管式 PECVD 流量对太阳电池氮化硅膜影响的工艺研究 来源深圳市大族光伏科技股份有限公司 作者 李军阳 时间 2011-09-19 氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流,然而由于用 PECVD 来制备的氮化硅膜,是以 SixNyHz 方式来表达的,其中的...
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 372人气