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  • 原子层沉积Al2O3叠层钝化增益、损失及修复研究-李士正15

    原子层沉积Al2O3叠层钝化增益、损失及修复研究-李士正 原子层沉积Al2O3叠层钝化增益、损失及修复研究-李士正 (15页)

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    下载价格:5 金币 / 发布人: 光伏小萝莉 / 发布时间:2020-11-10 / 203人气

  • H2O和O3对热原子层沉积Al2O3薄膜性能研究_李士正10

    H2O和O3对热原子层沉积Al2O3薄膜性能研究_李士正 H2O和O3对热原子层沉积Al2O3薄膜性能研究_李士正 (10页)

    p采用热原子层沉积的方法,以三甲基铝(TMA)为铝源,配合 H2O、O3 及 H2OO3 这 3 种不同的氧化剂制备Al2O3 薄膜并研究Al2O3 薄膜的生长、元素分布、薄膜结构和表面钝化质量随氧化剂种类和后退火工艺的变化规律。 结果表明,H2O 基的 Al2O3 薄膜具有较高的沉积速率及...

    下载价格:5 金币 / 发布人: TytronTech / 发布时间:2021-01-25 / 440人气

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