华东理工大学 East China University of Science And Technology TALD-Al2O3/PECVD-SiNx叠层 钝化增益、损失及修复研究 新能源材料与器件教研组 李士正 2018年 11月 9日 主要内容 1· 背景介绍 2· 实验及表征 3· PE 过
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p采用热原子层沉积的方法,以三甲基铝(TMA)为铝源,配合 H2O、O3 及 H2OO3 这 3 种不同的氧化剂制备Al2O3 薄膜并研究Al2O3 薄膜的生长、元素分布、薄膜结构和表面钝化质量随氧化剂种类和后退火工艺的变化规律。 结果表明,H2O 基的 Al2O3 薄膜具有较高的沉积速率及...
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