恒低温衬底交叠沉积 CIGS 薄膜及其器件研究 张运祥 林舒平 程世清 刘杨 史思涵 周志强 刘芳芳 刘玮* 孙云* 天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,南开大学电子信息与光学工程学院,天津 300071 摘要本文采用恒低温衬底交叠蒸发法沉积制备 CIGS 薄膜,研究第一步第二...
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