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下载价格:3 金币 / 发布人: 情深不寿 ゞ / 发布时间:2018-08-24 / 180人气
管式 PECVD 流量对太阳电池氮化硅膜影响的工艺研究 来源深圳市大族光伏科技股份有限公司 作者 李军阳 时间 2011-09-19 氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流,然而由于用 PECVD 来制备的氮化硅膜,是以 SixNyHz 方式来表达的,其中的...
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 372人气
1 氮流量对从非晶 SiNx到含有 Si3N4晶粒的富硅-氮化硅薄膜 转变的影响 * 李婷婷,周炳卿,闫泽飞 (内蒙古师范大学 物理与电子信息学院 功能材料物理与化学自治区重点实验室 呼和浩特 010022) 摘要采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,以高纯硅烷和氮气为反...
下载价格:6 金币 / 发布人: 光伏小萝莉 / 发布时间:2019-11-06 / 184人气