1 *********** 学院课 程 设 计题 目硅片清洗工艺的原理和现状专 业 光伏材料加工与应用技术班 级学生姓名院 系 光伏材料系指导教师日 期 2013 年 10 月 07 日2 半导体硅片清洗工艺的发展研究【摘要】随着大规模集成电路的发展, 集成度的不断提高, 线宽的不断减小...
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一、硅片生产主要制造流程如下切片→倒角→磨片→磨检→ CP→ CVD→ ML→最终洗净→终检→仓入二、硅片生产制造流程作业实习1. 硅棒粘接用粘接剂对硅棒和碳板进行粘接,以利于牢固的固定在切割机上和方位角的确定。2. 切片 Slice 主要利用内圆切割机或线切割机进行...
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加工流程单晶生长→切断→外径滚磨→平边或 V 型槽处理→切片倒角→研磨 腐蚀 -- 抛光→清洗→包装切断目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分,将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度,切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。切断的设备内园切割机或...
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中国高新技术企业半导体硅片清洗工艺的发展研究文 / 舒福璋【 摘 要 】 在 硅 晶 体 管 和 集 成 电 路 生 产 中 , 几 乎 每 道 工 序 都 有 硅 片 清 洗 的 问 题 , 硅 片 清 洗 的 好 坏 对 器 件 性能 有 严 重 的 影 响 , 处 理 不 当 , 可 能 使
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太阳能组件制造工艺太阳电池一般分为以下几种规格厚度一般在 250-350mm 之间 IscA ImpA VocV Vmp 103 103 ( mm ) 3.2 2.96 0.6 0.48 125 125 ( mm ) 5 4.63 0.6 0.48 150 150 ( mm ) 7.2 6.66 0
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思考题将硅单晶棒制作成硅片包括哪些工序切片可决定晶片的哪四个参数硅单晶片研磨后为何要清洗硅片表面吸附杂质的存在形态有哪些对这些形态按何种顺序进行清洗硅片研磨及清洗后为何要进行化学腐蚀腐蚀方法有哪些CMP 包括哪 2 个动力学过程控制参数有哪些集成电路制造...
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收稿日期 2008- 07- 03.基金项目 国家 / 8630计划项目 2006A A05Z406.材料 、 结构及工艺HIT 太阳电池的单晶硅表面腐蚀工艺的研究曾祥斌 , 宋志成 , 宋佩珂 , 王慧娟 华中科技大学 电子科学 与技术系 , 武汉 430074摘 要 对用于 H IT 太
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半导体工艺1 三.热分解淀积氧化热分解氧化薄膜工艺是利用含硅的化合物经过热分解反应, 在硅片表面淀积一层二氧化硅薄膜的方法。 这种方法的优点是 基片本身不参与形成氧化膜的反应, 而仅仅作为淀积二氧化硅氧化膜的衬底。 衬底可以是硅也可以不是硅而是其它材料片...
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单晶硅电池片工艺(初稿)工艺流程图硅片检验→硅片插入片盒→去除损伤层→制绒面→淋洗→中和→三级串连阶梯式清洗→烘干→扩散→周边刻蚀→硅片插入片盒→去除氧化层→三级串连阶梯式清洗→烘干→制备氮化硅→背面银铝浆→烘干→背面铝浆→烘干→正面银浆→烧结→...
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Si太阳能电池工艺流程目前主流的太阳能电池主要有硅系和化合物半导体系 2 大类(如图 1) ,硅系中又分单晶硅和人多晶硅太阳能电池,本文针对硅系太阳能电池来说明太阳能电池的工艺流程。图 1 太阳能电池的主要分类及其工作原理示意图一、硅片检测硅片是太阳能电池片...
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光伏材料加工工艺实践报告专 业学生姓名准考证号指导教师年 月1 目录一、实践目的 2二、单晶硅太阳能电池简介 2三、太阳能电池片的化学清洗工艺 3四、太阳能电池片制作工艺流程图 3五、太阳能电池组件封装工艺流程 7六、实践心得 82 光伏材料加工工艺实践报告一、实...
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