现 象 解决方案 注意事项 1 PE 片子折射率偏高或 偏低 1.检查硅烷和氨气流量计是否损坏。 2.并分别更换硅烷和氨气流量计进行 测试,判断硅烷或氨气输出流量是否 偏高或偏低。 3.更换新的流量计,OK。 如出现类似异常,在更换...
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 828人气