2020.12.19⼴州 范斌 ⼤⾯积钙钛矿组件的制造⼯艺 钙钛矿组件⽣产⼯艺概括 ⼴义的PVD物理⽓相沉积,包括磁控溅射、电⼦束 蒸发等,但是习惯上通常不包括蒸镀 我们的PVD⼯艺⽤于前电极、阳极缓冲层、阴极缓冲 层和背电极 磁控溅射的设备结构简单,但⽤于往钙钛矿层上...
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PROGRESS INCHEMISTRY 化 学 进 展 DOI 10. 7536/PC181202 http / /www.progchem.ac.cn Progress in Chemistry, 2019, 31 7 1031~1043 收稿 2018 年 12 月 5 日 , 收修改稿
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